ATMEGA64-16 TQ

So kann man dir überhaupt nicht helfen. Keiner weiß was du wie 
angeschlossen hast. TQ? TQFN Package?

Wo hast du den ISP angeschlossen? Hast du eine externe Betriebsspannung 
an allen VCC/GND Pins angeschlossen? Denn der AVRISP gibt stellt keine 
Betriebsspannung bereit.

Bei einem neuen Atmega solltest du den ISP Clock auf 125kHz - 250kHz 
stellen, da der Atmega zwar von Haus aus 8MHz hat, jedoch vermutlich wie 
bei den anderen auch, ein internen Teiler von 8 nutzt.

ISP Clock = 8MHz/8/4 = 250kHz