ATMega64 richtig beschaltet

Hallo zusammen,
Ich habe mir eine Platine mit einem Mega64 herstellen lassen und diese
nun bestückt, aber der Chip sagt nichts.
Ich probiere ihn mit PonyProg V2.06f mit diesem Interface:
http://rumil.de/hardware/avrisp.html anzusprechen.
Meine Mega8 Steine gehen damit auch problemlos.

Folgende Pins habe ich bei dem Mega64 verdrahtet:
52+21 (VCC) + 64 (AVCC) auf 5V
22+53+63 (GND) auf Masse

SCK, MOSI, MISO und Reset auf das Interface und beim Reset noch den
Pullup und den Kondensator.
Genau wie hier beschrieben:
http://www.mikrocontroller.net/images/avr-schaltplan.gif

PonyProg meldet, dass ein falscher oder unbekannter Chip dranhängt.
Eingestellt ist AVR micro und AVR Auto.
Die Schaltung habe ich schon dutzende Male durchgemessen und auch eine
zweite Platine aufgebaut.
Gleiches Problem.
Was übersehe ich?

Dank euch
Florian