SPI: Attiny13 mittels Atmega16 programmieren, kein Echo vom Slave

OP #1384973
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Hallo,
ich hab bei einem Tiny13 die Fuse für den internen 128kHz Osc. gesetzt, 
nun komm ich mit meinem Standardprogrammer (der mit SCK nur bis ~250 kHz 
runter kommt) nicht mehr an den Tiny ran.
Dachte mir also, nimmste einen Atmega16, taktest ihn mit 1MHz und 
aktivierst das SPI mit f/128. Klappt auch soweit, und ich kann schön am 
Osci das CLK und MOSI Signal sehen, wenn ich dann die ersten 4 Bytes zum 
initialisieren des Programmiervorgangs an den Tiny schicke.

Nur sollte laut Datasheet das 2te Byte (0x53) auf dem MISO vom Tiny 
ausgegeben werden, um die Synchronisation anzuzeigen. Halte ich dort das 
Osci dran, kommt gar nichts. Ich hab die Schritte zum Programmieren des 
Tiny genau befolgt (reset auf gnd, power up, ISP-sequenz senden,...) 
aber da tut sich nichts. Setzte ich RESET mit Pull-Up auf high, läuft 
bei dem Tiny ganz normal das Program das damals draufgeflasht wurde.

Irgendwer eine Idee? Danke schon mal, und gute Nacht.

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