AT90S4414 Probleme

Hallo Leute,

Vieleicht hat jemand von euch eine Idee was ich falsch mache....

Ich habe versucht einen AT90S4414 (TQFP) auf einer Platine mit Keramic 
Resonator bzw, mit Quarz 4 MHz und 22 / 27pF zu programmieren.
Zu Beginn war der Quarz mit 22pF eingelötet. Anschließend die 27er. Ich 
hab, um dies als Fehler auszuschließen zum Schluss einen Keramik 
Resonator eingebaut.

Es war nur der ISP Stecker und der Taktgeber eingelötet. Versorgung über 
den Programmierer (MysmartUSB MK2). Spannung lag am MC an und die Mosi, 
Miso... richtig angeschlossen.

Das Programmiertool "myAVR_ProgTool" hat erkannt, dass der MC 
angeschlossen ist und hat auch gemäutert, wenn ich einen anderen 
ausgewählt hab.
Das Flashen aber hat nicht funktioniert - Prüfsummenfehler.
Beim Einlesen hat er auch nur Blödsinn hingeschrieben.
Den Mc hab ich dann auch noch getauscht, ohne Erfolg.
Fusebits kann ich ja keine setzen und internen Oszi hat er ja auch nicht 
oder?
Bin mir sicher, dass ich nichts falsch gemacht hab.
Ich hab mein Layout hinzugefügt (sorry JPG), alles was rot ist wurde 
eingebaut. Vieleicht liegts auch am Programmiergerät, bin für jeden Tip 
dankbar....

Ich hab 50 Stk von dem rumliegen.....

Danke im Vorraus für eure Bemühungen..