mini Beschl. Sensor

Hi Leute
ich suche einen möglichst kleinen Beschleunigungssensoren die 10µg 
auflösen könnten und möglicht klein sind, habe da schon viel gesucht 
aber die teile sind entweder um Faktor 100 zu ungenau, oder un Faktor 
100 zu gros/schwer.
Kennt da wer was das passen würde?

Danke schon mal im voraus
Philipp