ISP Problem - MISO ändert pegel nicht

Hallo, ich habe ein Problem beim Porgrammieren meines ATMEGA664(ich 
betreibe ihn mit 3,3V und 16 Mhz).
Ich bekomme die Meldung "Entering Programming Mode - Failed" und führe 
das auf die seltsame Reaktion der MISO-Leitung beim Programmierversuch 
zurück.
Auf dem Oszilloskop kann man sehen, wie MOSI und SCK ihre Pegel ändern.

Aber die MISO-Leitung schwankt nur ganz kurz um ca. 0,3 V.

Der Reset-Pin wird auch korrekt auf Masse gezogen.

Ich habe bereits alle Spannungs- und Massepins des ATMEL übeprüft und 
keine Fehler festgestellt. Es gbit auch keine Brücken zwischen MISO und 
VCC bzw. GND.

Habs auch schon mit verschiedenen Programmierfrequenzen versucht, aber 
wenn der MISO-Pin seinen Pegel nicht korrekt toggelt, bekommt der 
Programmer ja auch keine Antwort vom µC.

Ich habe versucht mit dem STK500 und dem USBProg zu programmieren, in 
beiden Fällen das gleiche Ergebnis.

Hat jemand von euch schon mit diesem Phänomen zu tun gehabt und kann mir 
helfen??

Gruß Christian