Messung elektrostatischer Felder

Gast #1380154
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Die Feldmühle war mir schon bekannt, allerdings hab ich das Problem, 
dass ich das ganze auf einer Platine anordnen muss. Dazu noch für 3 
Achsen.
Daher war meine Hoffnung, dass es ICs dafür gibt. Ich habe zwar 
Messmethoden mittels Kelvin Probe (Schwingkopfverfahren) und 
Faseroptische Spannungsmessung 
"http://v3.espacenet.com/publicationDetails/description?CC=DE&NR=19719970A1&KC=A1&FT=D&date=19981119&DB=EPODOC&locale=de_EP"; 
gefunden, allerdings keine Sensoren dazu.
Gast #1380279
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> Die Feldmühle war mir schon bekannt, allerdings hab ich das Problem,
> dass ich das ganze auf einer Platine anordnen muss. Dazu noch für 3
> Achsen.
> Daher war meine Hoffnung, dass es ICs dafür gibt.

Es gibt wissenschaftliche Arbeiten zu entsprechenden MEMS. Aber - so 
weit ich weiß - keine Produkte. Dazu kommt: Einen eindimensionalen 
E-Feld-Sensor kann ich mir (selbst im Standard-Plastik-Package) 
vorstellen, aber in welches Gehäuse soll man einen 3-Achsen-Sensor 
stecken?

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