Programmierung ATtiny13

Hallo,

ich habe gerade das erste Mal versucht einen ATtiny13 zu programmieren. 
Leider haut das bei mir nicht so einfach hin, wie es z. B. mit einem 
Atmega8 sonst immer funktioniert hat.

Mein Programm (hat noch keinen Inhalt, lässt sich aber kompilieren):
int main(void)
{
  while(1)
  {
  }
  return 0;
}

Beim Programmieren tritt dann der folgende Fehler auf:
ERROR: address 0x0410 out of range at line 65 of SED1520.hex

Im Makefile habe ich das eingetragen:
MCU = attiny13
F_CPU = 9600000

Woran kann der Fehler liegen?

Bin für jede Hilfe Dankbar :-)