M16C32 läßt sich nicht mehr programmieren

Hi,

ich habe mir eine Schaltung mit einem M16C32 aufgebaut. Ich konnte den 
Chip genau 1x programmieren. Dabei muss etwas schief gegangen sein, da 
die ID beim nächsten Versuch nicht akzeptiert wurde. (vielleicht, weil 
NMI unbeschaltet war)
Eigentlich hätten es nur 0x00 als ID sein sollen, aber mein Flasher 
meldete nur 'ID mismatch'.
Es hat dann merkwürdigerweise mit nur 0xFF geklappt.
Ich komme jetzt auf den Chip (Status sagt 'ID verified').
Auslesen ist ebenfalls möglich.
ABER: Ich kann den Chip nicht mehr löschen. Das Statusreg. SRD hat immer 
den Inhalt 0xFF (was u.a. heisst: Erase Error & Prog Error). Ein Löschen 
des Statusregisters bringt leider auch nichts.

Ich habe zwei verschiedene Flasherprogramme ausprobiert, aber leider mit 
gleichem Ergebnis.

Hat jemand eine Idee?

Bis dann,
Ingo.