AVR ISP Stick Probleme beim programmieren Attiny13

Hallo,

Beitrag "Bausatz AVR-ISP-Stick"
wie in diesem Beitrag ganz unten schon andiskutiert, habe ich Probleme 
mit dem AVR ISP Stick Attiny13 zu programmieren.

Ich benutze einen 6pol. ISP Stecker, dessen Belegung stimmt. Ich habe 
mehrmals mit dem Datenblatt verglichen, Leitungen auf Durchgang 
gemessen. Alles i.O.
Versuchsweise habe ich auch zur Gegenprobe das nochmals auf dem 
Steckbrett aufgebaut, auch hier das gleiche.

Der Programmer ansich funktioniert. Sobald ich mit gleichem Kabel einen 
Atmega8 programmiere, gibt es keine Probleme.

Nun zum Problem:
Ich kann mit dem ISP Stick auf den Attiny13 nicht konstant zugreifen, 
mal ja, mal nicht. Spätestens wenn ich aber ein Flash aufspiele oder ein 
FuseBit schreibe, komme ich nicht mehr auf den Chip.
Nach mehrmaligem rausziehen aus dem Sockel und versuchen komme ich dann 
wieder drauf, kann die Signatur auslesen und ggf. wieder etwas machen 
(wenn überhaupt).

Hat einer eine Idee woran es liegt?
Wie gesagt, das ISP Kabel ist 100% verbunden und an den richtigen Pins. 
Die ISP Frequenz ist ebenfalls niedrig. Attiny13 sind fabrikneu (habe 
auch schon mehrere versucht, am Chip selbst liegt es also auch nicht).

Bin für jede Idee dankbar.