ATTiny25 - ADC ungenauigkeit

Hallo

Ich hatte schonmal gefragt wegen eines ADC-Problems, nachdem dieser nun 
läuft gibt es das nächste Problem, der ADC ist wahnsinnig ungenau. Ich 
versuche damit eine Spannung von 4V zu messen (differentieller Eingang). 
Am ADC3 liegt in bezug auf ADC2 die Messspannung von bis zu 4V an, an 
ADC2 maximal 0.2V (also ADC3_max = 4.2V). Als Referenz nutze ich 4V 
extern an AREF angeschlossen. Der ATTiny25 wird mit 5V versorgt. Alle 
Werte nachgemessen.
Die Werte passen ganz gut, jedoch stimmt ab einer Spannung von ca 3V das 
Ergebnis nicht mehr. Und schon bei 3.6V gibt er den maximalen Wert von 
1023 aus.

Sicherheitshalber habe ich ADC2 mal auf Masse gelegt, und 3.6V an ADC2 
angelegt. Bei der Differenzspannung von 3.6V hätte ich als Ergebnis ca 
921 erwartet, allerdings gibt er mir auch hier 1023. Das sind über 11% 
Abweichung!

Der ATTiny25 läuft mit 1MHz, der ADC mit einem prescaler von 128, also 
mit 7,8KHz. Das ist schon die langsamste Einstellung. Die angelegte 
Spannung hat auch keine HF-Überlagerungen oder so etwas.

Das Bild entstand bei AREF = 4V, VCC = 5V, ADC2 = 0V, ADC3 = xxxV
erwartet (0-4V in 0.4V Schritten):
{0, 102, 204, 307, 409, 512, 614, 716, 819, 921, 1023}
bekommen:
{0, 100, 200, 302, 405, 509, 612, 713, 864, 1023, 1023}

Was ist da los? Ist der Subtrahierer so unglaublich unpräzise?

MfG
ATTiny25