Hallo,
wie schon im Betreff angegeben suche ich Serviceunterlagen für den
Durchflussregler (Mass Flow Controller) Brooks 5850TR Ausführung +/-15V
Versorgung und SubD15 Stecker.
Zweimalige Anfrage bei der Firma Westphal (Brooks-Vertrieb) war
ergebnislos.
Das Teil verwendet einen LM224 u. REF02.
MfG