Hallo, wie schon im Betreff angegeben suche ich Serviceunterlagen für den Durchflussregler (Mass Flow Controller) Brooks 5850TR Ausführung +/-15V Versorgung und SubD15 Stecker. Zweimalige Anfrage bei der Firma Westphal (Brooks-Vertrieb) war ergebnislos. Das Teil verwendet einen LM224 u. REF02. MfG
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