Programmierung Attiny 84

OP #2972530
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Hallo
habe problem bei der programmierung eines Attiny 84 mit dem AVR Studio 
4.
Der Ablauf:
-Lade mein Programm in hex in das AVR Studio 4
-schliesse das ISP Kabel an die Platine und schalte die Platine ein
-Kontrolier die einstellung Prz auf A 84 und die Fuse auf E-Fuse 0xff, 
H-Fuse auf 0xdf, die L-Fuse auf 0xe2.
-setze Prequenz auf 1MHz
- Gehe auf programmieren
-bekomme die Fehlermeldung : Failed Fuse
wenn ich es kontrolliere stehen die Fuse alle auf 0x00. daher kommt dann 
die Fehlermeldung. Hat jemand eine Idee, was falsch mache?
achim

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