ATMEGA64-16 TQ

#3997297
So kann man dir überhaupt nicht helfen. Keiner weiß was du wie 
angeschlossen hast. TQ? TQFN Package?

Wo hast du den ISP angeschlossen? Hast du eine externe Betriebsspannung 
an allen VCC/GND Pins angeschlossen? Denn der AVRISP gibt stellt keine 
Betriebsspannung bereit.

Bei einem neuen Atmega solltest du den ISP Clock auf 125kHz - 250kHz 
stellen, da der Atmega zwar von Haus aus 8MHz hat, jedoch vermutlich wie 
bei den anderen auch, ein internen Teiler von 8 nutzt.

ISP Clock = 8MHz/8/4 = 250kHz

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