Unterätzung einer Leiterbahn bestimmen

Gast #4547621
Hallo, an der Uni musste ich in einem Praktikum eine Platine ätzen und 
die Unterätzung bestimmen. Soweit auch alles kein Problem, aber 
mittlerweile stelle ich mir die Frage, wie das überhaupt möglich gewesen 
sein sollte.
Laut Wikipedia (https://de.wikipedia.org/wiki/%C3%84tzfaktor) ist die 
Unterätzung die Länge a, also die Hälfte des Abmaßes. Gemessen wurde die 
Unterätzung mit einem Mikroskop, in das eine Skala integriert war. Wenn 
man jetzt aber senkrecht von oben auf diese Struktur guckt, dann sollte 
man a doch gar nicht bestimmen können. Schließlich kann man mit dem 
Mikroskop nur sehen, wo Kupfer ist, aber nicht welche Tiefe es dort hat.
Kann mir das jemand erklären?
Gast
Wer sagt denn, dass senkrecht von oben draufgesehen wird?

Ich nehme stark an, dass bei solchen Untersuchungen die Leiterplatte 
quer durchgeschnitten wird und dass man einen Querschliff der Leiterbahn 
im Mikroskop ansieht.
Gast
Nein, genau das war nicht der Fall. Wir haben einfach nur durch ein 
Mikroskop die Leiterbahnenbreite gemessen, so wie es uns der 
Praktikumsleiter erklärt hatte. Es ärgert micht jetzt ein bisschen, dass 
ich nicht gleich skeptisch geworden bin.
Gast
studi321 schrieb:
> Schließlich kann man mit dem
> Mikroskop nur sehen, wo Kupfer ist, aber nicht welche Tiefe es dort hat.

Nicht genau, welche Tiefe, aber das ist ja auch garnicht gefragt. Wie 
breit die Leiterbahn an ihrer Oberseite ist kann man nach Entfernen der 
Ätzreserve sehr wohl sehen, weil diese eben ist im Gegensatz zu den 
steil abfallenden Flanken, i.d.R. kann man sogar wegen der geringen 
Tiefenschärfe durchstellen von oben scharf bis am Fusspunkt scharf. 
Wobei letzteres auch unerheblich ist, die Unterätzung ist bestimmt durch 
die Breite an der Oberfläche der Leiterbahn im Verhältnis zur Breite der 
Ätzreserve, die Breite am Fusspunkt ist irrelevant. Dass die Leiterbahn 
dort die Breite der Ätzreserve hat, ist ein nicht vorkommender 
Idealfall, das interessiert aber überhaupt nicht: ist sie dort schon 
schmaler, so wurde einfach noch mehr unterätzt. Lässt man die LP viel zu 
lange unter Ätzeinwirkung, so kann sie beliebig schmal werden.

Natürlich muss auch die Breite der Ätzreserve keineswegs der Sollbreite 
aus dem CAD-System entsprechen, in der Praxis ist das kaum jeh der Fall. 
Das ist aber ein anderer Effekt als die Unterätzung und wird oft zu 
deren Kompensation benutzt.

In jedem Fall ist ein Schliffbild die ultimative Methode. Dann hat man 
auch die Schichtdicke.

Georg

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