Datenblatt eines einachsigen Beschleunigungssensors gesucht

OP #5240873
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Hallo,

das im Anhang gezeigte Bauteil (SMD) war in einem einachsigen 
Beschleunigungssensor verbaut. Kann jemand anhand des Logos den 
Hersteller identifizieren oder hat jemand gar ein Datenblatt zu dem 
Sensor?

Die Abmessungen des Gehäuses betragen ca. 9x9 mm.

Mit freundlichen Grüßen
Guido
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