Lagerung Piezomembran Wasserzerstäubung

Vielleicht hilft Dir das hier ein wenig weiter:
https://www.piceramic.de/de/anwendungen/medizintechnik/piezo-mikropumpen/

Prinzipiell funktionieren alle Membran-Pumpen so, daß die Membran 
ringsum (dicht) eingespannt ist und dann mittig per Hub hin- und 
herbewegt wird.
Wodurch das Volumen auf der Seite, wo die Ventile sitzen, verkleinert 
und vergrößert wird.
Was die Voraussetzung dafür ist, daß man auch mit Membranen pumpen kann.

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