Erweiterter Frequenzgang ICS-40730 (MEMS analog)

Burkhard K. OP #6496435
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Das TDK ICS-40730 wird mit 74 dB SNR als "ultra-low noise" MEMS-Mikro 
beworben. Offensichtlich ist es auch als Ultraschall-Sensor geeignet. 
Das Datenblatt ( 
https://invensense.tdk.com/download-pdf/ics-40730-datasheet ) zeigt wie 
üblich lediglich den Frequenzgang bis 20 kHz (mit deutlicher Erhöhung 
von 12 dB).

Da MEMS-Mikros sich anders verhalten als Elektret-Kapseln - wie könnte 
der erweiterte Frequenzgang bis 100 kHz aussehen?
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