ATtiny26 kaputt!

Hi,

habe so eben festgestellt dass mir 2 ATtiny's futsch gegangen sind. Ich 
frage mich nur wie?! Die Spannung 5V kommt von meinem PC daran kann es 
nicht liegen. Ich habe ein programm aufgespielt und auf einmal wollte er 
nicht mehr. Habe es daran gemerkt dass der PWM ausgang nur noch komisch 
rumgeflackert hat, habe dann mal spannung weggenommen und wieder dran, 
manchmal ging er dann wieder.. teilweise ging er dann garnicht.. Mit 
3,2V oder so stehen die chancen ganz gut dass er noch läuft, lässt sich 
dann auch per ISP und Ponyprog auslesen. Mit mehr Spannung lässt sich, 
falls überhaupt, nur wirrwar auslesen. Der Andere hat irgendwie völlig 
den Geist aufgegeben.

Wie kann das sein dass die einfach so kaputt gehen? Über den Port ist 
soweit ich weiß nicht zuviel Strom geflossen.

mfg PoWl