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REM Fotos von Halbleiterstrukturen
Gast
#2801875
Hallo, vielleicht kennt einer von Rasterelektronenmikroskopbilder von Halbleiterstrukturen, wie z.B. bei chipworks.com . Da diese leider wegen Reverse Engineering Zwecken mehrere tausend USD kosten, wollte ich fragen ob jemand eine Seite kennt, die solche Bilder zeigt. Ich interessiere mich sehr für den tatsächlichen Aufbau der Halbleiter auf einem Die, habe aber im Internet dazu nichts gefunden. Danke im Voraus
Gast
#2801900
Keine REM-Bilder, aber sehr hoch ausgelöst: http://visual6502.org/
Gast
#2801911
Danke Micha! Hmm, schrieb: > Hallo, > > vielleicht kennt einer von Rasterelektronenmikroskopbilder von > Halbleiterstrukturen, Solche Bilder habe ich schon selbst gemacht; sie sind aber nicht sehr aussagekräftig, da man normalerweise nur die Oberfläche sieht. Interessanter sehen da schon Aufnahmen mit dem Lichtmikroskop aus, da man da ja durch das als Isolierung verwendete Siliziumdioxyd hindurchsehen kann. Die Strukturen dürfen da aber nicht allzuklein sein (typisch ICs der 70-er Jahre). Gruss Harald
Gast
#2801930
Ich habe Fotos von 20nm Floating Gates gesehen, wie machen die diese? Erst die Schichten über der eigentlichen Schicht wegätzen? Oder TEM? Hmm, schrieb: > Ich habe Fotos von 20nm Floating Gates gesehen, wie machen die diese? > Erst die Schichten über der eigentlichen Schicht wegätzen? Oder TEM? Wäre beides möglich. Um die Flusssäure, die man zum Ätzen braucht, habe ich aber immer einen großen Bogen gemacht. Gruss Harald Antwort schreiben |
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