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Schlitten im REM
Gast
#2923969
Hallo zusammen, ich war heute bei einem "Tag der offenen Tür" und konnte mir ein Rasterelektronenmikroskop aus der nähe ansehen. Nun wird Schlitten mit der Probe teilweise im µm Bereich bewegt, mich interessiert wie solch kleine Bewegungen so absolut genau durchgeführt werden. Vor Ort konnte mir das leider keiner sagen. Hat hier jemand eine Idee? LG hans
Gast
#2923985
Getriebe?
Gast
#2923989
Verschiebetisch mit µm-Spindel. Hans Peter
Gast
#2923990
Hallo, Piezo-Antriebe funktionieren noch im nm-Bereich. Grobverstellung im µ-Bereich und auch noch darunter ist heute Standardtechnik in jeder Mechanikwerkstatt. Gruss Reinhard Hansi schrieb: > ich war heute bei einem "Tag der offenen Tür" und konnte mir ein > Rasterelektronenmikroskop aus der nähe ansehen. Nun wird Schlitten mit > der Probe teilweise im µm Bereich bewegt, mich interessiert wie solch > kleine Bewegungen so absolut genau durchgeführt werden. Mit so etwas ähnlichem wie eine Mikrometerschraube: http://de.wikipedia.org/wiki/Mikrometerschraube Die direkte Scanbewegung wird dann rein elektrisch gemacht, mit Schaltungen, ähnlich wie man sie in Röhrenfernsehern hat. Die horizontale Auflösung eine solchen Gerätes liegt in der Größen- ordnung von einem Nanometer. Gruss Harald Hansi schrieb: > ich war heute bei einem "Tag der offenen Tür" und konnte mir ein > Rasterelektronenmikroskop aus der nähe ansehen. Nun wird Schlitten mit > der Probe teilweise im µm Bereich bewegt, mich interessiert wie solch > kleine Bewegungen so absolut genau durchgeführt werden. Vor Ort konnte > mir das leider keiner sagen. Hat hier jemand eine Idee? Verstellbewegungen im Mikrometerbereich? Den Trick beherrscht doch bereits jede Mikrometerschraube oder auf Neusprech "Bügelmessschraube", die man für wenige Euro kaufen kann. Sowas wie hier: http://www.imp-deutschland.de/cv/mess/bm_analog.htm An einem REM gibt es wohl Bauteile, die eher High-Tech sind als ein mechanisches Feingetriebe. Praktisch sieht das z.B. so aus: http://thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=706 Die Thorlabs-Bauteile sind prinzipiell Vakuumtauglich, so bis ~1x10^-6mbar, mit dem entsprechendem Schmiermittel. Wenn es ein ganz normales REM war, wird es höhere Anforderungen an das Vakuum in der Probenkammer haben - aber auch das ist kein Problem, andere Hersteller (z.B. Newport) haben vergleichbare X/Y(/Z)-Stages auch in UHV-tauglich. Manipuliert wird bei moderneren REMs wahrscheinlich mit im Vakuum sitzenden Schrittmotoren, bei älteren Geräten sind die Antriebe einfach mittels Achsen und hermetisch dichten Magnetkupplungen aus dem Vakuum auf Handräder zur Probenmanipulation geführt. Die 'Basis-Bauteile' für derartige Mikro-Manipulationsaufgaben siehst Du hier: http://thorlabs.com/navigation.cfm?guide_id=5 Antwort schreiben |
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