Wie ist dieser Satz zu verstehen?

Josef schrieb:
> Hallo Leute, im Folgenden Text....
>
> http://www.cerobear.de/fileadmin/images_3/Prospekt...
>
> ... geht es um ein Wälzlager für Vakuum.
>
> Da entnehme ich folgenden Satz:
>
> Die geforderten exakten Positionierungen bei der Wafer Handhabung
> stellen hohe Anforderungen an die Steifigkeit der Lagerung. (Seite 2)
>
> Wie ist dieser Satz zu verstehen? Was macht die Steifigkeit bzw. was ist
> eine hohe Steifigkeit für die exakte Posit. notwendig bzw. warum hohe
> Anforderung an die Steifigkeit der Lagerung?
>
> Vielen Dank

Steifigkeit ist ein Maß für die Verschiebung durch eine Kraft, z.B. N 
pro mm Verschiebung.

Da beim Positionieren eines Tisches Reibungskräfte in willkürlicher 
Richtung auftreten, wird durch diese Kräfte das Erreichen der Position 
in willkürlicher Richtung gestört. Der elastische Teil der Lagerung darf 
daher nicht im Geringsten federn. (müssen also hohen Wert der N/mm 
Verschiebung haben)

Veranschaulichung anhand eines Drehspulinstruments würde besser 
gelingen: Die Reibung lässt den Zeiger mit einem gewissen Streubereich 
seine Sollposition erreichen (z.B. den Nullpunkt) Bei hochempfindlichen 
Instrumenten (- zig µA Vollausschlag)sieht man auch, dass nach Bewegung 
der Zeiger nur in einem sichtbaren Streubereich landet. Hat das 
Drehspulsystem aber eine recht steife Feder (und damit geringe 
Empfindlichkeit) ist der durch Reibung erzeugte Streubereich der 
Position wesentlich kleiner.

Deswegen waren Drehspulmessgeräte der Genauigkeitsklassen 0,2 0der 0,1 
wahre Stromfresser mit 50 oder gar 100mA Strom bei Vollausschlag. 50µA- 
Drehspulinsrumente haben, durch die recht schwache Feder einen 
sichtbaren Streubereich der Anzeigeposition und erreichen kaum die 
Genauigkeitsklassen 1% oder 2%

Peter R. schrieb:

> Veranschaulichung anhand eines Drehspulinstruments würde besser
> gelingen: Die Reibung lässt den Zeiger mit einem gewissen Streubereich
> seine Sollposition erreichen (z.B. den Nullpunkt) Bei hochempfindlichen
> Instrumenten (- zig µA Vollausschlag)sieht man auch, dass nach Bewegung
> der Zeiger nur in einem sichtbaren Streubereich landet. Hat das
> Drehspulsystem aber eine recht steife Feder (und damit geringe
> Empfindlichkeit) ist der durch Reibung erzeugte Streubereich der
> Position wesentlich kleiner.

Deshalb hatten Drehspulinstrumente mit <=50µA auch eine reibfreie
(Bändchen-)Lagerung. :-)
Grundsätzlich gilt: Je genauer eine(Meß-)maschine sein soll, desto
stabiler und schwerer wird sie gebaut. Wenn man einige Zeit im
Präzisionsbereich gearbeitet hat, sieht man meist schon auf den
ersten Blick, ob ein Messaufbau so funktionieren wird oder nicht.
Gruss
Harald

Stell Dir vor, ein Positionierungstisch würde federnd gelagert sein und 
ein Betätigungsarm würde mit einer Messspitze drauf hin und her fahren. 
Die Messspitze käme nie auf präzise Position, da ja der Tisch federnd 
ausweichen würde.
Es gilt daher: Bei Präzision darf nichts federn, sonst weicht es aus.
Die Steifigkeit ist Kehrwert zur Weichheit der Federn.

Große Steifigkeit = geringes Ausweichen.