Ätzen Kupferchlorid Optimierung

[Michael (Gast)]

Ich habe erstmals mit CuCl2 geätzt und habe folgende Ergebnisse ( Bilder 
in den nächsten Beiträgen, ich weiss nicht wie man mehrere anhängt).

Problemzonen: enge Negativabstände.

Strukturen 4 mil Abstände unter 4 mil versagen, teils auch grössere 
Strukturen.

Wo setze ich in der Prozessoptimierung an ?

Das Testfile ist

http://www.creations.de/blog/wp-content/uploads/2011/12/atztest.pdf

[Michael (Gast)]

Bild 2

[Michael (Gast)]

Bild 3

[Timm R. (Firma: privatfrickler.de) (treinisch)]

Hi,

das liegt doch nicht an der Ätzlösung? Ich denke mal, das sind Schatten 
von der Belichtung.

vlg
 Timm

[Michael (Gast)]

Du meinst, dass der Belichter unsauber focussiert?

[michael_ (Gast)]

Die Kanten sehen so angefressen aus.
Evtl. die Folie falsch herum aufgelegt?

Michael schrieb:
> Bild 3

Ist das Stereo :-)

[Michael (Gast)]

Das ist mit Direktschreiber ausbelichtet, der sollte die Auflösung 
problemlos können, es gibt keinen Folienzwischenschritt.

[Michael (Gast)]

Ok , danke für den Hinweis, Fehler ist bereits in der 
Belichtereinstellung.

[Michael (Gast)]

Unterbelichtung oder Lieferung überlagertes Material?

[Michael (Gast)]

oder zu kirz entwickelt?

[Werner H. (pic16)]

Michael schrieb:
> oder zu kirz entwickelt?

Schon möglich. Weitere Fehlerquellen wären: Film liegt nicht plan auf 
(ist am wahrscheinlichsten), Entwickler ist zu kalt oder nicht 
ausreichend belichtet.

Einfach mal vor dem ätzen mit einer Lupe nachschauen. Wozu benötigst du 
0,1mm Leiterzüge?

[Michael (Gast)]

Ich benötige die 100u Strukturen in einem technischen Prozess.