Ätzen Kupferchlorid Optimierung

Gast #4968422 
Ich habe erstmals mit CuCl2 geätzt und habe folgende Ergebnisse ( Bilder 
in den nächsten Beiträgen, ich weiss nicht wie man mehrere anhängt).

Problemzonen: enge Negativabstände.

Strukturen 4 mil Abstände unter 4 mil versagen, teils auch grössere 
Strukturen.

Wo setze ich in der Prozessoptimierung an ?

Das Testfile ist

http://www.creations.de/blog/wp-content/uploads/2011/12/atztest.pdf
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