Ätzen Kupferchlorid Optimierung

Michael Gast 08.04.2017 21:05 #4968422

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Ich habe erstmals mit CuCl2 geätzt und habe folgende Ergebnisse ( Bilder 
in den nächsten Beiträgen, ich weiss nicht wie man mehrere anhängt).

Problemzonen: enge Negativabstände.

Strukturen 4 mil Abstände unter 4 mil versagen, teils auch grössere 
Strukturen.

Wo setze ich in der Prozessoptimierung an ?

Das Testfile ist

http://www.creations.de/blog/wp-content/uploads/2011/12/atztest.pdf

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Michael Gast 08.04.2017 21:07 #4968423

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Bild 2

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Michael Gast 08.04.2017 21:08 #4968425

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Bild 3

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Timm R. (treinisch) (Firma: privatfrickler.de) 08.04.2017 21:12 #4968432

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Hi,

das liegt doch nicht an der Ätzlösung? Ich denke mal, das sind Schatten 
von der Belichtung.

vlg
 Timm

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Michael Gast 08.04.2017 21:15 #4968437

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Du meinst, dass der Belichter unsauber focussiert?

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michael_ Gast 08.04.2017 21:17 #4968438

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Die Kanten sehen so angefressen aus.
Evtl. die Folie falsch herum aufgelegt?

Michael schrieb:
> Bild 3

Ist das Stereo :-)

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Michael Gast 08.04.2017 21:20 #4968440

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Das ist mit Direktschreiber ausbelichtet, der sollte die Auflösung 
problemlos können, es gibt keinen Folienzwischenschritt.

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Michael Gast 08.04.2017 21:31 #4968455

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Ok , danke für den Hinweis, Fehler ist bereits in der 
Belichtereinstellung.

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Michael Gast 08.04.2017 21:32 #4968458

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Unterbelichtung oder Lieferung überlagertes Material?

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Michael Gast 08.04.2017 21:32 #4968459

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oder zu kirz entwickelt?

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Werner H. (pic16) 08.04.2017 23:56 #4968586

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Michael schrieb:
> oder zu kirz entwickelt?

Schon möglich. Weitere Fehlerquellen wären: Film liegt nicht plan auf 
(ist am wahrscheinlichsten), Entwickler ist zu kalt oder nicht 
ausreichend belichtet.

Einfach mal vor dem ätzen mit einer Lupe nachschauen. Wozu benötigst du 
0,1mm Leiterzüge?

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Michael Gast 09.04.2017 06:07 #4968642

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Ich benötige die 100u Strukturen in einem technischen Prozess.

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