AT90CAN128 Problem JTAG

Hallo Leute,
ich habe da ein kleines Problem mit der JTAG-Schnittstelle wenn ich on
chip debug fahren will. Wenn ich in den Fuses On-Chip Debug auf
programmed setzte und anschließend das Programm lade, wird, wenn ich
mir die Fuses anschaue, On-Chip Debug wieder disabled.
Hat jemand eine Idee?

Danke und Grüße