AVR/Atmel Studio 7 - Fuse Bits ändern nicht mehr möglich

Hallo zusammen,

ich habe letztens angefangen mich mit der Programmierung von den AVR 
Mikrocontrollern zu beschäftigen. Dazu habe ich mir einen ATtiny13A und 
einen ISP Programmer (Diamex All-AVR-Programmer) bestellt. Am Anfang hat 
auch alles funktioniert (heißt ich konnte die Fuse Bits ändern, 
programmieren etc.), allerdings geht das seit gestern nicht mehr.
Mein Programm kann ich nach wie vor auf den Controller flashen, und das 
Programm funktioniert dann auch. Die Signatur und die Spannung kann ich 
ebenfalls auslesen. Wenn ich aber bei den Fuse Bits etwas ändern will 
(ich wollte die Brown-Out-Erkennung anschalten) und dann auf "Verify" 
drücke, dann kommt folgende Fehlermeldung:

Timestamp:  2020-08-21 17:11:22.229
Severity:    ERROR
ComponentId:  20000
StatusCode:  0

One or more registers differs

Atmel.VsIde.AvrStudio.Services.TargetService.RegistersMismatchException:

Ich habe das ganze schon an einem anderen PC versucht, dort funktioniert 
es auch nicht. Controller wurde auch schon getauscht. Der Controller 
wird über den Programmer mit 5V versorgt.
Ich habe das ganze auf einem Steckbrett aufgebaut. Nachdem die 
Fehlermeldung kam habe ich alles unnötige wie LEDs etc entfernt, es ist 
also nur noch der Controller (+ 100nF Keramikkondensator) am Programmer 
angeschlossen.

Weiß jemand wie sich der Fehler beheben lässt, bzw. woran es liegen 
könnte?

Viele Grüße