Interferenzmuster auf Chip

[Peter X. (vielfrass)]

Auf alten Eproms mit Löschfenster kann man so farbige Regenbogenmuster 
auf dem Chip sehen. Oder wnn man mit einem Laserpointer draufleuchtet 
bekommt man ein schönes Beugungsmuster an die Wand geworfen.

Der Abstand der Beugungsmaxima lässt sich nach folgender (Faust)Formel 
vorhersagen:

l = Wandabstand * Lichtwellenlänge / Structurbreite

Ob man da wohl bei Strukturbreiten von heutzutage 65nm oder sogar 34nm 
noch was sehen kann?

[Daniel R. (daniel_r)]

Wird schwer da noch was zu sehen. Wenn der Spaltabstand 10 mal kleiner 
ist, als die Wellenlänge des Lichts, wird man da nichts mehr sehen, 
zumindest keine Interferenzmuster.

Daniel

[Matthias S. (da_user)]

Aus Erfahrung kann ich sagen: Die Chips leuchten heute auch noch schön 
in Regenbogenfarben, zumindest die Technologien bis auf ~150nm