Selbst wenn die Quelle zu hochohmig wäre, ist es sehr unwahrscheinlich
damit den FU zu killen. Da man hier eine analoge Spannung hat, limitiert
sich nur die obere übertragbare Grenzfrequenz über das Kabel von Deiner
CNC-Steuerung zum FU.
Den Innenwiderstand mittels Leistungsanpassung (Rlast = Ri) zu ermitteln
würde ich nicht machen, denn Du weißt nicht wie der Ausgang abgesichert
ist, falls er es denn überhaupt ist.
Eine einfachere Methode ist folgende:
Ausgang abklemmen (also unbelastet lassen), eine (hohe) statische
Spannung am Ausgang ausgeben, und die sogenannte Leerlaufspannung
messen. Anschließend einen bekannten (Last-)Widerstand anschließen, mit
dem, bei der gegebenen Ausgangsspannung, ungefähr ein Strom von
vielleicht 20mA fließen. Dies ist ein Wert, den eigentlich jeder
Operationsverstärker (OpAmp) liefern kann. Wieder die (nun belastete)
Ausgangsspannung messen. Der Innenwiderstand der Quelle errechnet sich
aus deltaU zu deltaI. Die beiden Spannungswerte hast Du ja gemessen -
also einfach die Differenz bilden (Betrag reicht). Das deltaI ist noch
einfacher zu ermitteln, da im unbelasteten Zustand I=0A ist und im
belasteten Zustand durch den bekannten (Last-)Widerstand und der
gemessenen Spannung über ihn errechenbar ist.
Im allgemeinen kommen da Werte <1 Ohm raus, bei industrietauglichen
Komponenten (die dauerkurzschlußfest sein sollen/müssen) wird man eher
Werte so um die 50...100 Ohm oder gar mehr messen.
Sei versichert, das ein Ausgang mit fast 0 Ohm keine Kiloampere liefern
wird, wenn er denn kurzgeschlossen wird. I.d.R. sorgen interne
Schutzschaltungen (SOA genannt - S_afe O_perating A_rea) für eine
Begrenzung des Stromes (zumindest kurzzeitig, bis er sich wegen
thermischer Überlastung verabschiedet). Die entsprechenden Datenblätter
würden darüber Auskunft geben.