AVR ATMega128 Fuse programmiert, Signatur stimmt nicht mehr

Hallo zusammen,

ich steh hier vor einem Problem. Hab einen ATMega128 (SMD) in meine 
Schaltung eingebaut und will ihn mit dem Simple Cable Programmer 
programmieren. Hab ich schon mit diversen anderen AVRs und diesem 
Programmierkabel erfolgreich getan. Nachdem ich in die 
"Pinbelegung"-Falle reingefallen bin und wieder rausgekam, schien es zu 
funktionieren. Ich begann die Fuses mit AVRdude zu programmieren und mit 
der EFuse und HFuse hat auch alles funktioniert. Dann habe ich die LFuse 
programmiert, die Bestätigung erhalten das alles geklappt hat und ab 
dann ging nichts mehr. Ich bekomme ständig andere, falsche Signaturen 
zurück.

Nun hatte ich gefolgert, dass ich ja in die "Externer Oszillator"-Falle 
hineingetappt sein könnte. Aber dem war nicht so. Hab zwar kein 
Oszilloskop zum Prüfen da, aber laut Multimeter liegt Spannung an den 
Quarzbeinen. Trotzdem mal verdachtshalber einen externen Takt angelegt 
-> Pustekuchen. Da hatte ich nur noch die 0xffffff Signatur.

Ich weiss jetzt nicht mehr weiter. Vielleicht habt ihr eine Idee was ich 
noch falsch gemacht haben könnte, oder wie ich die Sache retten kann.

Zur Info. In die Fuses habe ich folgendes programmiert:
EFuse: 0xFF
HFuse: 0x89
LFuse: 0xDF
Als Taktquelle ist ein 16MHz Quarz vorgesehen.

Datenblatt (wer's will) gibts hier:
http://www.atmel.com/dyn/resources/prod_documents/doc2467.pdf

Gruß
Stephan