Hallo zusammen, ich bin schon eine weile auf der Suche nach einer Lösung wie ich einen Wafer durchleuchten kann. Oder zumindest die Struktur des Wafers erkennen kann, in diesem Falle die zukünftigen Sägegassen. Diese kann man von der Rückseite bereits leicht erkennen. Aber nicht ausreichend!! Hintergrund ist das ich einen Wafer auf einem Tisch legen und ausrichten muss, der Wafer hat keine Flat und auch keine Notch. Den Wafer seh ich auch nur von der Rückseite, also seh ich auch nicht die Wafernummer. Den Wafer kann ich ungefähr nach der Wafernummer ausrichten, wenn ich den Wafer auf den Tisch lege. Dies war es aber auch schon, sonst ist der Wafer Kreisrund. Meine Idee war das man den Wafer mit IR-LEDs ( 1300nm ) durchleuchtet und sich so den Spaß anschauen kann. Leider ist nun einmal nichts zu finden was mir da wirklich weiter hilft. Vielleicht hat ja hier einer ein paar Tipp´s, dies würde mich echt vorwärts bringen.
Hältst Du das wiklich für ein alltägliches Problem?
Guck dir das Absorbtionsspektrum hier an: http://www.korth.de/index.php/material-detailansicht/items/32.html?pdf=53 Daran sieht man, das Silizium bei ca 1200nm relativ durchlässig ist. Also könnte die IR-LED Methode klappen, eventuell IR-Laser verwenden. Falls du bonzig viel Geld hast, kannste auch sowas kaufen: http://www.ebay.com/sch/i.html?_nkw=ir+microscope+&_cqr=true&_nkwusc=ir+micrsocope&_rdc=1
kannst du den nicht zum Zahnarzt deines Vertrauens mitnehmen und bitten, mal eine Röntgenaufnahme zu machen?
Jonas P. schrieb: > Hintergrund ist das ich einen Wafer auf einem Tisch legen und ausrichten > muss, der Wafer hat keine Flat und auch keine Notch. Den Wafer seh ich > auch nur von der Rückseite, also seh ich auch nicht die Wafernummer. Klingt erstmal komisch. Alle Wafer die ich bisher gesehen habe, hatten zumindest eine Notch und die Wafernummer (OCR-code) war auf der Rückseite aufgedruckt. Ich lass mich aber gern eines Besseren belehren; oder züchtest du im Keller deine eigenen Ingots ? :) > Meine Idee war das man den Wafer mit IR-LEDs ( 1300nm ) durchleuchtet > und sich so den Spaß anschauen kann. Ja, das funktioniert sehr gut. Für IR Licht ist Silizium fast so durchlässig wie Glas für sichtbares. Vielleicht reicht es in deinem Fall, da du einen Teil der Struktur bereits erkennen kannst, sogar schon aus einen zusätzlichen IR-Scheinwerfer und/oder einen Rotfilter vor die Kamera zu installieren.
Rufus Τ. Firefly schrieb: > Hältst Du das wiklich für ein alltägliches Problem? für mich schon, zumindest im Moment muss ich mich sehr damit beschäftigen ------------ Trollo schrieb: > Guck dir das Absorbtionsspektrum hier an: > http://www.korth.de/index.php/material-detailansicht/items/32.html?pdf=53 > > Daran sieht man, das Silizium bei ca 1200nm relativ durchlässig ist. > Also könnte die IR-LED Methode klappen, eventuell IR-Laser verwenden. > > Falls du bonzig viel Geld hast, kannste auch sowas kaufen: > http://www.ebay.com/sch/i.html?_nkw=ir+microscope+&_cqr=true&_nkwusc=ir+micrsocope&_rdc=1 Danke für den ersten Link, den finde ich mal interessant. und nein ich habe nicht zu viel Geld ... wäre schön wenn ;) Dabei fällt mir ein, wer zu viel Geld oder Urlaub hat kann ja etwas davon an mich Spenden -------- Wegstaben Verbuchsler schrieb: > kannst du den nicht zum Zahnarzt deines Vertrauens mitnehmen und bitten, > mal eine Röntgenaufnahme zu machen? Nein, geht nicht. Den Wafer muss ich auf einen Tisch legen und ihn an dieser Stelle Ausrichten und dort weiterverarbeiten. Also es muss genau dort an dieser Stelle passieren und geht nicht woanders. ------------ Tom Ekman schrieb: > Jonas P. schrieb: > >> Hintergrund ist das ich einen Wafer auf einem Tisch legen und ausrichten >> muss, der Wafer hat keine Flat und auch keine Notch. Den Wafer seh ich >> auch nur von der Rückseite, also seh ich auch nicht die Wafernummer. > > Klingt erstmal komisch. Alle Wafer die ich bisher gesehen habe, hatten > zumindest eine Notch und die Wafernummer (OCR-code) war auf der > Rückseite aufgedruckt. Ich lass mich aber gern eines Besseren belehren; > oder züchtest du im Keller deine eigenen Ingots ? :) > >> Meine Idee war das man den Wafer mit IR-LEDs ( 1300nm ) durchleuchtet >> und sich so den Spaß anschauen kann. > > Ja, das funktioniert sehr gut. > Für IR Licht ist Silizium fast so durchlässig wie Glas für sichtbares. > > Vielleicht reicht es in deinem Fall, da du einen Teil der Struktur > bereits erkennen kannst, sogar schon aus einen zusätzlichen > IR-Scheinwerfer und/oder einen Rotfilter vor die Kamera zu installieren. Die Wafernummer habe ich auch, allerdings kann ich die nicht sehen, zumindest nicht von der Seite von der ich den Wafer seh wenn ich ihn ausrichte. Ich war genauso erstaunt als mir gesagt wurde das in Zukunft Flat und Notch wegfallen werden. Aber ich kann es nicht ändern, muss damit leben und nun das Problem lösen! Danke, bin auf der Suche. sieht aber so aus als ob ich noch weiter Suchen muss oder selber bauen. :( ===== Danke erst einmal
Jonas P. schrieb: > ls mir gesagt wurde das in Zukunft Flat und > Notch wegfallen werden Um die Ausbeute zu erhöhen, weil jetzt mehr Fläche zur Verfügung steht? Oder weil das Rumgeschleife zuviel Verunreinigungen mit sich bringt? Jonas P. schrieb: > Die Wafernummer habe ich auch, allerdings kann ich die nicht sehen, > zumindest nicht von der Seite von der ich den Wafer seh wenn ich ihn > ausrichte. Kannst du irgendwie einen Spiegel benutzen? mfg mf
Mit genügend Intensität könnte das auch noch mit den 950 nm LED gehen. Vom langwelligen Rand so bei 1000nm sollte auch noch einiges (1% ?) durch den Wafer kommen. Auch intensive LEDs bei 950 nm sind noch relativ günstig. Da hat man dann auch noch eine Chance mit einer normalen auf Si basierten CCD Kamera. Sonst halt die Idee mit dem Spiegel und ein Glastisch.
...es gibt Menschen, die haben sich schon Röntgengeräte gebaut. Finger ist einer von denen die dazu gehören: www.fingers-welt.de Er hat damit interessante Aufnahmen von Strukturen in technischen Geräten gemacht, aber ob das hier vielleicht ein Ansatz ist, weiß ich nicht. Eine Frage mal dazu, so ein Wafer ist ja wie beschrieben rund. Worum geht es bei deinem Problem genau? Der Wafer muss ausgerichtet werden, soviel ist klar, aber wie gehts nach dem durchleuchten dann weiter? Wird eine Kamera das Bild einfangen und der Wafer mit einer Software und einem Drehtisch ausgerichtet? Die Mechanik muss da ja sehr genau sein, oder? Auf so einem Wafer sind doch Strukturen im nm Bereich...oder existiert die Ausrichtung bereits? T.S.
Es scheint nur um eine rotatorische Ausrichtung zu gehen. x-y ist da nicht das Problem. mfg mf
Moin. Als Einstieg vielleicht: http://jp.hamamatsu.com/resources/products/sys/pdf/eng/e_c9597.pdf Ist zwar erstmal nur für single-Chips, denke aber mal, dass die auch für Wafer-Bonding Systeme eine Wafer-Alignlösung haben... Alleine für Beidseitenprozessierung ist eine Masken-Alignlösung auf IR-Basis nötig (gewesen). Viel Erfolg, Lars
Wer mit dem Wienschen Verschiebungsgesetz und dem Planckschen Strahlungsgesetz vertraut ist, weis, dass viele Halogenlampen ein Emissionsmaximum um 1100nm besitzen. Selbst wenn es daneben liegt, sagt das zweite Gesetz, dass viel Licht im Infraroten emittiert wird. Daher halte ich, und ich habe ähnliches schon ausprobiert, eine einfache Halogenlampe viel besser wie LEDs und Laser. Ist dein Wafer überhaupt poliert auf der Unterseite? Wenn nicht, geht da auch nicht viel durch. Achja: Du solltest schon auch eine Infrarot-Kamera verwenden! Die kosten meißtens sehr viel Geld.
Ir Kameras - von 2000 bis 150000€ Euro... Aber ich denke eine für 2000 könnte reichen :-)... Bei einer Halogenlampe ist die Hitzentwicklung schon sehr groß, es gibt doch auch diese IR Strahler für Kamera Nachtsicht für Gebäudemontage... T.S:
T.S. schrieb: > Bei einer Halogenlampe ist die Hitzentwicklung schon sehr groß Lichtleiter oder Spiegelsystem?
Ich hab mal einen mit einer Schreibtischlampe aus ca. 5 cm Entfernung angestrahlt. Probier doch einfach aus, wie nah du mit deiner Hand an eine Schriebtischlampe herankommst.
So schlimm muss das mit der Hitzentwicklung bei der Halogenlampe nicht sein, denn man braucht für eine Kamera bei einem fest stehenden Bild auch keine so hohe Intensität. Etwas besser könnte das Verhältniss bei den 950 nm IR LEDs sein, auch wenn da etwa 90% des Lichtes eine zu kurze Wellenlänge hat - bei der Halogenlampe ist auch nur ein kleiner Teil in dem kleinen Fenster (ca. 1000nm - 1050 nm) das noch genügend durch den Wafer geht, aber noch einigermaßen von einem Silizium CCD aufgenommen werden kann. Es ist aber ohnehin die Frage wieso man nicht gleich das Bild von unten macht (z.B. per Scanner) und dann eine feste Referenz (z.B. Lineal) oben hat.
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