Hallo, ich muss mit meinen Kommilitonen ein berührungslosen Wegsensor
für eine Nanomessmaschine aussuchen, der mir die Position eines Objektes
bei großerem Verfahrbereich liefern kann.
Am besten sind dazu optische Sensoren geeignet (zB Interferometer). Nun
habe ich daran gedacht, evtl. mir die Position bestimmen zu lassen über
irgendwelche Kamerasensoren??
Nur leider fehlen mir die Begriffe, wonach ich suchen muss, daher nun
eine Frage:
Gibt es Kamerasensoren, die eine Auflösung und Genauigkeit bis in den
nm-Bereich haben? Wenn ja, wie heißen die ?
Angeblich werden solche Sensoren bei der Halbleiterfertigung eingesetzt:
http://de.wikipedia.org/wiki/Bildverarbeitung
Zitat:
Vermessung von Chips in der Halbleiterfertigung: Es wird zum Beispiel
die Position der Ecke eines Chips in einem Bild gemessen. Mit dieser
Information kann dieser Chip präzise zur Bestückung positioniert werden.
Sebastian schrieb:> Angeblich werden solche Sensoren bei der Halbleiterfertigung eingesetzt:
Bestückung ist keine Halbleiterfertigung.
Auflösungen im nm-Bereich sind mit Bildsensoren phyisikalisch unmöglich;
bedenke mal, welche Wellenlänge das Licht selbst hat ...
Rufus Τ. Firefly schrieb:> Sebastian schrieb:>> Angeblich werden solche Sensoren bei der Halbleiterfertigung eingesetzt:>> Bestückung ist keine Halbleiterfertigung.>> Auflösungen im nm-Bereich sind mit Bildsensoren phyisikalisch unmöglich;> bedenke mal, welche Wellenlänge das Licht selbst hat ...
Also optische Sensoren werden schon mit nm-Auflösung eingesetzt, nur
Bildsensoren sind also nicht möglich??
Sebastian schrieb:> Also optische Sensoren werden schon mit nm-Auflösung eingesetzt
Aha.
Definiere "optischer Sensor", und beschreibe den Aufbau, dann wirst Du
verstehen, daß es da um etwas anderes geht.
> Auflösungen im nm-Bereich sind mit Bildsensoren phyisikalisch unmöglich;> bedenke mal, welche Wellenlänge das Licht selbst hat ...
Bildauflösung vielleicht, aber nicht Punktauflösung:
Stichwort Superresolution
Hallo,
da müsstest du erst mal 2 Fragen beantworten:
1. was heisst "im nm-Bereich"? 50 nm oder 5 nm sind ein riesiger
Unterschied im Aufwand.
2. was heisst "bei großerem Verfahrbereich"? 1m auf 1 nm auflösen macht
deine Uni arm.
Georg
Georg schrieb:> Hallo,>> da müsstest du erst mal 2 Fragen beantworten:>> 1. was heisst "im nm-Bereich"? 50 nm oder 5 nm sind ein riesiger> Unterschied im Aufwand.>> 2. was heisst "bei großerem Verfahrbereich"? 1m auf 1 nm auflösen macht> deine Uni arm.>> Georg
zu 1:
im nm-Bereich von 400nm und abwärts
zu 2:
großer verfahrbereich von 0 bis 100-300 mm
Gibt es sonst Möglichkeiten, mit der heutigen Signalverarbeitung
Auflösungen im nm-Bereich zu erhalten?
Sebastian schrieb:> zu 1:> im nm-Bereich von 400nm und abwärts>> zu 2:> großer verfahrbereich von 0 bis 100-300 mm>> Gibt es sonst Möglichkeiten, mit der heutigen Signalverarbeitung> Auflösungen im nm-Bereich zu erhalten?
zu 1 :
da bist du mit 400 nm schon im Bereich der Wellenlänge von UV-Licht,
d.h. die Strukturen die du erkennen willst sind genauso groß wie die
Wellenlänge des Lichtes das du verwendest.
zu 2 :
wenn du eine Auflösung von 400nm haben willst und du willst einen Weg
von 100 mm abdecken dann wäre das ein Verhältnis 1 : 250000. Wenn die
den gesamten Verfahrweg auf das Bild kriegen willst müsstest du also
mindestens 250000 Pixel in einer Richtung haben. Da bist du selbst bei
20MPixel-Sensoren um den Faktor 40 - 50 zu hoch.
Musst du den gesamten Verfahrweg auf ein Bild bekommen ?
mfg
A. Zöller
>> zu 1 :> da bist du mit 400 nm schon im Bereich der Wellenlänge von UV-Licht,> d.h. die Strukturen die du erkennen willst sind genauso groß wie die> Wellenlänge des Lichtes das du verwendest.>> zu 2 :> wenn du eine Auflösung von 400nm haben willst und du willst einen Weg> von 100 mm abdecken dann wäre das ein Verhältnis 1 : 250000. Wenn die> den gesamten Verfahrweg auf das Bild kriegen willst müsstest du also> mindestens 250000 Pixel in einer Richtung haben. Da bist du selbst bei> 20MPixel-Sensoren um den Faktor 40 - 50 zu hoch.>> Musst du den gesamten Verfahrweg auf ein Bild bekommen ?>> mfg>> A. Zöller
Also folgendes Problem: Kentnisse auf dem Gebiet der Bildverarbeitung
sind derzeit noch nicht vorhanden.
Mein Prof. sagte mir, ich solle zunächst schauen, ob dies überhaupt
möglich ist. Anwenden möchte er es, soweit ich weis, in einem
Präzisionsantrieb.
Für mich wäre nur die Frage zu klären, ob das zunächst PROBLEMLOS
möglich ist (Verarbeitung mit Matlab) dies zu realisieren.
Weil ich mich nicht einarbeiten will, und nachher klappt das nicht, und
dann muss ich mir was neues suchen.
Danke für eure Antworten
>> Also folgendes Problem: Kentnisse auf dem Gebiet der Bildverarbeitung> sind derzeit noch nicht vorhanden.>> Mein Prof. sagte mir, ich solle zunächst schauen, ob dies überhaupt> möglich ist. Anwenden möchte er es, soweit ich weis, in einem> Präzisionsantrieb.>> Für mich wäre nur die Frage zu klären, ob das zunächst PROBLEMLOS> möglich ist (Verarbeitung mit Matlab) dies zu realisieren.>> Weil ich mich nicht einarbeiten will, und nachher klappt das nicht, und> dann muss ich mir was neues suchen.>> Danke für eure Antworten
Übrigens, muss ich meine Frage realiesieren:
Ob dies KOSTENGÜNSTIG realisierbar sein wird??
