Forum: Analoge Elektronik und Schaltungstechnik Sensor gesucht, Hilfe, Kamerasensor?


von Sebastian (Gast)


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Hallo, ich muss mit meinen Kommilitonen ein berührungslosen Wegsensor 
für eine Nanomessmaschine aussuchen, der mir die Position eines Objektes 
bei großerem Verfahrbereich liefern kann.

Am besten sind dazu optische Sensoren geeignet (zB Interferometer). Nun 
habe ich daran gedacht, evtl. mir die Position bestimmen zu lassen über 
irgendwelche Kamerasensoren??

Nur leider fehlen mir die Begriffe, wonach ich suchen muss, daher nun 
eine Frage:

Gibt es Kamerasensoren, die eine Auflösung und Genauigkeit bis in den 
nm-Bereich haben? Wenn ja, wie heißen die ?

Angeblich werden solche Sensoren bei der Halbleiterfertigung eingesetzt:

http://de.wikipedia.org/wiki/Bildverarbeitung

Zitat:
Vermessung von Chips in der Halbleiterfertigung: Es wird zum Beispiel 
die Position der Ecke eines Chips in einem Bild gemessen. Mit dieser 
Information kann dieser Chip präzise zur Bestückung positioniert werden.

von Rufus Τ. F. (rufus) Benutzerseite


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Sebastian schrieb:
> Angeblich werden solche Sensoren bei der Halbleiterfertigung eingesetzt:

Bestückung ist keine Halbleiterfertigung.

Auflösungen im nm-Bereich sind mit Bildsensoren phyisikalisch unmöglich; 
bedenke mal, welche Wellenlänge das Licht selbst hat ...

von Sebastian (Gast)


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Rufus Τ. Firefly schrieb:
> Sebastian schrieb:
>> Angeblich werden solche Sensoren bei der Halbleiterfertigung eingesetzt:
>
> Bestückung ist keine Halbleiterfertigung.
>
> Auflösungen im nm-Bereich sind mit Bildsensoren phyisikalisch unmöglich;
> bedenke mal, welche Wellenlänge das Licht selbst hat ...

Also optische Sensoren werden schon mit nm-Auflösung eingesetzt, nur 
Bildsensoren sind also nicht möglich??

von Rufus Τ. F. (rufus) Benutzerseite


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Sebastian schrieb:
> Also optische Sensoren werden schon mit nm-Auflösung eingesetzt

Aha.
Definiere "optischer Sensor", und beschreibe den Aufbau, dann wirst Du 
verstehen, daß es da um etwas anderes geht.

von Thomas (Gast)


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Stichwort: Renishaw Resolute

von Radgeber (Gast)


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Klick dich hier mal durch:
http://www.electronicmesseonline.de/Sensoren.aspx#top

insbesondere A5.4, A5.6 und A5.11

von Sebastian (Gast)


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Vielen dank, werde gleich morgen früh mal schauen ....

von Sebastian (Gast)


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Hallo, kennt jmd sonst Kameras mit Bildverarbeitungssystemen, die 
Auflösungen im Submicrobereich ermöglichen?

von Käsefräse (Gast)


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Klar, jede Kamera an einem geeigneten Mikroskopobjektiv mit 
Tubuslinse... Was für eine Frage.

von Käsefräse (Gast)


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schau mal bei www.thorlabs.de
die haben vermutlich was passendes

von Käsefräse (Gast)


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> Auflösungen im nm-Bereich sind mit Bildsensoren phyisikalisch unmöglich;
> bedenke mal, welche Wellenlänge das Licht selbst hat ...

Bildauflösung vielleicht, aber nicht Punktauflösung:
Stichwort Superresolution

von Georg (Gast)


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Hallo,

da müsstest du erst mal 2 Fragen beantworten:

1. was heisst "im nm-Bereich"? 50 nm oder 5 nm sind ein riesiger 
Unterschied im Aufwand.

2. was heisst "bei großerem Verfahrbereich"? 1m auf 1 nm auflösen macht 
deine Uni arm.

Georg

von Sebastian (Gast)


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Georg schrieb:
> Hallo,
>
> da müsstest du erst mal 2 Fragen beantworten:
>
> 1. was heisst "im nm-Bereich"? 50 nm oder 5 nm sind ein riesiger
> Unterschied im Aufwand.
>
> 2. was heisst "bei großerem Verfahrbereich"? 1m auf 1 nm auflösen macht
> deine Uni arm.
>
> Georg

zu 1:
im nm-Bereich von 400nm und abwärts

zu 2:
großer verfahrbereich von 0 bis 100-300 mm

Gibt es sonst Möglichkeiten, mit der heutigen Signalverarbeitung 
Auflösungen im nm-Bereich zu erhalten?

von Sebastian (Gast)


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Keiner kann helfen?

von A. Zöller (Gast)


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Sebastian schrieb:
> zu 1:
> im nm-Bereich von 400nm und abwärts
>
> zu 2:
> großer verfahrbereich von 0 bis 100-300 mm
>
> Gibt es sonst Möglichkeiten, mit der heutigen Signalverarbeitung
> Auflösungen im nm-Bereich zu erhalten?

zu 1 :
da bist du mit 400 nm schon im Bereich der Wellenlänge von UV-Licht, 
d.h. die Strukturen die du erkennen willst sind genauso groß wie die 
Wellenlänge des Lichtes das du verwendest.

zu 2 :
wenn du eine Auflösung von 400nm haben willst und du willst einen Weg 
von 100 mm abdecken dann wäre das ein Verhältnis 1 : 250000. Wenn die 
den gesamten Verfahrweg auf das Bild kriegen willst müsstest du also 
mindestens 250000 Pixel in einer Richtung haben. Da bist du selbst bei 
20MPixel-Sensoren um den Faktor 40 - 50 zu hoch.

Musst du den gesamten Verfahrweg auf ein Bild bekommen ?

mfg

A. Zöller

von Laie RT (Gast)


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>
> zu 1 :
> da bist du mit 400 nm schon im Bereich der Wellenlänge von UV-Licht,
> d.h. die Strukturen die du erkennen willst sind genauso groß wie die
> Wellenlänge des Lichtes das du verwendest.
>
> zu 2 :
> wenn du eine Auflösung von 400nm haben willst und du willst einen Weg
> von 100 mm abdecken dann wäre das ein Verhältnis 1 : 250000. Wenn die
> den gesamten Verfahrweg auf das Bild kriegen willst müsstest du also
> mindestens 250000 Pixel in einer Richtung haben. Da bist du selbst bei
> 20MPixel-Sensoren um den Faktor 40 - 50 zu hoch.
>
> Musst du den gesamten Verfahrweg auf ein Bild bekommen ?
>
> mfg
>
> A. Zöller

Also folgendes Problem: Kentnisse auf dem Gebiet der Bildverarbeitung 
sind derzeit noch nicht vorhanden.

Mein Prof. sagte mir, ich solle zunächst schauen, ob dies überhaupt 
möglich ist. Anwenden möchte er es, soweit ich weis, in einem 
Präzisionsantrieb.

Für mich wäre nur die Frage zu klären, ob das zunächst PROBLEMLOS 
möglich ist (Verarbeitung mit Matlab) dies zu realisieren.

Weil ich mich nicht einarbeiten will, und nachher klappt das nicht, und 
dann muss ich mir was neues suchen.

Danke für eure Antworten

von Sebastian (Gast)


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>
> Also folgendes Problem: Kentnisse auf dem Gebiet der Bildverarbeitung
> sind derzeit noch nicht vorhanden.
>
> Mein Prof. sagte mir, ich solle zunächst schauen, ob dies überhaupt
> möglich ist. Anwenden möchte er es, soweit ich weis, in einem
> Präzisionsantrieb.
>
> Für mich wäre nur die Frage zu klären, ob das zunächst PROBLEMLOS
> möglich ist (Verarbeitung mit Matlab) dies zu realisieren.
>
> Weil ich mich nicht einarbeiten will, und nachher klappt das nicht, und
> dann muss ich mir was neues suchen.
>
> Danke für eure Antworten

Übrigens, muss ich meine Frage realiesieren:

Ob dies KOSTENGÜNSTIG realisierbar sein wird??

von Hello (Gast)


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Sebastian schrieb:
> Ob dies KOSTENGÜNSTIG realisierbar sein wird??

Diese Frage ist einfach zu beantworten: NEIN!

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