Forum: Analoge Elektronik und Schaltungstechnik Turbopumpe Motorkonfiguration


von Ring Rudolph (Gast)


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Hallo!

Ich habe hier eine kleine Turbopumpe und bin etwas ratlos was die 
Ansteuerung betrifft:

Die Pumpe besitzt einen bürstenlosen Motor mit 1. Polpaar und 4 
Statorwicklungen. Alle 4 Wicklungen sind sternförmig 
zusammengeschlossen.
(Bild im Anhang)

Leider gibt es für diese Pumpe keine Controller mehr, daher möchte ich 
mir einen eigenen bauen, basiert auf einem Arduino Duo.

Zum Teil funktioniert das auch, auch wenn der Motor oft aus dem Takt 
gerät.
Jetzt möchte ich das mit FETs etwas besser realisieren.

Zu meiner Frage:
Die Spulen in eine Richtung zu magnetisieren ist kein Problem. Nur weiß 
ich nicht, wie ich das in die andere Richtung realisieren soll. Hat da 
jemand eine Idee?
Ich bin leider etwas eingerostet, was das Arbeiten mit Transistoren 
angeht.


Vielen Dank!

: Verschoben durch Moderator
von Patrick J. (ho-bit-hun-ter)


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Hi

Sicher, daß Du die Spulen auch rückwärts bestromen musst?
Ich sehe da
- zwei Temperatur-Sensoren
- zwei Hall-Sensoren (oder ein Doppel-Sensor??)
- vier Spulen, wovon sich wohl jeweils zwei dieser Spulen je einen 
Sensor teilen
Denke mir, daß Du hier eine ähnliche Ansteuersequenz benötigst, wie beim 
Schrittmotor, dabei aber alle 4 in der gleichen Polung.

Wenn Umpolen: Suchwort H-Brücke

MfG

von Rudolph Ring (Gast)


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Die Hall Sensoren funktionieren leider nicht. Mit denen wäre das 
wahrscheinlich auch etwas einfacher. Aber ich werde noch versuchen, die 
Pumpe auseinanderzunehmen und einen neuen Sensor einzubauen.

Das mit dem Schrittmotor hab ich mir auch schon überlegt.
Nur habe ich damit bis jetzt noch nicht viel Glück gehabt, der Rotor ist 
dem Takt nie wirklich hinterhergekommen.
Außerdem muss ich das Teil später  auf seine 80.000U/min bringen
Deshalb wollte ich , die gegenüberliegende Spule auch zu nutzen.


Das mit der H-Brücke guck ich mir mal an.

von Schreiber (Gast)


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Rudolph Ring schrieb:
> Nur habe ich damit bis jetzt noch nicht viel Glück gehabt, der Rotor ist
> dem Takt nie wirklich hinterhergekommen.

An die Beschleunigungsrampe gedacht?
Und daran, dass solche Pumpen ihre Nenndrehzahl nur bei einem 
hinreichend geringen Vordruck erreichen?

von Ring Rudolph (Gast)


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Schreiber schrieb:
> An die Beschleunigungsrampe gedacht?
> Und daran, dass solche Pumpen ihre Nenndrehzahl nur bei einem
> hinreichend geringen Vordruck erreichen?

Ja, das sollte ich noch versuchen. Nur weiß ich nicht wie ich ein Signal 
mit variabler Frequenz zusammenbringen soll, welches eine Art Rampe 
besitzt und mit dem ich trotzdem die Transistoren schalten kann. Gibt es 
da bereits Lösungen?


Und das mit der Drehzahl ist mir eh bewusst. Aber zum testen reich 
normaler Druck aus.

von Bonzilio (Gast)


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Ich arbeite taeglich mit Turbopumpen, bevorzugt Pfeiffer HiCube 80. Die 
sind stromgeregelt. Sie fahren mit konstantem Strom, von ca 2A hoch bis 
sie 1500Hz erreichen und bleiben dann da. Unter Null Last, dh gutem 
Vorvakuum im sub mBar Bereich und 1E-7 am Ausgang sinkt der Motorenstrom 
auf ca 0.5A.
Das Hochfahren dauert Minuten. Die Drehzahl steigt erst richtig wenn der 
Druck bei 1E-3 mBar ist.
Wir haben abgeschlossene Volumina, ohne Gaseintrag.

von Rudolph Ring (Gast)


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Gut, konnte mir endlich wieder einige Sachen ansehen, bin aber nicht 
wirklich weiter gekommen...

Der Hall-Sensor ist defekt, da werde ich versuchen den zu wechseln, 
sofern ich die Pumpe aufbringe.

Weiters habe ich versucht über Mosfets die Spulen wie einen Schrittmotor 
anzusteuern, hat aber selten schlecht funktioniert. War ja auch klar, 
ist ja kein Schrittmotor.

Brauchbare Informationen über 4 Phasen Brushless-Motoren (Keine 
Schrittmotoren oder sonstiges) gibt es nicht, ich habe also momentan 
keinen Plan, wie ich das Teil zum Laufen bringen soll...

Hat hier vlt. noch jemand eine Idee?

von Purzel H. (hacky)


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Naja. 4 Phasen Motor ist ja schon ein Ansatz. Dann mach doch mal die 4 
Phasen.
Als Ansatz dreh den Rotor doch mal mit einer Akkubohrmaschine, und miss 
die Anschluesse.

von Rudolph Ring (Gast)


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Ich hab ja eh einen genauen Anschlussplan, siehe oben.
Das Problem liegt ja nicht darin, dass ich nicht weiß, was das für ein 
Motor ist, sondern wie ich ihn ansteuern soll.

Ich werde morgen mal versuchen, den Motor vom Rotor abzuziehen. Wenn ich 
das schaffe, kann ich das alles über Hall-Sensoren machen, da wäre das 
Problem mit dem Timing gelöst.

Lg

von Pumpenspezialist (Gast)


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> Leider gibt es für diese Pumpe keine Controller mehr, daher möchte
> ich mir einen eigenen bauen, basiert auf einem Arduino Duo.
Ah ja.
Bei ebay habe ich gerade 14 Stück gefunden.
Ja, die kosten ein paar Euro, und Du glaubst, das schnell mal mit ein 
paar Transistoren und einem Arduino lösen zu können. Träum weiter.

> Ich bin leider etwas eingerostet, was das Arbeiten mit
> Transistoren angeht.
Ah so, aber du weißt, dass die Hallsensoren kaputt sind.
Wie hast du das getestet? Oder hast du sie auf dem Gewissen.
Hast Du etwa den Mess- und Prüfadapter PM001210AX?

Zuerst schreibt man alle bekannten Fakten, also Pfeiffer Blazers TMU260 
mit TCP121/380 Motorcontroller. Datenblatt (schlechte Qualität):
idealvac.com/files/manualsII/Pfeiffer-Balzers_TCP_120_121_Users_Manuals. 
pdf

Noch ein gutgemeinter Rat: so eine Pumpe ist kein Spielzeug.
Wenn bei 80000 rpm irgendetwas blockiert, fliegt dir den ganze 
Pumpenkopf um die Ohren. Ich habe ähnliches schon erlebt (in gehöriger 
Entfernung), das war alles andere als lustig.

> Ich werde morgen mal versuchen, den Motor vom Rotor abzuziehen.
LASS DAS BLEIBEN! Verkaufe das Ding an jemanden, der sich auskennt.

von Andreas M. (amesser)


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Turbopumpe auseinanderbauen, ja klar. Dann kannst Du die auch gleich 
wegwerfen... Das so eine Pumpe ohne ordentliches Vorvakuum gar nicht 
funktioniert weist du sicher, das so eine Pumpe nicht innerhalb von 
wenigen Sekunden Ihre volle Drehzahl erreichen kann ist Dir auch klar 
und das mit Rampe die Drehzahlrampe und nicht eine Strom/Spannungsrampe 
gemeint war hast Du auch verstanden.

Während der Uni habe ich mal erlebt wie ein Student eine bereits im 
herunterfahren befindliche Turbopumpe ausversehen etwas vorzeitig mit zu 
viel Stickstoff geflutet hat... Nicht sehr spaßig

von Gerald B. (gerald_b)


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Ich kenne aus meinen Zeiten in der Halbleiterei Turbopumpen so in Größe 
eines Wassereimers. Die sind nicht umsonst mit zig fingerdicken Bolzen 
am Chassis verschraubt. Wenn so eine Pumpe crasht und es den Rotor 
pulverisiert, wirken so ungeheure Kräfte auf die Bolzen, das du alle 
Bolzen austauschen mußt - und das ist keine Baumarktqualität.
Ich war mal live dabei, wie so eine pumpe gestorben ist - und ich war 3 
Gänge weiter, ca. 20 Meter weg. Es hörte sich an, als ob ein 
Hubschrauber landet und der Boden bebte. Das VAT Valve zur Prozesskammer 
schloss noch, aber es ging nie wieder auf, weil der massive, mehrere mm 
dicke Ventilteller, der mühelos Vacuum zu Atmosphäre halten kann mehrere 
mm als Beule durchgebogen war, weil da Teile des Rotors gegengeflogen 
waren, das Ventil konnten wir gleich mit verschrotten, da es sich nicht 
mehr demontieren ließ. Sachgemäß betriebene Turbopumpen sind so 
dickwandig, das sie nicht bersten - sofern sie wie oben beschrieben, 
vernünftig aufgehängt sind. Unsere liefen aber mit 35 - 40 tausend 
Umdrehungen die Minute. Lass es mit der Demontage, die werden sehr 
aufwendig gewuchtet. Wenn du eine Turbo unter Atmosphäre betreibst, oder 
zu früh belüftest, dann wirken sehr große Kräfte auf die Lager, für die 
sie nicht ausgelegt sind, denn der Rotor schraubt sich dann in der Luft 
hoch. Die jammern dann regelrecht vor Schmerzen gg Normalerweise soll 
sie ja nur ein paar vagabundierende Gasmoleküle vorwärts schubsen ;-)

von Lurchi (Gast)


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Ein 4 Phasen Motor ist eigentlich ungewöhnlich. Sind das 4 echt 
geometrisch um 45 Grad verschobene Phasen, oder einfach nur 2 Phasen mit 
Mittelabgriff, so wie man es von Schrittmotoren zur unipolaren Steuerung 
kennt ?
Im Zweifelsfall solle man das elektrisch testen können. Wegen der doch 
schon eher höheren Leistung halte ich die unipolare Ansteuerung für eher 
unwahrscheinlich, weil damit der Wirkungsgrad kleiner ist.

Auch wenn der Hall Sensor defekt ist, sollte es noch möglich sein den 
Motor zu steuern. Das Hochlaufen braucht ggf. halt etwas länger, und die 
Überwachung ist etwas schwieriger. Viel Last bei niedriger Drehzahl (da 
geht es ohne den Sensor nicht gut) sollte so eine Pumpe ja nicht haben.

Angesteuert wie ein Schrittmotor muss man schon langsam hoch laufen 
lassen, und ggf. auch den Strom passend wählen: je nach Strom gibt es 
irgendwo eine Resonanz, bei der Motor dann erst einmal unruhig läuft. 
Wenn der Motor dann erst einmal schneller ist sollte es wieder besser 
werden. Über den Strom kann man im Prinzip die Resonanz verschieben und 
so ggf. auch umgehen: erst mit eher hohem Strom hoch laufen, bis man 
sich der Resonanz nähert, dann den Strom etwas Reduzieren (so dass 
Resonanz dann bei einer niedrigeren Frequenz ist) und dann weiter hoch 
fahren.

von Rudolph Ring (Gast)


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Pumpenspezialist schrieb:
> Ah ja.
> Bei ebay habe ich gerade 14 Stück gefunden.
> Ja, die kosten ein paar Euro, und Du glaubst, das schnell mal mit ein
> paar Transistoren und einem Arduino lösen zu können. Träum weiter

Um das mal klarzustellen, ich werde keinen Controller um viel Geld 
kaufen, wenn ich die Pumpe quasi gratis bekommen habe.

Also fällt die Option mal weg.

Gut, ich habe mit den Leuten von Pfeiffer einige Zeit geredet, wie man 
das Teil noch vielleicht zum laufen bekommen kann.
Das Auseinandernehmen ist keine Hexerei, man muss sich nur ein 
Abziehwerkzeug für den Motor bauen.
Mit dem Wuchten sollte ich soweit keine Probleme bekommen, am Rotor wird 
ja nichts verändert.


Es geht hier nur alleine um den Motor, ob es für soetwas einen Art 
Standard gibt, wie man die betreibt.
Wenn ich das nicht hinbekomme, werde ich den Motor durch einen anderen 
ersetzen, der Rest bleibt gleich.

Was die Sicherheitsaspekte angeht, die Pumpe wird NICHT bei Normaldruck 
betrieben, das hatte ich nie vor.

Ich finds echt schön wie das hier so schnell eskalieren kann ^^
Konzentrieren wir uns bitte auf die Fragestellung.

Lg

von Pandur S. (jetztnicht)


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.. Perlen vor die Säue ..
eine Frage der Sichtweise. Einen Rolls Royce ohne Oel geschenkt 
bekommen. Und nun muss Salatoel rein weil das andere zu teuer ist. Egal 
ob er in der naechsten Kurve kaputt ist.

Mein Tip .. in den Keller mit dem Ding, bis es einen Wert darstellt. Neu 
kostet's 10k Euro, ein Service kostet um die 2.5k Euro, und es lohnt 
sich. Wenn man's brauchen kann.

von Schreiber (Gast)


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Sapperlot W. schrieb:
> Mein Tip .. in den Keller mit dem Ding, bis es einen Wert darstellt. Neu
> kostet's 10k Euro, ein Service kostet um die 2.5k Euro, und es lohnt
> sich. Wenn man's brauchen kann.

...dummerweise sind ältre Turbopumpen ohne oder mit irreperabel-kaputtem 
Umrichter in wirtschaftlicher Totalschaden.
Bis man einen neuen Umrichter + generalüberholung der Pumpe bezahlt hat, 
kann man sich auch fast eine neue kaufen. Gebrauchte Umrichter sind fast 
nicht zu bekommen, da diese meist vor der Pumpe kaputt gehen.
Traurig, aber ist leider so.


Hierzu hab ich was im Internet gefunden:
http://www.rapp-instruments.de/Elektronik/cricuits/turbo/turbo.htm

von Rudolph Ring (Gast)


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Genau das meine ich damit.

Sowas hab ich gesucht. Nur ist das leider kein normaler Drehstrommotor. 
Da wäre die Sache ja um einiges einfacher.

Sollte ich keinen Erfolg haben, kommt der Motor raus und ich baue ein 
neues Gehäuse mit neuem Motor.

von Schreiber (Gast)


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Rudolph Ring schrieb:
> Sollte ich keinen Erfolg haben, kommt der Motor raus und ich baue ein
> neues Gehäuse mit neuem Motor.

Bei der Drehzahl?! Sportlich!!!

Rudolph Ring schrieb:
> Sowas hab ich gesucht. Nur ist das leider kein normaler Drehstrommotor.
> Da wäre die Sache ja um einiges einfacher.

ist doch kein Problem:
1. Anschauen wie die Wicklungen verschaltet sind
2. nachdenken in welcher reihenfolge man die wie ansteuern muss
3. 4 Halbbrücken und einen µC dazu
4. Die Erkentnisse aus Schritt 1+2 in Software umsetzen.

von Armin D. (waybeach95)


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Ring Rudolph schrieb:
> Aber zum testen reich
> normaler Druck aus.

Blödsinn.
Woher willst Du das wissen wenn Du keinen FU hast wo Du gesehen hättest 
dass es funktioniert.
Nenn mir bitte eine Turbopumpe die gegen Patm anläuft.
Eine Turbopumpe hat ein Kompressionsverhältnis von mind. 1:1000000
Wie soll die gegen Patm anlaufen ?

Entweder du bekommst einen Original FU oder verkauf sie.
Es hat schon seinen Grund warum da vier Motorwicklungen sind.

MfG

von Pandur S. (jetztnicht)


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Eine Turbo laeuft in Normaldruck mit vielleicht 1Hz, das war's dann.

von ardu99@aol.com (Gast)


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Sapperlot W. schrieb:
> Eine Turbo laeuft in Normaldruck mit vielleicht 1Hz, das war's dann.

Genau !

Der TE schreibt ja auch :
>Was die Sicherheitsaspekte angeht, die Pumpe wird NICHT bei Normaldruck
betrieben, das hatte ich nie vor.

Was will er damit bezwecken ?

Eine TP ist nur für den einen Zweck konstruiert worden : Erzeugung von 
Hochvakuum.
Wird sie außerhalb der Spezifikationen betrieben macht sie  .... nichts.
Oder man hat einen sehr klobigen Rohrventillator der aber auch nichts 
macht.

Da der TE sich in geheimnisvoilles Schweigen hüllt darüber für was er 
sie verwenden will steige ich hier aus.
Mal sehen was draus wird.

MfG

von Rudolph Ring (Gast)


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ardu99@aol.com schrieb:
> Da der TE sich in geheimnisvoilles Schweigen hüllt darüber für was er
> sie verwenden will steige ich hier aus.

Na also viele Möglichkeiten gibt es ja nicht oder ;)
Ich will die doch als Vakuumpumpe nutzen, was anderes habe ich garnicht 
vor ^^

Ich werde am Wochenende wieder weiter daran arbeiten, bis dahin bin ich 
natürlich über nützliche Ratschläge immer dankbar.

Lg

von Rudolph Ring (Gast)


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Armin D. schrieb:
> Blödsinn.
> Woher willst Du das wissen wenn Du keinen FU hast wo Du gesehen hättest
> dass es funktioniert.
> Nenn mir bitte eine Turbopumpe die gegen Patm anläuft.

Gibt genügend Videos von Pumpen die gegen Normaldruck problemlos 
anlaufen. Darum geht es hier aber jetzt nicht.

Armin D. schrieb:
> Es hat schon seinen Grund warum da vier Motorwicklungen sind.

Das würde mich eher interessieren.

von ...soso. (Gast)


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Bitte Link. Zu nur einem einzigen, beweiskräftigen Video, das also einen 
kompletten Anlauf (und damit die "Prophezeiung" Deiner vorhandenen 
Testmöglichkeit) bis auf Bereiche nahe der Normdrehzahl zeigt.

Bitte aber auch verifizieren, welcher Art und Leistung beide Pumpen 
genau sind - Deine, und die im Video. Ansonsten glaube ich nicht daran, 
und kann nur abraten.

von ...soso. (Gast)


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...bei Normaldruck, natürlich. Auch verifiziert. Bitte alle Behauptungen 
belegen.

Ich finde den Vergleich mit der Hubschrauberlandung recht treffend.

von Schreiber (Gast)


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Rudolph Ring schrieb:
> Armin D. schrieb:
>> Blödsinn.
>> Woher willst Du das wissen wenn Du keinen FU hast wo Du gesehen hättest
>> dass es funktioniert.
>> Nenn mir bitte eine Turbopumpe die gegen Patm anläuft.
>
> Gibt genügend Videos von Pumpen die gegen Normaldruck problemlos
> anlaufen. Darum geht es hier aber jetzt nicht.

Ist bei Pumpen mit Magnetlager aber uncool und eine Garantie für enormen 
Verschleiß!

Zum Testen: Dicke Polycarbonatplatte auf den großen Flansch und an den 
kleinen für das Vorvakuum eine Drehschieberpumpe

von Rudolph Ring (Gast)


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...soso. schrieb:
> Bitte Link. Zu nur einem einzigen, beweiskräftigen Video, das also einen
> kompletten Anlauf (und damit die "Prophezeiung" Deiner vorhandenen
> Testmöglichkeit) bis auf Bereiche nahe der Normdrehzahl zeigt

Ich habe doch nie vom Betrieb der Pumpe auf Nenndrehzahl bei Normaldruck 
gesprochen!!!
Da scheint es ein großes Missverständnis zu geben.
Da geht es rein ums Testen der Schaltung. Da will ich nicht auf die 
Nenndrehzahl. Erst wenn die Pumpe richtig anläuft, probiere ichs unter 
Vakuum mit mehr Drehzahl.

von Armin D. (waybeach95)


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Rudolph Ring schrieb:
> Ich will die doch als Vakuumpumpe nutzen, was anderes habe ich garnicht
> vor ^

In welchem Druckbereich bzw. gewünschter Enddruck ?

Rudolph Ring schrieb:
> Gibt genügend Videos von Pumpen die gegen Normaldruck problemlos
> anlaufen.

Pumpen vielleicht, es wird hier von TP´s gesprochen.
Link von einem Video bitte !

Rudolph Ring schrieb:
> Das würde mich eher interessieren.

Ich denke du hast mit Pfeiffer telefoniert, haben die nichts gesagt ?

Poste doch bitte mal einen Plan von deiner Vakuuminstallation, evtl. 
kann ich helfen.

MfG

von Armin D. (waybeach95)


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Rudolph Ring schrieb:
> ch habe doch nie vom Betrieb der Pumpe auf Nenndrehzahl bei Normaldruck
> gesprochen!!!

Dann drück dich bitte klarer aus !
Was nützt es dir wenn du eine TP hast die mit deinem Gebastel unter Patm 
dreht, aber unter irgendeinem Vorvakuum dann nicht mehr ?

In der Entwicklung der 1.ten Generation von TP´s stecken Mannjahre an 
Entwicklung von Vakuum-, und Elektroingenieuren. Hat schon seinen Grund 
warum jede Typenreihe TP´s seinen eigenen FU hat.
Dabei spielt es keine Rolle ob sie von P...., oder B...., oder L.... 
entwickelt wurden.
Ich bin zwar über 30Jahre in dem Metier tätig aber solche einen 
Starrsinn wider des besseren Wissens hab ich selten erlebt.
Aber mach mal.

MfG

von Rudolph Ring (Gast)


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Armin D. schrieb:
> Ich denke du hast mit Pfeiffer telefoniert, haben die nichts gesagt ?

Nein die haben leider nichts dazu gesagt.
Nur, dass das eine sehr alte Pumpe ist, dafür gibt's mittlerweile kaum 
mehr Ersatzteile, geschweige denn Controller.

https://youtu.be/R0bluYMjOlI

Hier, das ist sogar die gleiche Pumpe. Läuft problemlos hoch.

Lg

von Armin D. (waybeach95)


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Rudolph Ring schrieb:
> Hier, das ist sogar die gleiche Pumpe. Läuft problemlos hoch.

Was ich weiß ist sobald Patm an der Saugseite anliegt macht eine TP 
nicht mehr als max 50Hz, je nach FU. eh Basta !
Wie schon gesagt in meinem 1ten Beitrag, TP´s sind für HV konstruiert 
und benötigen ein VV.
Die eigentliche Funktion ist Gasdurchsatz unter Aufrechterhaltung eines 
bestimmten Prozessdruckes, der von 1-6Embar bis 1-E3mbar liegen kann. 
Und jetzt kommt halt der FU, der, abhängig von der Art des Prozesses, 
den Prozessdruck aufrechterhält und halt die TP regelt.
Du brauchst die Kennlinie der TP, ähnlich wie beim Auto, ich glaub man 
nennt es Kennfeld.
Aber die ist ja im Datenblatt mit drin, demzufolge mußt du dein Gebastel 
an diese Kennlinie anpassen, und dazu brauchst du VV.
Ohne dem glaub ich läufts nicht.

Das Video ist schön. In Asslar verfolgt man eine andere Philosophie wie 
ich sie gelernt habe.

MfG

von Schreiber (Gast)


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Armin D. schrieb:
> Die eigentliche Funktion ist Gasdurchsatz unter Aufrechterhaltung eines
> bestimmten Prozessdruckes, der von 1-6Embar bis 1-E3mbar liegen kann.
> Und jetzt kommt halt der FU, der, abhängig von der Art des Prozesses,
> den Prozessdruck aufrechterhält und halt die TP regelt.

Das ist die Deluxe-Version. Die Einfachversion kennt nur die Stufen 
"aus" und "an"
Geregelt wird dann entweder gar nicht oder mit einer handbetätigten 
Klappe in der Saugleitung.

von Gerald B. (gerald_b)


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Wenn er es tatsächich hinbekommt einen FU zu bauen und die Pumpe nicht 
schrottet, mit einer Drehzahlsteuerung bekommt man einen halbwegs 
konstanten Druck ebenfalls hin. Vielleicht nicht ganz so schnell und 
präzise, aber es sollte mit einem PID Regler machbar sein.

von Lurchi (Gast)


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Von einigen Pumpen kenne ich wenigstens 2 Stufen bei der Drehzahl: eine 
für volle Leistung und eine für eine Art Standby Modus mit vielleicht 
70% der Drehzahl.

Für den ersten Test des FU kann die Pumpe auch an Atmosphären-druck 
laufen. Man wird aber natürlich nicht auf volle Geschwindigkeit kommen. 
Etwas mehr als 3000 U/min (50Hz) können es aber schon werden.

von Armin D. (waybeach95)


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Schreiber schrieb:
> Geregelt wird dann entweder gar nicht oder mit einer handbetätigten
> Klappe in der Saugleitung.

Also ich mach das jetzt seit Anfang der 90er Jahren, hab da noch nie 
eine Klappenregelung gesehen.
Es wird über den Totaldruck geregelt, ganz sicher !
Entscheidend ist der gewünschte Totaldruck in dem der Prozess abläuft 
und der Gasverbrauch der in diesem Totaldruck vorkommt. Kann auch von 
mehreren Gasen sein. Das alles muß die TP abführen an die Vorpumpe unter 
Aufrechterhaltung des Totaldruckes. Kann sie das nicht, stürtzt der 
Prozess ab, oder die TP säuft ab, weil zuviel Gas. So ist das !
Die gesamte Vakuumkonfiguration ist auf diese Kennzahl herum ausgelegt 
und konstruiert. Schwächelt eine Komponente, gibts Probleme.


Lurchi schrieb:
> Für den ersten Test des FU kann die Pumpe auch an Atmosphären-druck
> laufen. Man wird aber natürlich nicht auf volle Geschwindigkeit kommen.
> Etwas mehr als 3000 U/min (50Hz) können es aber schon werden.

Selbst 300 U/min sind zuviel.
Der Rotor läuft mit weniger als 1/10 im Statorgehäuse, und jetzt stell 
dir mal vor, wie im Video gezeigt, TP aufrechtstehend dreht mit 3000 
U/min und es fällt etwas, selbst winzig kleines,  von oben in die TP. 
Die TP kannste wegschmeissen.
Deswegen, TP ist über Drucksensor der indirekt (über das 
Prozeßsteuermodul) am FU mit dranhängt verriegelt.
So kenn ich das.

Ob PID Regelung hier hilft, keine Ahnung, aber möglich ist alles.
Kann halt nur der TE beurteilen weil nur er weiß was er letztendlich mit 
der TP machen will.

MfG

von Rudolph Ring (Gast)


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So, habe übers Wochenende etwas mehr recherchiert, ich hab jetzt ca. 
eine Idee wie ich das machen werde.

Ich werde ähnlich wie bei der Schaltung von Rapp einen Ringzähler 
nutzen, mit 4 Halbbrücken. Ansteuern werde ich die Mosfets über 4469 
Treiber.

Ab Mittwoch kann ich dann mehr sagen.

Lg

von Schreiber (Gast)


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Armin D. schrieb:
> Also ich mach das jetzt seit Anfang der 90er Jahren, hab da noch nie
> eine Klappenregelung gesehen.

Ich schon, wobei da die alten Quecksilberdiffusionspumpen aus Gründen 
des Arbeitsschutzes durch Turbopumpen ersetzt wurden.
Ist zwar nicht optimal, funktioniert aber. Alte Pumpe raus, neue rein, 
fertig.

von Rudolph Ring (Gast)


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So, ein kleines Update:

Habe die Hall Sensoren ausgetauscht. Ein Bauteil hat gefehlt, war 
wahrscheinlich ein Widerstand, und ein anderer war bereits getoastet. 
Hab das ganze Board einfach rausgenommen und ein eigenes wieder 
eingebaut. Funktioniert einwandfrei.

Weiters ist das hintere Lager schon sehr korrodiert, habe also ein neues 
Keramiklager bestellt, sollte nächste Woche kommen.

Bis jetzt sieht es so aus, als könnte die Pumpe bald wieder laufen :)

Lg

von Der Nuller (Gast)


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Keramiklager .. korrodiert .. aha. Was fuer ein Siff wurde denn da 
durchgesogen ?

von Rudolph Ring (Gast)


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Ok ja, genaugenommen war es ein Hybridlager. Der innere und äußere Ring 
waren das Problem. War ordentlich viel Dreck drin.

von Gerald B. (gerald_b)


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Der Nuller schrieb:
> Keramiklager .. korrodiert .. aha. Was fuer ein Siff wurde denn da
> durchgesogen ?

Mit dem "passenden" Prozess bekommst du jedes Material kaputt. Beim 
Plasmaätzen in der Halbleiterei wird gerne mit halogenierten 
Kohlenwasserstoffen gearbeitet. Die Idee dahinter ist, das zum einen 
freie Radikale sich bilden, die Siliziumstrukturen bzw. 
Metallisierungslayer  ätzen (Fluror- Chlor und Bromionen) und zum 
anderen sollen die organischen Reste poymerisieren und den Feinstaub, 
der sich beim Ätzen bildet, an der Kammerwand festpappen. Zum einen also 
teerartiger Kleister, zm anderen hochaggressive Radikale. Das willst du 
nicht in der Verrohrung und den Pumpen haben.
Ich kann mich erinnern, wir hatten Turbo's eines Herstellers, die bei 
einem bestimmten Prozess nach mehreren Jahren sich dann spektakulär mit 
viel Getöse verabschiedeten (wie oben geschildert). Da versprödete die 
Oberfläche der Schaufeln, bis sie irgendwann brachen.

von Rudolph Ring (Gast)


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So, hat ein Weilchen gedauert, da ich nur an den Wochenenden zuhause bin 
und an dem Controller arbeiten kann.

Ich konnte mittlerweile die Pumpe super ansteuern, sie fährt jetzt in ca 
15 Sekunden auf 39Hz hoch, also umgerechnet 2340 U/min. Alles unter 
Normdruck.
Die Mosfets bleiben schön kalt, alles ohne Ringing oder anderes.

Man beachte dabei, dass ich momentan nur zwei von 4 Motorspulen 
angesteuert habe, mit 4 wird sich die Drehzahl nochmal erhöhen.
Weitere Tests werden dann aber unter Vakuum stattfinden.

Lg

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