MEMS ohne integrierte Signalverarbeitung

[mems (Gast)]

Hallo,

Aus interesse möchte ich mich gern mit micro-elektro-mechanischen system 
(MEMS) befassen (damit meine ich Beschleunigungssensoren oder Gyros). 
Leider werden nur MEMS mit integrierter Signalverarbeitung angeboten. 
Gibt es denn Hersteller welche varianten für "normal sterbliche" ohne 
alles anbieten?

mfg

[Max G. (l0wside)]

Das wird schwierig. In den MEMS (jedenfalls den Inertialsensoren) wird 
mit Femtofarad und Attoamperes gearbeitet, mit konventioneller 
Messtechnik siehst du da gar nichts. Das ist Elektronenzählen vom 
Feinsten.

Du könntest natürlich versuchen, die Kammstruktur eines solchen Teils 
mal in groß nachzubauen und daran zu messen. Wäre bestimmt cool.

[mems (Gast)]

Naja die Kapazitätsunterschiede liegen so bei einigen hundert atto bis 
ein paar Pico Farrad. Mit einem Transimpedanzverstärker geht das schon 
:)

Hier gibt es so einen kandidaten
http://www.esenssys.com/ess/index.php/en/products-k2/accelerometers-k2/itemlist/category/38-esxlm1-10

Doch leider muss man das ding noch bonden. Tia .. das wird dann nix :D

[Christian (Gast)]

mems schrieb:
> Naja die Kapazitätsunterschiede liegen so bei einigen hundert atto
> bis
> ein paar Pico Farrad. Mit einem Transimpedanzverstärker geht das schon
> :)
>
> Hier gibt es so einen kandidaten
> http://www.esenssys.com/ess/index.php/en/products-...
>
> Doch leider muss man das ding noch bonden. Tia .. das wird dann nix :D

Es kommt natürlich auf die Grenzfrequenz des Systems an. Je höher, desto 
steifer desto weniger Kapazitätsänderung. Die Signal-Auswertung ist 
jedoch nicht gerade ohne. Wie schon erwähnt winzigste Ströme. 
Leiterzug-Längen und -Schleifenflächen müssen minimiert werden, um keine 
Störungen einzufangen.

Auch kommt es ein wenig auf die Aufbau- und Verbindungstechnik an. Der 
Chip wird sicher direkt auf die Platine aufgeklebt und drahtgebondet. 
Doch wie schützt man die Bonddrähte, verhindert gleichzeitig zu große 
Leiterlängen und kann immernoch gescheit daran messen.. ? :-)

Nicht unlösbar, aber Spaß geht anders.. Glaub mir, ich hab das oft genug 
gemacht.. ;-) Wenn nur das Drahtbonden das Problem ist, dann könnte ich 
evtl. weiter helfen..

Interessant ist auch, ob man überhaupt Kleinmengen der MEMS bekommen 
kann.

Grüße
Christian

[mems (Gast)]

>Nicht unlösbar, aber Spaß geht anders.. Glaub mir, ich hab das oft genug
>gemacht.. ;-) Wenn nur das Drahtbonden das Problem ist, dann könnte ich
>evtl. weiter helfen..
>
>Interessant ist auch, ob man überhaupt Kleinmengen der MEMS bekommen
>kann.

Oh na das ist doch schonmal was :)
Also mal angenommen ich könnte an solche Chips kommen und würde na 
Platine machen, dann könntest du mit die Chips darauf bonden? Was kostet 
sowas?