Schaltimpulse im 100ns Bereich

Servus,

ich möchte ein Testgerät bauen, das mir Schaltimpulse bereitstellt. Eine 
Option musste ein Sinus PWM sein. Das andere ein Folge von 
Schaltimpulsen. Dabei möchte ich einstellen.

- Dauer der Schaltimpulse 0.1us bis 100us
- High / Low Time extra eingestellt
- Anzahl der Schaltimpulse

Meine Frage ist: Welcher MC eignet sich dafür. Ich möchte wenig Aufwand 
für die Programmierung. Mit ATMega habe ich schon was gemacht. Das waren 
aber nur Spielereien. Das hier sollte recht genau werden. Schafft man 
das mit den internen Timer oder sollte ich ein anderen Baustein 
verwenden.