Forum: Digitale Signalverarbeitung / DSP / Machine Learning Rasterelektronenmikroskop Zeiss DSM 960

Also, ich verzweifel noch am seriellen Port. Ich kann hin und wieder 
Kommandos senden und bekomme eine korrekte Antwort, aber meistens kommt 
entweder gar keine Antwort, oder eine Fehlermeldung ("E0101<ETB>", was 
wohl soviel bedeutet wie "ich muss erst F00 senden" - aber das tue ich 
ja!). Wenn es aber mal funktioniert, dann antwortet das DSM mit 
"F33F20<ETB>" - wohlbemerkt, ich sende immer das gleiche. Auf dem Scope 
sieht's - auch nach der Pegelwandlung - okay aus. Wenn ich dann z.B. 
"Q00<ETB>" sende, bekomme ich auch hin- und wieder eine Antwort, aber 
meist nur "E90" ("falsches Kommando"). Irgendwas ist da kaputt. Wenn ich 
das in einer Schleife laufen lasse, funktioniert es irgendwann garnicht 
mehr - wenn ich dann mit CTRL+BREAK resette, geht es wieder (wie oben - 
meist E1010, aber manchmal korrekt). Das deutet für mich auf ein 
digitales Problem, sonst würde der Reset ja nichts verändern.

Ich habe die Wandlung von RX und CTS überprüft (vor- und hinter der 
Pegelwandlung/Optokoppler gemessen), das funktioniert. Ich habe die 
Baudrate am Z80DART gemessen, das passt auch. Ich habe langsamere 
Baudraten probiert, das ändert nichts. Ich habe den zweiten Port 
probiert, das ändert auch nichts. Baudrate an meinem Seriell-Wandler ist 
auch recht genau.

Mittels CTRL-S "RS232TEST" kommt man in ein Test-Menü, wenn ich dort "6" 
eingebe, wird der Loopback für den ersten externen Port aktiv; aber das 
funktioniert auch, alles was ich ausgebe ("OUTP") wird auch wieder 
eingelesen ("INP"). +5V sind soweit okay.

Nun bin ich ein bisschen ratlos. Hat irgendjemand eine Idee, was ich 
noch nachmessen könnte?

Hallo Felix;

versuch mal das "E0101(ETB)" mit runden Klammern.
vielleicht liegt es daran.

Viele Grüße

Sunny

ETB wird nicht als Text übertragen, sondern ist hex 17 (siehe 
https://en.wikipedia.org/wiki/End-of-Transmission-Block_character). Also 
"F00<ETB>" in hex wäre dann 46 30 30 17. Ohne das 17 kommt auch gar 
keine Antwort.

Ok.

Mit was für einem RS232-Gerät überträgst du die Daten?

Kann dein Ozi auch Protokolle dekodieren?

Vg

Ich habe einen FTDI-basierten RS232-Wandler. Die Pegel sind nicht +/-12V 
(sondern nur ~+/- 6V, wie bei fast allen USB-Wandlern), so dass ich erst 
dachte, dass es daran lag. Ich habe mir daher die Signale vor- und 
hinter dem Line Receiver (75189 "Quad Line Receiver", auf der -9014) 
angeschaut, aber das passt. Dem Receiver reichen laut Datenblatt schon 
~+/-2V (je nachdem, welcher Typ da nun wirklich verbaut ist). Ich habe 
mir das Signal an J1/J2 abgegriffen (dem Jumper fuer den kurzen 
Loopback-Test).

Protokoll-Decoder - ja schon, aber die Signalform ist ja in Ordnung. Ich 
dachte erst, dass vielleicht die Baudrate daneben liegt oder so, aber 
auch die passt (Pin27 am Z80DART).

Hallo
Grüße an das Forum.

Nach langer Zeit mal ein kleines Update.

Nachdem ich ein DSM 962 erworben habe

diente mein 960 nur noch als Ersatzeilspender.

Durch einen Glücklichen Zufall, erwarb ich ein
Hitachi S4200 mit kalter Feldemission.

Dieses Rem hatte noch eine ÖL-Diffusions Pumpe
für das Hauptvakuum. Um Kontamination in der
Hauptkammer zu vermeiden hätte ich immer Flüssigen
Stickstoff als Kontaminationsverhinderung
haben müssen. Das ging natürlich nicht.
Darum habe ich die alte DP rausgebaut und eine
Edward ext250 TP eingebaut.

Dadurch ergaben sich für mich folgende Vorteile
- das Rem läuft jetzt ohne Wasserkühlung
- ich brauche keinen Stickstoff mehr


Die Pneumatik, die die ganzen Kammer.- u. Schleusen Ventile
versorgt hatte auch noch ein Leck.

Das Problem konnte ich lösen, durch ersetzten der alten Pneumatik 
Schläuche und der
Org. Ventilinsel gegen neue Festo Schläuche und einer Festo Ventilinsel.

Nachdem alles umgebaut war konnte ich nach Ausheizen der Säule
das Rem zu ersten mal in Betrieb nehmen.

Die Auflösung ist der Hammer. 100000x ist nun kein Problem mehr.

Als nächstes baute ich das Rem auf Ext. Bildeinzug um.
Ein Point Diss 5 war die erste Wahl. ( Günstig bei Ebay )

Erstmal die alten Monitore raus und auf Flachbildschirm umgebaut.
Dann das Diss5 rein.

Da ich auch ein Leo Wolfram Rem habe benötige ich das DSM 962 nicht 
mehr.

Mein altes DSM 962 ist übrig und steht jetzt zum Verkauf.

Bilder vom Umbau und von Proben sende ich nach.

Viele Grüße

Sunny

Hier mal das Zeiss Dsm 962
und ein paar Hitachi Pu.Umbau und Proben Bilder.

Hallo Stefan,

kann sein.

Ich muss ja vor jeder neuen Benutzung
einmal Flashen und erst nach ca. 30min - 2h
ist der Strahl erst richtig einsatzbereit.

Ich war anfangs ein wenig ungeduldig
und habe einfach, wenn der Strahlstrom
gesunken ist nochmal auf die HV on Taste
gedrückt. Dadurch wurde die Ve erhöht
und ich hatte wieder ein besseres Signal.

Wenn ich aber die Zeit abwarte bis sich alles
nach dem Flashen stabilisiert hat.
Bleibt die Ve bei 4,5kv - 5,5kv.

Wenn ich Flashe erscheint kurz eine Strahstrom
Anzeige, die liegt jetzt bei 56 müA.

Ist das ein Hinweis auf den Abnutzungsgrad der Kathode?

Wo könnte ich eine neue herbekommen?

Viele grüße

Hallo Sunny,
Nachdem dieser Thread nach längerer Zeit wieder hochgekommen ist,
würde mich mal interessieren, ob Dein REM nach wie vor regelmäßig
von Dir benutzt wird, und was Du da so mit anstellst. Ich hatte
früher beruflich auch viel mit einem (Philips-)REM zu tun, aller-
dings eher wartungsmäßig und weniger messend. Eigentlich ist mir
damals nichts eingefallen, was ich mir unbedingt privat im REM
ansehen wollte. Gemessen habe ich mehr mit einem AFM (Rasterkraft-
Mikroskop), aber auch da kenne ich nichts, was irgendwie privat
ansehenswert gewesen wäre. Interessant fand ich da u.a. die "Rie-
senfelsblöcke" mit ca. 80 Nanometer Durchmesser, die ein Raucher
auch noch eine halbe Stunde nach der letzten Zigarette ausatmet.

Es ist an der Zeit das ganze mal in ein FPGA zu stopfen und als OpenREM 
zu veröffentlichen (-:

Gustl B. schrieb:

> Es ist an der Zeit das ganze mal in ein FPGA zu stopfen und als OpenREM
> zu veröffentlichen (-:

Ein open EM ist nichts besonderes. Das hat man immer,
wenn man die Proben wechselt. :-)

Hi,

I am a researcher with some 15 years of experience in electron 
microscopy, though more on the user side, not hardware. I know this is 
an old thread but I am planning to revive a Zeiss DMS 960 A SEM. 
Unfortunately the whole control panel was thrown away years ago, so I 
have to rebuild the whole control system for vacuum, lenses and image 
acquisition. I have already build a controller for a turbovac 50 
turbomolecular pump, which I intend to use so I don't need water cooling 
(except for the lenses). Also I have all the high voltage generators and 
just finished an ADC circuit to measure the high voltages, and a 32bit 
DAC to control the high voltages. I was planning to use a National 
Instruments DAQ USB data acquisition device for the scan generation and 
SE detector signal reading. I found this site that would probably just 
do that:
https://github.com/PollockGroup/ExternalScanControl

But I don't have a clue about what voltages are usually used for the 
lenses in normal operation. What is the relation of the two condenser 
lenses? How high voltages are used to drive the scanning and astigmatism 
correction? Does the SE signal need some amplification?

i would appreciate some helpful directions!

Thanks!

Toni