Moinmoin zusammen, ich arbeite grade versuchsweise an einem Prototypen für eine kleine Plasma-Ätzanlage zur Entfernung von Polymerbeschichtungen. Details hierzu sind nicht so wichtig. Ich habe dafür eine Art Flyback mit offener Sekundärseite aufgebaut. Das ganze wird momentan noch mit einem CD4093 über eine Push-Pull Stufe und einen IRF520 angesteuert. Es gibt keine Snubber etc. Schaltplan anbei, Oszibild anbei. Rot: Gate Gelb: Drain Grün: Sekundärseite Leerlauf (1:100) Folgende Fragen: wieso habe ich einen quasi Parabolischen Verlauf der Ausgangsspannung bzw. der Drainspannung (Ist ja quasi "Rücktransformierte der Ausgangsspannung oder? daraus sollte ich auch das Windungsverhältnis des Trafos lesen können?) Sollte die Spannung nicht Sprunghaft Ansteigen nachdem der Stromfluss Primärseitig unterbrochen wird? Des weiteren bin ich noch dankbar für Inputs woher/welchen Flyback ich nehme um die Hochspannung zu erzeugen, mit diesem hier schaffe ich kaum mehr als ein KV. Ausserdem wie ich am besten Zünde. Einfach hohes Übersetzungsverhältnis und dann nach der Zündung Strom begrenzen oder mit Kaskade und Schalter? Gruß & Merci
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Grade den 2. IRF520 Geschrottet. Wenn ich den Duty-Cycle erhöhe ergibt sich im Abschaltmoment ein Spike mit >100V dessen höhe mit zunehmendem Duty-Cycle drastisch zunimmt. Ich vermute Avalanche-Durchbruch? Der Strom steigt rasant an. Mit dem Snubber komm ich dem ganzen nicht so richtig bei.
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Was mich noch wundert, die Höhe der Drain-Spannung scheint nicht wirklich abhängig von der Höhe der Sekundärspannung im Fall eines brennenden Lichtbogens (Brennspannung so ca. 350V, grün), die Spannung an Drain liegt bei ca. 30V, das Übersetzungsverhältnis des Trafos liegt bei ca. 25)
Ein Lichtbogen (1 A aufwärts) hat 20 - 60 V Brennspannung. 350 V deutet eher auf eine Glimmentladung (1 - 50 mA). Welches Vakuum hast Du? Gruß - Werner
Hallo Werner, da haben sich evtl 2 Sachen vermischt. Die Eigentlich Anwendung ist ein Lichtbogen zwischen 3 Elektroden mit ca. 5mm Abstand Das 2. Oszillogramm gehört zu dem Video. Dort habe ich eine Deuteriumlampe als Last verwendet, da der Lichtbogen in meiner jetzigen Konfiguration nicht selbstständig zünden kann. Ich brauche noch einen entsprechenden Traf mit ausreichendem Übersetzungsverhältnis für selbsttätiges zünden bei 3-5mm Elektrodenabstand. Das heute war nur mal ein Schnellschuss als erster Test mit vorhandenem Material. Beste Grüße & Merci
http://www.3sae.com/large-area-isothermic-plasma.php Wenn ich mir das so recht ansehe, verwenden sie ja dort 3 Phasen und Bipolare Ausgangsspannung. Dann komme ich ja mit dem Flyback nicht besonders weit. Hat jemand eine Idee wie die Ansteuerung dort aussehen könnte? Zumal das Plasma ja eine gewisse Zündspannung braucht? Oder kann man davon ausgehen, dass die Lebensdauer der Ionisierten Teilchen groß genug ist um auch den Nulldurchgang zu überstehen? Und wäre dann nicht eine Regelung des Stormes sinvoller? Ich frage mich gerade wie man überhaupt bei einem Plasma einen sinusförmigen Spannungsverlauf bewerkstelligen soll? Das Plasma hat doch eine relativ konstante Brennspannung?
Das ist aber kein Plasmaätzen. Für Normaldruckplasmen sind hohe HF-Leistungen oder Gleichstrom ab 1 kW erforderlich. Mit DC-Plasmen (auch 3 Elektroden) und Mikrowellenplasmen habe ich keine Erfahrung (machte die Konkurrenz), wohl aber mit HF-Argonplasma (ICP). Betrieben mit 1 - 1,5 kW HF (27 MHz), unter 800 W ging es aus. Gezündet mit Teslatrafo, Auto-Zündspule oder pneumatisch kurz eingeführtem Grafitstab. Gasverbrauch 18 l Ar / min, also ideal für Zuhause ;-). Plasmaätzen findet meines Wissens im Vakuum bei einigen Torr statt, ebenso wie das Veraschen von Analysengut im Sauerstoffplasma. Hier sind die erforderlichen Leistungen aber kleiner, weil das eher eine Glimmentladung ist. Habe schon einiges im Netz dazu gefunden, aber nur überflogen. Gruß - Werner
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