Guten Abend! Ich habe ein paar nette Bilder eines MEMS-Mikrofons auf meine Website hochgeladen: https://richis-lab.de/MEMS_01.htm Es handelt sich um ein Hosiden KRM5603. Viel Spaß! :)
Passend zum Thema heute ein 3-Achsen-Beschleunigungssensor: https://www.richis-lab.de/MEMS_02.htm Gar nicht so einfach auf zu bekommen diese Teile...
Die Bilder sind ja mal wirklich fein! MEMS-Strukturen machen aber auch
einfach Spaß zu betrachten. Kennst du den Fall der MEMS-Oszillatoren in
iPhones, die bei ein wenig Helium in der Luft ausfallen?
Anderes Thema: Was nutzt du denn zur Aufnahme? Die Bilder sehen nämlich
unheimlich professionell aus.
Richard K. schrieb
> Gar nicht so einfach auf zu bekommen diese Teile...
Könnte vor allem mit einem Teppichmesser problematisch werden ;)
Danke! Die Helium-Geschichte kenn ich nicht. Klingt interessant! Gibt's dazu einen Link? Ich bin immer wieder stolz darauf mit wie wenig finanziellen Einsatz diese Bilder erstellt wurden! :) Den Hintergrund findest du hier: https://richis-lab.de/Howto_Optik.htm Den gesamten Ablauf hier: https://richis-lab.de/Howto.htm Zum Thema Teppichmesser: Mir fiel nichts besseres ein. Wenn sich die Teile mit 400-500°C nicht trennen lassen, dann muss es mechanisch gehen und da gibt es (für mich) wenig Möglichkeiten... :)
Richard K. schrieb: > Die Helium-Geschichte kenn ich nicht. Klingt interessant! Gibt's dazu > einen Link? https://www.heise.de/mac-and-i/meldung/Zu-viel-Helium-legt-iOS-Geraete-lahm-4209217.html
Im Youtube-Kanal "applied science" wurde das mal ausführlich behandelt. Inklusive Elektronenmikroskop-Aufnahmen: https://www.youtube.com/watch?v=vvzWaVvB908 Bitte nicht gleich wieder "pfui, youtube", der Kanal ist nicht schlecht.
> Ich bin immer wieder stolz darauf mit wie wenig finanziellen Einsatz > diese Bilder erstellt wurden! :) Den Hintergrund findest du hier: > https://richis-lab.de/Howto_Optik.htm > Den gesamten Ablauf hier: > https://richis-lab.de/Howto.htm Ach wirklich fein, da werde ich mal durchstöbern. Meine erste Reaktion bei den Bildern war tatsächlich "Wo hat der Kerl ein Elektronenraster-Mikroskop her!?" Auf jeden Fall weiter so, die Bilder sind qualitativ ziemliche Spitze. Auch beim Decappen ne Menge Respekt. Ich hatte selber schon bei den netten TO3-Dosen so meine Probleme, weil ich aus nem BJT einen Strahlungsdetektor basteln wollte. Aber du scheinst da wohl recht gute Methoden gefunden zu haben ;)
Jan W. schrieb: >> Ich bin immer wieder stolz darauf mit wie wenig finanziellen Einsatz >> diese Bilder erstellt wurden! :) Den Hintergrund findest du hier: >> https://richis-lab.de/Howto_Optik.htm >> Den gesamten Ablauf hier: >> https://richis-lab.de/Howto.htm > > Ach wirklich fein, da werde ich mal durchstöbern. Meine erste Reaktion > bei den Bildern war tatsächlich "Wo hat der Kerl ein > Elektronenraster-Mikroskop her!?" > > Auf jeden Fall weiter so, die Bilder sind qualitativ ziemliche Spitze. > Auch beim Decappen ne Menge Respekt. Ich hatte selber schon bei den > netten TO3-Dosen so meine Probleme, weil ich aus nem BJT einen > Strahlungsdetektor basteln wollte. Aber du scheinst da wohl recht gute > Methoden gefunden zu haben ;) Was man nicht sieht, ist die viele Zeit in der ich mich an diese Bildqualität herangetastet habe. Und was auch (noch) nicht auf der HowTo-Seite steht: Mittlerweile fotografiere ich oft schräg gestellte Teile mit verschiedenen Fokussierungen und arbeite dann mit focus stacking. Das dauert länger, die schräge Belichtung bringt aber oft noch bessere Ergebnisse. Ich verstehe nicht immer die optischen Gesetze dahinter, aber das kompensiere ich mit viel Try&Error. Wie man in folgenden Thread sieht, ist eine wissenschaftliche Erklärung der optischen Zusammenhänge nicht so einfach: Beitrag "Beschleunigungssensor - Die-Analyse"?
Sebastian schrieb: > Respekt - tolle Bilder. Ich bin begeistert. Gerne mehr davon. Danke! Soweit es die Zeit zulässt mache ich weiter. :)
Ich hab jetzt erst die Beschreibung gelesen, wie man die Dies in Plastik-ICs freilegen kann. Da hätte ich vorher immer gedacht, dass beim Verbrennen des Epoxids dann auch der Die selbst langsam zu Quarzmehl verbrennt.
● J-A V. schrieb: > Ich hab jetzt erst die Beschreibung gelesen, > wie man die Dies in Plastik-ICs freilegen kann. > > Da hätte ich vorher immer gedacht, > dass beim Verbrennen des Epoxids dann auch der Die selbst > langsam zu Quarzmehl verbrennt. Dann musst du unbedingt meine ganze Website studieren! ...ok, die ganz alten Sachen vielleicht nicht unbedingt. :) Das Silizium bzw. die integrierten Schaltkreise sind erstaunlich robust. Selbst mit dem Gasbrenner habe ich meistens gute Ergebnisse erzielt. Irgendwann bekommt das Die so eine Art Blasen: https://richis-lab.de/images/GraKa_S3/ARK_06.jpg Und dann degeneriert die Metalllage... Mit meinem Brennofen habe ich mittlerweile einen sehr konstanten Prozess, der zusätzlich schnelles Arbeiten zulässt. Hauptsache keine hochkonzentrierten, heißen Säuren. Diese ganz besonderen Lösungsmittel sind mir auch suspekt. Muss man erst mal bekommen und bezahlen können und dann ist das Zeug wahrscheinlich auch nicht gesund...
Richard K. schrieb: > Dann musst du unbedingt meine ganze Website studieren! hab zumindest schon mal den Trafo von mir wieder erkannt :-)
Hallo Richard, ich habe einen AD1139 im Keramikgehäuse, der auf dem Schreibtisch verstaubt. Hättest du Interesse daran? Wenn ich daheim bin, probiere ich, dir eine PN zu schreiben. Beste Grüße, Marek
Hallo Marek, klingt interessant! Ich freue mich auf deine PN! Viele Grüße, Richard
Marek N. schrieb: > ich habe einen AD1139 im Keramikgehäuse, der auf dem Schreibtisch > verstaubt. Neu kostet der knapp 1400 EUR bei Mouser. War der schon immer so teuer? Bin auf jeden Fall schon auf die Bilder gespannt. @Richard: Tolle Arbeit bisher, finde ich wirklich spannend.
Danke Jörg, positives Feedback motiviert natürlich! 1400€??? Ja Wahnsinn, da muss ich aufpassen!
Richard K. schrieb: > 1400€??? Ja Wahnsinn, da muss ich aufpassen! Das ist immer die Abwägung bei historischen Bauteilen, die hin und wieder noch als Ersatzteile gebraucht werden. Idealerweise schlachtet man eins das ohnehin kaputt ist.
soul e. schrieb: > Richard K. schrieb: > >> 1400€??? Ja Wahnsinn, da muss ich aufpassen! > > Das ist immer die Abwägung bei historischen Bauteilen, die hin und > wieder noch als Ersatzteile gebraucht werden. Idealerweise schlachtet > man eins das ohnehin kaputt ist. Grundsätzlich hast du natürlich Recht. Oftmals bin ich da etwas blasphemisch unterwegs und stelle die "wissenschaftliche" Erkenntnis über dem Erhalt alter Schätze... Mal sehen was Marek sagt, vielleicht liegt das Teil nicht umsonst verstaubt auf dem Tisch. Das klingt nicht nach einem funktionsfähigen Teil.
Moin, nur die Ruhe. Andererseits werden ICs aus dem APOLLO-Programm decapped oder hier die LTZ1000 geschlachtet ;-) Der AD1139 stammt aus einer Schrottbaugruppe aus einem "Precision Scientific Instrument". Solche finden sich immer wieder mal bei uns im Container. Vermutlich ist er sogar intakt, aber vielleicht Out-of-Spec oder vielleicht doch Defekt. Eine Testschaltung ist ja dank Parallel-Interface recht einfach. Wie gesagt, der Baustein verstaubt hier schon seit Monaten auf dem Schreibtisch, denn als Briefbeschwerer ist er zu leicht. Ich hab noch weitere Keramik- und Metal-Can-ICs in meinem privaten Museum, die ich dir zukommen lassen kann. Hast PN. Beste Grüße, Marek
Die LTZ1000 war nach Aussage des Spenders "verrauscht". :) Sehr schön! Ich melde mich heute Nacht, sobald ich einen Überblick habe. Danke schon mal! Viele Grüße, Richard
NEWS: Ich habe ein weiteres MEMS-Mikrofon geöffnet, ein ST MP23DB01: https://richis-lab.de/MEMS_03.htm Dieses Mikrofon ist etwas einfacher aufgebaut. Die Kapazitätsänderung wird hier nicht differentiell vermessen.
Guten Abend, hier ein Beschleunigungssensor, der meines Erachtens kein wirklicher MEMS aber hochinteressant ist: https://www.richis-lab.de/MEMS_04.htm Danke an Harry! Der Sensor arbeitet thermisch, ohne bewegliche Elemente. Ein eigenartig erscheinendes Messprinzip, das aber anscheinend sehr gut funktioniert. Bei diesen Bildern sieht man auch mal schön was ich so auflösen kann. Wie schon öfter erwähnt: 5µm sind eigentlich immer möglich, weniger manchmal auch. :)
Für die MEMS-Interessieren hier ein kleines Update. Danke Dirk Zielke konnte ich noch ein Bild eines ADXL202 hochladen: https://www.richis-lab.de/ADXL213.htm#ADXL202 Das Teil scheint das Vorgängermodell des ADXL213 zu sein. Das MEMS-Element hat sich stark geändert, die Auswerteelektronik wurde aber fast komplett übernommen.
Sollte sich jemand speziell für MEMS-Bauteile interessieren und nicht in meinem Optoelektronik-Thread mitlesen, dem verlinke ich hier meine Analyse des Infrarot-Kameramoduls Flir Lepton 2.5: Beitrag "Re: Optoelektronische Bauelemente - Die-Bilder"
Es wird mal wieder Zeit für einen MEMS-Baustein. Dann gehen wir doch gleich in die Vollen und schauen uns den 9-Achsen-Sensor BNO055 von Bosch an: https://www.richis-lab.de/MEMS_06.htm Das Teil kam von Stephan D. (50plus).
Hier hätte ich dann noch ein 2-Achsen-Gyroskop: https://www.richis-lab.de/MEMS_07.htm Die Bilder kommen nicht von mir, wurden mir aber freundlicherweise zur Veröffentlichung zugeschickt. Interessant finde ich vor allem die "Umleitung" der horizontalen Schwingung in eine vertikale Schwingung.
Von Stephan D. (50plus) hätte ich dann auch noch einen Bosch BMP280, einen Absolutdrucksensor: https://www.richis-lab.de/MEMS_08.htm
Angehängte Dateien:
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Lustig! Ich habe vor kurem auch einige BMP280 bestellt in China. Bei einem war die Metallkappe schon in der Verpackung abgefallen, also mal genauer untersucht. Leider gibt unsere Mikroskopkamera von dnt [1] leider nicht so viele Details preis, wie Richards Aufbau. Einen anderen Sensor habe ich versehentlich an 5 V angeschlossen und er reagiert nicht mehr. Durch das Loch im Deckel sieht man die Kristalle des kondensierten Magic Smoke ;-) Wahrscheinlich sind es Rückstände vom Fluss- oder Reinigungsmittel. Beste Grüße, Marek [1] Ähnlich: https://www.amazon.de/DNT-DigiMicro-2-0-Scale-Mikroskop/dp/B002FB7IIE
Wie meinen Sie das? Die Sensoren waren schon auf den Adapter-Platinen bestückt. Da habe ich nichts dran gemacht. Oder kann es sein, dass wenn der Bestückungsautomat zu viel Druck auf das Bauteil ausübt, dann der Deckel abspringen kann?
Marek N. schrieb: > Oder kann es sein, dass wenn der Bestückungsautomat zu viel Druck auf > das Bauteil ausübt, dann der Deckel abspringen kann? Na, das müsste dann aber schon sehr viel Druck sein;) m.E. Ist es wahrscheinlicher, dass es sich bei Deinen vorbestückten BMPs um nicht ganz Originale handelt 😗 Bei unseren originalen BMP280 (etwas mehr als 10 verarbeitet ;) ist jedenfalls noch kein Deckelchen abgefallen (… doch einer: bei Richard) Kannst ja mal ein paar an Richard schicken…
Angehängte Dateien:
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Stephan schrieb: > dass es sich bei Deinen vorbestückten BMPs um nicht > ganz Originale handelt 😗 Davon ist auszugehen ;-) Oder zumindest Produktions-Ausschuss. Ich hätte vermutet, dass die Öffnung mit einer Art Kapton-Folie versiegelt wird, die erst nach dem Waschen der Baugruppe entfernt werden darf. Ich hab den offenen Sesor mal unter unser Mantis-Mikroskop gehalten. Da sieht das schön räumlich aus. Leider können die Handy-Photos das nicht abbilden. Da ist das Focus-Stacking von Richard schon eine ganz andere Klasse: https://www.richis-lab.de/images/MEMS/08_03.jpg
Deutlicher Unterschied: Bei Richards Sensor befinden sich die Ballbonds auf dem Substrat (unten). Die Wedges sind Stitch on Ball. Bei Mareks ist es andersrum..
Marek N. schrieb: > Wie meinen Sie das? > Die Sensoren waren schon auf den Adapter-Platinen bestückt. Da habe ich > nichts dran gemacht. > Oder kann es sein, dass wenn der Bestückungsautomat zu viel Druck auf > das Bauteil ausübt, dann der Deckel abspringen kann? Ich meinte, dass die Teile beim Bestücker der Adapter-Platinen vielleicht nicht mit der notwendigen Sorgfalt gelötet wurden. Diese Platinchen sollen schließlich immer maximal günstig sein. Vielleicht war die Temperaturkurve nicht so wie sie sein sollte. Oder es handelt sich wirklich um Ausschussteile, bei denen der Deckel von Anfang an nicht ordentlich fixiert war.
Marek N. schrieb: > Ich hätte vermutet, dass die Öffnung mit einer Art Kapton-Folie versiegelt wird, die erst nach dem Waschen der Baugruppe entfernt werden darf. Nein, die sind ohne verschluss der öffnung im gurt. Das daBla spricht auch nix von "Verschluss der öffnung". "Waschen der Baugruppe" ist zum Glück bei modernen Lötpasten normalerweise unnötig.
Heute habe ich mal wieder etwas besonderes, ein Fabry-Perot-Interferometer, einen Hamamatsu C14727: https://www.richis-lab.de/MEMS_09.htm BTW: Das waren mehr als 1.000 Einzelbilder, die insgesamt fast 50GB belegen. Da lobe ich mir, dass ich mittlerweile eine Kamera besitze, die einen elektronischen Shutter darstellen kann.
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Bearbeitet durch User
Hier haben wir ein etwas moderneres DLP-Modul, das DLP553x von Texas Instruments: https://www.richis-lab.de/MEMS_10.htm
MEMS hatten wir schon lange nicht mehr, daher hier ein Drucksensor von All Sensors: https://www.richis-lab.de/MEMS_11.htm
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