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Forum: Digitale Signalverarbeitung / DSP Rasterelektronenmikroskop Zeiss DSM 960


Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Liebe Forum-Mitglieder

Ich habe seit kurzen, durch einen glücklichen Umstand
ein Elektronenmikroskop erworben. Zeiss DSM 960.

Dieses werde ich in nächster Zeit wieder inbetrieb nehmen.

Das REM hat 2 alte Monitore, einer mit RGB-Signal der 2. mit
normales Video-Signal.

Zusetzlich hat das Rem auch eine Foto-Einheit für Polaroidaufnahmen.

Um diese Fotoeinheit geht es mir. Das zu Fotografierende Bild wird
von einer art Bildröhre zur verfügung gestellt. Dieses Bild
hat eine hohe Auflösung 1000x1000. Gibt es eine möglichkeit,
dieses Signal, das ja irgend wie in die XYZ-Röhre gelangt,
abzugreifen und digital mit einem Rechner weiter zubearbeiten?

Vielen Dank für eure Hilfe.

Viele Grüße

Sunny

Autor: Altium (Gast)
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<ot>
Sehr cool, darf man fragen, wie viel du für das gute Stück hast zahlen 
müssen?
</ot>

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Danke

Ja darfst du, aber über Geld möchte ich hier nicht sprechen.

Vg Sunny

Autor: Benedikt S. (benedikt_s)
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Ist die Anzeigeröhre direkt mit dem vakuumsyst EM des Mikroskops 
verbunden?

Autor: Altium (Gast)
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Ok schade.

Was ist das denn genau für eine Röhre? So etwas in der Art wie die Image 
Intensifier Teile bei Röntgen?
Ansonsten sollte es wohl einfach sein, mit dem Oszi rauszufinden, wo die 
v- und h-sync Signale sowie die Intensität abgreifbar sind.

Autor: David P. (chavotronic)
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Hui, welche Detektoren hast du denn drin? :)

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Leute

das geht ja schnell hier.Super!!!

Ich habe euch mal einen E-Plan angehängt.
Vielleicht erkennt ihr eine Möglichkeit wo ich ansetzen
könnte.

In einem Forum hatte ich etwas über eine Soundkarte gelesen,
mit der das Rem-Bild Digitalisiert wurde. Leider keine genauen
angaben.Außerdem ging es um ein Altes Leica Rem.

vg Sunny

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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folgende Detektoren

SE
BSE
WDX ( werde ich aber nicht aktivieren (Röntgen))

Soweit ich es erkennen konnte.

Vg Sunny

Autor: Torsten Schwalm (torstensc)
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Sunny S. schrieb:

> WDX ( werde ich aber nicht aktivieren (Röntgen))


Nur als Hinweis. Der Betrieb eines REM ist anzeigepflichtig als 
Störstrahler (hängt von der Beschleunigungsspannung ab).
Röntgenstrahlung wir immer erzeugt. Du kannst den Detektor also
einfach nutzen. Außerdem brauchst du einen Strahlenschutzkurs
(Fachkunde R3). Also hänge den Betrieb nicht so an die große Glocke.
Ich halte die Regelung eher für sinnlos, aber so ist es nun mal.
Das Bild abgreifen dürfte eine Herausforderung werden. Häufig
wurde es auch irgendwo per Video-Signal zur Verfügung gestellt.
Ich habe mich da mal mit einem LEO S430 rumgeschlagen.

Torsten

Autor: Rote Tomate (tomate)
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>WDX ( werde ich aber nicht aktivieren (Röntgen))

Die Röntgenstrahlung entsteht so oder so, egal ob der Detektor an ist 
oder nicht. Aber Flüssigstickstoff brauchen die Dinger meistens, 
zumindest die älteren.

Autor: ich (Gast)
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Röntgen kann mann schirmen.

Wiso nicht einfach statt der polaroidkamera nen Digital Fotoknips mit 
entsprechnder Vorichtung und Belichtungszeit? Mache ich hier seit jahren 
so bei minem HP Spektroguck.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Danke für den Hinweis.

Ich habe mich auch schon informiert.
Der Kurs dauert 1 Tag und kostet mit Prüfung ca. 350 €.
Das werde ich auf jedenfall investieren.


Das mir dem Flüssigstickstoff ist nur nötig, wenn EDX 
Halbleiter-Detektoren
verwendet werden. Ist aber an diesem Rem nicht vorhanden.

Max. Beschleunigungsspannung beträgt 30kV

Video-Signale sind vorhanden bzw. auch Video - Out.
Ich kann mir nur nicht vorstellen das ich die volle Auflösung
über diesen Ausgang erhalte.
Oder verstehe ich da was falsch, in bezug auf Zeilen und Spalten?

vg Sunny

Autor: Harald Wilhelms (wilhelms)
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Rote T. schrieb:

> Aber Flüssigstickstoff brauchen die Dinger meistens,
> zumindest die älteren.

Wofür?

Autor: Rote Tomate (tomate)
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>Wofür?
Hatte gedacht, OP hätte ein EDX (habe noch selten SEMs mit WDX gesehen), 
aber der Kasten hat wirklich ein WDX.

Autor: Peter II (Gast)
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Sunny sunny schrieb im Beitrag #4844126:
> Nein, habe ich nicht. Ich werde damit Insekten untersuchen. Auch
> interessieren Mikrostruckturen.

hast du schon mal Bilder damit gemacht? Kannst du mal ein paar zeigen?

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Nein ich habe noch keine Bilder gemacht, da das Rem noch nicht in 
Betrieb ist.
Um es in Betrieb zu nehmen fehlt es noch an der Infrastruktur.
Kühlwasserleitung, Stickstoff als Spülgas,  Starkstrom.
All das wird jetzt Stück für Stück abgearbeitet. Und dann gibt es die 
schönen Rem-Bilder.

Vg Sunny

Autor: Der Andere (Gast)
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Tolle Sache.
Das nenne ich mal ein ausgefallenes Hobby :-)
Viel Spass dabei

Autor: Harald Wilhelms (wilhelms)
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Der Andere schrieb:

> Das nenne ich mal ein ausgefallenes Hobby :-)

Tja, ich hatte viele Jahre Zugang zu einem Rem und wusste auch,
wie man es bedienen musste (ohne Lehrgang). Mir ist in der ganzen
Zeit nicht eine einzige sinnvolle private Anwendung eingefallen.
Übrigens ist ein REM normalerweise nur für leitende Proben geeignet.
Insekten müsste man also vorher mit Gold besputtern.

Autor: Der Andere (Gast)
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Harald W. schrieb:
> Zeit nicht eine einzige sinnvolle private Anwendung eingefallen

Was ist sinnvoll? Muss ein Hobby sinnvoll sein?
Ein optisches Mikroskop ist auch nicht unbedingt sinnvoll, trotzdem hat 
es mir als Kind einen Riesenspass bereitet damit zu "experimentieren".

Ich kenne einige, die als Hobbyastronomen sich die Nächte um die Ohren 
schlagen und sich teure Fotoausrüstungen zulegen, obwohl man 1000mal 
bessere Bilder aus dem Nasaarchiv oder allgemein aus dem Internet ziehen 
kann.

Autor: Der Andere (Gast)
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Nachtrag:
Alleine das Ding daheim (wieder) zum Laufen zu bringen kann schon ein 
wesentlicher Teil des Hobbys sein.

Autor: Torsten Schwalm (torstensc)
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Ich hatte auch überlegt mir mein altes S430 in die Garage zu stellen, 
aber der WAF war nicht groß genug. Das S430 lief auch mit ner normalen 
Steckdose und ohne Wasserkühlung. Ne Stickstoffflasche ist schnell 
besorgt, und eine Balzers Sputteranlage für Gold und Kohle habe ich auch 
noch.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Ja ich weiß. Ich habe ein Edwards s150 Sputter
Mit Goldtarget und um die Objekte zu trocknen,
 ein cpd 030 von Balzers (  baugleich mit dem Cpd 030 von 
Leica)Kritische Punkt Trocknung mit co2.
Ich habe beide Geräte schon getestet. Bilder kommen demnächst.

In einem Mikroskop - Forum hat jemand mit seinem Rem Bilder von 
Schmetterlingsflügel
Veröffentlicht.

Tolle Aufnahmen. Er macht das digitalisieren mit einer Soundkarte und 
Schaft damit ca. 20 Bilder in der Stunde.

Wie geht das?

Vg Sunny

Autor: Altium (Gast)
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Sunny S. schrieb:
> Er macht das digitalisieren mit einer Soundkarte und Schaft damit ca. 20
> Bilder in der Stunde.
> Wie geht das?

Hmm, wie wäres es, wenn du den Typen aus besagtem Forum einfach fragst?

Autor: Whitespace (Gast)
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Autor: Mac Gyver (macgyver0815)
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Das Teil sieht aus wie Teil einer Kulisse von alten SciFi oder James 
Bond Filmen. Fehlen nur noch einige blinkende Lampen/LEDs, aber das wäre 
ja leicht nachrüstbar ;-)

Du könntest ja mal das Die aus einem EPROM oder PIC (mit Sichtfenster) 
an verschiedenen Stellen aufnehmen - dürfte bei den Gehäusen am 
einfachsten sein da den Chip zerstörungsfrei freizulegen.
Auch gut gehen könnten Bildsensoren aus alten Webcams oder 
Digitalkameras (Keramik Gehäuse, Chip unter Glasfenster - es gibt auch 
Chips wo das Glas direkt drauf ist, da geht das dann eher nicht).

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Whitespace schrieb:
> Eine kurze Recherche ergibt
> https://github.com/hackerfriendly/wav2tiff
> http://hackerfriendly.com/megapixel-images-from-an...
> und
> Youtube-Video "ToorCamp 2016 - Resurrecting a Vintage Scanning Electron
> Microscope"

Super vielen Dank.

Genau das habe ich gesucht.

Danke Danke.

Wie hast du das gefunden? Welche Stichwörter hast du benutzt?


Vg Sunny

Autor: Whitespace (Gast)
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Eher durch Zufall. Angeregt von deinem Post und auf der Suche nach 
Berieselung beim gestrigen Abendessen habe ich auf Youtube nach Videos 
zu dem Thema gesucht. Der Link auf die Github Seite kommt dann im 
genannten Video vor.

Scheinbar ist das ein recht gängiges Problem/Upgrage für die alten SEMs.
Ben Krasnow (siehe z.B. https://www.youtube.com/watch?v=GuCdsyCWmt8) hat 
auch einiges dazu.

Es gibt auch noch jemanden, der hat ein SEM im Wohnzimmer stehen. Das 
findet man, wenn man nach "SEM in the living room" oder so ähnlich 
sucht. Da geht es zwar weniger um die Bildextraktion, aber amüsent ist 
es allemal.
Jeri Ellsworth (https://www.youtube.com/watch?v=sJMtZlPkt6E) hat sich 
übrigens auch eins zugelegt.

Autor: Edi. M. (Firma: Industrie 1.0) (elektromeister)
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Kaum ist man mal ein paar Monate abwesend, schon geht hier die Post ab! 
Ein REM war schon immer mein Traum. Nicht, dass Ich damit gross was 
anzufangen hätte, ausser mit Bienen und Milben genauer anzusehen, aber 
sowas ist einfach ultra!!!!

Würde gerne mal angucken kommen :-)

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Edi M. schrieb:
> Würde gerne mal angucken kommen :-)

Kein Problem, wenn es soweit ist und das Rem läuft kannst du gerne mal 
vorbei schauen.


Ich teste den ganzen Tag schon wie ich das Progamm "wav2tiff"
zum laufen bekomme.

Soweit wie ich es verstanden habe,benötigt man folgende Programme

python ( Welche version muß ich bei Win7 Prof 64bit nehmen)

dann die Softwarepakete:

numpy
scipy
scikits.audiolab
tifffile

Dann wird das Progamm gestartet (Skipt im Dos - Modus)



"wav2tiff.py --wav your_data_file.wav"

wav2tiff.py befindet sich im selben Pfad wie die Wav-Datei.

Ich habe mir die Wav-Datei Boron.wav
von der Website http://hackerfriendly.com
besorgt(um das Tool zu testen)

Ich bekomme nach ausführen des Skipts immer
folgende Fehlermeldung
-- File "C:\test\wav2tiff.py, line 76
      except Type Error, indexError:

SyntaxError:invalid syntax ---


Hat jemand einen Tipp?

Danke

Vg Sunny

: Bearbeitet durch User
Autor: oszi40 (Gast)
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Sunny S. schrieb:
> einen Tipp

Bevor ich eine Soundkarte füttern würde, würde ich erst mal ein 
Oszillogramm der bisherigen Signale Syn und Bildpunkte machen um sicher 
zu sein, daß überhaupt etwas ankommt. Dann Referenzfälle suchen. Evtl. 
ist im Rechenwerk Halle ein kleiner Hinweis zu finden?

Autor: Daniel B. (dbuergin)
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> python ( Welche version muß ich bei Win7 Prof 64bit nehmen)

Ich würde erstmal mit Python2 probieren. Python 3 ist noch nicht so
weit verbreitet.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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oszi40 schrieb:
> Bevor ich eine Soundkarte füttern würde, würde ich erst mal ein
> Oszillogramm der bisherigen Signale Syn und Bildpunkte machen um sicher
> zu sein, daß überhaupt etwas ankommt.

Wie müssen die Signale aussehen. Ich habe ein Gould Datasys 740 - 150 
MHz 4ch.

Den Schaltplan habe ich weiter oben gepostet.

Vg Sunny

Autor: Daniel B. (dbuergin)
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Bei mir läuft wav2tiff.py durch:

Python 2.7.6 32bit Version auf Windows 8.1

Die folgenden Module mit pip installiert:
29/12/2016  23:49        21,054,566 numpy-1.11.3+mkl-cp27-cp27m-win32.whl
29/12/2016  23:46           841,978 scikits.audiolab-0.11.0-cp27-cp27m-win32.whl
29/12/2016  23:53        54,543,892 scipy-0.18.1-cp27-cp27m-win32.whl
29/12/2016  23:51            78,436 tifffile-2016.10.28-cp27-cp27m-win32.whl

c:\Users\Privat\Mikrokontroller\tmp>python wav2tiff.py --wav boron.wav
        length: 258 seconds
      encoding: pcm16
       samples: 12404159
   sample rate: 48000
H:\python27\lib\site-packages\numpy\core\numeric.py:190: VisibleDeprecationWarning: using a non-integer number instead of an integer will result in an
 error in the future
  a = empty(shape, dtype, order)
wav2tiff.py:24: VisibleDeprecationWarning: using a non-integer number instead of an integer will result in an error in the future
  smoothed = np.convolve(data, np.ones((window,)) / window)[(window-1):]
     H sync on: right channel
mean line size: 7201

Processing sync data...
  image height: 1718
   image width: 2405

Processing video data...
wav2tiff.py:133: VisibleDeprecationWarning: using a non-integer number instead of an integer will result in an error in the future
  line_data = img_data[line:line+mean_interval].tolist()
  Saving wav.tiff
c:\Users\Privat\Mikrokontroller\tmp

Ob das Resultat ok ist, kann ich nicht beurteilen, aber das TIFF File
sieht auf jeden Fall nach etwas aus.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Daniel B. schrieb:
> Python 2.7.6 32bit Version auf Windows 8.1
>
> Die folgenden Module mit pip installiert:29/12/2016  23:49
> 21,054,566 numpy-1.11.3+mkl-cp27-cp27m-win32.whl
> 29/12/2016  23:46           841,978
> scikits.audiolab-0.11.0-cp27-cp27m-win32.whl
> 29/12/2016  23:53        54,543,892 scipy-0.18.1-cp27-cp27m-win32.whl
> 29/12/2016  23:51            78,436
> tifffile-2016.10.28-cp27-cp27m-win32.whl

Das ist ja Super.Bei mir geht es immer noch nicht:(

Kannst du mir mal von den Dateien die links senden?

Wie installierst du die Dateien mit der Endung .whl?

Danke

Vg Sunny

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Ich habe es geschaft.

Ich konnte die Wav-Datei umwandeln.
Geiles Tool.

Software ist soweit klar, jetzt gehts an die Hardware ( Rem )
Bild per Soundkarte aufnehmen.

Danke nochmal an alle.

Ich melde mich wenn es weiter geht.

vg Sunny

Autor: Axel R. (Gast)
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15.8MB, ich klick da auch noch drauf :\ hehe

StromTuner

Autor: Axel R. (Gast)
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ein männliches "mineral", höhö
Was ist das eigentlich, ein Staubkorn?
Welcher Maßstab?

StromTuner

Autor: tomate (Gast)
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Sunny S. schrieb:
> 15,8 MB, 57 Downloads

BILDFORMATE?!

Autor: Harald Wilhelms (wilhelms)
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Axel R. schrieb:

> Was ist das eigentlich, ein Staubkorn?

Um da eine Abschätzung machen zu können, gehört auf jede
REM-Aufnahme eigentlich ein sog. "Mü-Pfeil".

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Harald W. schrieb:
> Um da eine Abschätzung machen zu können, gehört auf jede
> REM-Aufnahme eigentlich ein sog. "Mü-Pfeil".


Ja das ist wohl richtig, mit dem Mü-Pfeil.
Ich muß aber nochmal sagen, das das nicht meine Aufnahme ist.
Ich habe nur die Wav-Datei von dieser Webseite
http://hackerfriendly.com/megapixel-images-from-an...
benutzt, um das Programm zu testen.


Hier mal eine Seite mit Rem Fotos die nach der Soundkarten Methode
digitalisiert wurden.Die Seite hatte mich erst auf die Idee gebracht.

http://www.mikroskopie-forum.de/index.php?topic=25699.0

oder

http://www.mikroskopie-forum.de/index.php?topic=25715.0

vg Sunny

: Bearbeitet durch User
Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Guten Tag, ich hatte in meiner Zulassungsarbeit eine Bilderfassung mit 
FPGA über USB gebastelt für ein Zeiss DSM 940 A.

Die Arbeit ist hier https://gus.tl/uni/zula/Zulassungsarbeit.pdf
Der Rest dort:
https://gus.tl/uni/zula/

Edit:
Kurzbeschreibung:
Das REM erfasst das Bild selber schon digital bit 8 Bit und 2048x2048. 
Das sollte man also auch digital abgreifen weil sonst wieder die 
Qualität leidet. Ich verwende dazu den normalen Photo Modus, also 40 
Sekunden in etwa für ein 2048x2048 Bildchen. An die Signale kommt man 
recht schön im REM heran.

Edit2:
Im Anhang 3x ein Fliegenauge bei unterschiedlichen Vergrößerungen. Die 
.png Dateien sind jeweils ein 2048x2048 Array mit je 8 Bit je Pixel, 
genau so wie es aus dem REM kommt.

Viel Spaß am Gerät!

: Bearbeitet durch User
Autor: H-G Sch (haenschen)
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Bestehen die Fasern am Fliegenauge nochmals aus einem Fasernwald ?

Autor: Axel R. (Gast)
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Ekelhaft, iiih :))

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Die Fasern sind wohl Haare/Borsten und befinden sich im Bereich zwischen 
den beiden Augen. Die sechseckigen Dinge links sind die einzelnen 
Augenelemente.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Gustl B. schrieb:
> Guten Tag, ich hatte in meiner Zulassungsarbeit eine Bilderfassung mit
> FPGA über USB gebastelt für ein Zeiss DSM 940 A.

An alle! Ein Gesundes neues Jahr 2017.

Danke Gustl.B

Saubere Arbeit. Wie lange hast du daran gearbeitet? Top.

Ich habe die Schaltpläne von diesen 2 Leiterkarten im orginal.
( Pixelplatine und Rasterplatine).

Hast du auch Bilder von deiner fertigen Schaltung mit dem FPGA?

So wie ich dich verstanden habe, hast du den FPGA mit in das Rack vom
Rem installiert und versorgst deine Schaltung über den Rückwandbus, 
oder?

Vg Sunny.

: Bearbeitet durch User
Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Hallo und ebenfalls ein frohes 2017!

Ja genau, ich hab die Karte hinten ins REM gebaut wie die anderen Karten 
auch und von dort wird sie auch versorgt.

Gedauert hat die Arbeit nicht so lange ... also der Großteil war halt 
herauszufinden wo ich die Pixeldaten abgreifen kann und was die beiden 
Steckkarten da machen. Das habe ich dann in VHDL quasi nachgebaut. Alles 
zusammen bis es lief so in etwa 3-4 Monate, ich konnte auch nicht immer 
ans Gerät.

Sunny S. schrieb:
> Ich habe die Schaltpläne von diesen 2 Leiterkarten im orginal.
> ( Pixelplatine und Rasterplatine).

Die hätte ich auch gerne gehabt ... das wäre dann sehr viel einfacher 
gewesen.

Sunny S. schrieb:
> Hast du auch Bilder von deiner fertigen Schaltung mit dem FPGA?

Leider nein. Ich kann auch selber nicht abschätzen wieviele der 
Mikroskope es so gibt. Also ich meine, wenn es Bedarf gibt könnte ich 
mal eine Platine layouten und einen schönen Schaltplan zeichnen ... 
derzeit ist das auf Lochraster aber funktioniert. Im Grunde braucht es 
nur ein paar Wandler von 5V TTL nach 3,3V für die FPGA IOs und einmal 
die FPGA Spannungsversorgung.

Autor: Torsten Schwalm (torstensc)
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Es gibt leider hunderte Mikroskope. Beim S430 wurde das Ganze über eine 
Glasfaser zur Fotoeinheit geschickt. Die Boards im Mikroskop waren so 
40x40cm groß. Unterlagen gab es natürlich keine. Selbst der 
Service-Mensch kam da nicht ran.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Gustl.B

Ja ein Layout wäre nicht schlecht und Fotos wären auch klasse.

So wie ich es verstanden habe, greifst du nur 4-5 Signale ab oder?
Wie hast du damals die Schaltung umgesetzt?

Eine Kopie von dem Schaltplan hänge ich an.Vielleicht siehst du noch 
eine
andere Möglichkeit die Signale abzugreifen.

Kaufen würde ich dieses FPGA-Board
http://shop.bitrecords.de/index.php?route=product/....

Das board, ist doch das selbe welches du auch verwendet hast,oder?

Was brauche ich um den FPGA zu Flashen? Geht das per USB oder nur über
JTAG?

Was hälts du von diesem FPGA-Board

Ebay-Artikel Nr. 141809459257

Vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Sunny S. schrieb:
> Kaufen würde ich dieses FPGA-Board
> http://shop.bitrecords.de/index.php?route=product/....
>
> Das board, ist doch das selbe welches du auch verwendet hast,oder?

Exakt. Aber ich habe noch eines hier rumliegen ... das könnte ich Dir 
mit dem Bitstream beschreiben und zuschicken.

Sunny S. schrieb:
> Was brauche ich um den FPGA zu Flashen? Geht das per USB oder nur über
> JTAG?

Über JTAG. Da kosten die Adapter für Xilinx so ab 30€ aufwärts.

Sunny S. schrieb:
> Was hälts du von diesem FPGA-Board
>
> Ebay-Artikel Nr. 141809459257

Nun, das hat sehr viel Zeug drauf was wir nicht brauchen. Und leider ist 
es deutlich größer. Ich wollte eben ein kleines das man dann auch da 
schön ins REM bauen kann.

Mittlerweile gibt es aber auch kleine Boards mit Artix 7 von Xilinx.

Sunny S. schrieb:
> Ja ein Layout wäre nicht schlecht und Fotos wären auch klasse.

Werde ich machen wenn die Uni wieder offen hat und ich dort bin.

Sunny S. schrieb:
> So wie ich es verstanden habe, greifst du nur 4-5 Signale ab oder?
> Wie hast du damals die Schaltung umgesetzt?

Ne das sind schon ein paar mehr. Auszug aus dem VHDL:
entity REM_Photo is Port(
CLK : in STD_LOGIC;
RsTx : out STD_LOGIC;
--Board_IN
PIN_12_EXT : in STD_LOGIC; --beide --6. von links, untere Reihe Vorderseite
PIN_15_EXT : in STD_LOGIC; --beide
PIN_16_EXT : in STD_LOGIC; --beide
PIN_17_EXT : in STD_LOGIC; --17 auf 11Bit Board
PIN_18_EXT : in STD_LOGIC; --18 auf 11Bit Board
PIN_19_EXT : in STD_LOGIC; --beide
PIN_20_EXT : in STD_LOGIC; --beide
PIN_21_EXT : in STD_LOGIC; --beide
PIN_22_EXT : in STD_LOGIC; --beide
PIN_23_EXT : in STD_LOGIC; --beide
PIN_24_EXT : in STD_LOGIC; --beide
PIN_43_EXT : in STD_LOGIC; --beide
PIN_45_EXT : in STD_LOGIC; --beide
PIN_46_EXT : in STD_LOGIC; --beide
PIN_47_EXT : in STD_LOGIC; --beide
PIN_48_EXT : in STD_LOGIC; --48 auf 8Bit Board
PIN_50_EXT : in STD_LOGIC; --50 auf 11Bit Board
PIN_59_EXT : in STD_LOGIC --beide
);

Das sind alle IOs die man zwingend braucht. CLK und RxTx gehen aber 
nicht ins REM sondern CLK ist der Taktgeber auf dem FPGA Modul und RxTx 
der UART IO zum UM232H Modul. Auf den anderen Pins sind irgendwo die 8 
Bits für die Pixelhelligkeit und die Pixelposition im Bild.

Sunny S. schrieb:
> Eine Kopie von dem Schaltplan hänge ich an.Vielleicht siehst du noch
> eine
> andere Möglichkeit die Signale abzugreifen.

Ja also man könnte (das hatte ich auch zuerst so gemacht) die Daten 
direkt an den Eingängen der DA-Wandler abgreifen. Nur dann sind das 2x11 
Bits + 8 Bits = 30 IOs. Aber ja, könnte man machen. Eine elegantere 
Lösung wie das was ich am Ende gemacht habe ist mir nicht eingefallen.

Vielen Dank für die PDFs, die werde ich mal dem Lehrstuhl (REM-Besitzer) 
bei uns weiterleiten ... die haben sowas nämlich nicht.

: Bearbeitet durch User
Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Gustl B. schrieb:
> Exakt. Aber ich habe noch eines hier rumliegen ... das könnte ich Dir
> mit dem Bitstream beschreiben und zuschicken.

Super gerne. Was möchtest du dafür haben?

Vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Heute würde ich dieses FPGA Board verwenden:
https://shop.trenz-electronic.de/de/27383-Cmod-A7-...

Weil, das hat den UART gleich mit drauf, man braucht also keinen UM232H 
oder so, dann ist das Board klein, hat einen FPGA der aktuellen 
Generation, ist nicht zu teuer und es hat sogar den JTAG Adapter schon 
mit drauf. An deiner Stelle würde ich das kaufen. Ich habe das selber 
nicht aber könnte auch dafür ein Layout machen. Oder eben für das von 
Bitrecords.

Hier wollte ich das schon verkaufen (das von Bitrecords):
Beitrag "[V] FPGA Boards"
Wollte aber niemand für 40€ ...

Damals hatte ich auch um die 5V TTL nach 3,3V zu reduzieren einfach 
Spannungsteiler verwendet, heute würde ich da extra ICs verwenden wie 
den hier:
http://www.onsemi.com/pub_link/Collateral/MC74LCX541-D.PDF
Man lernt eben nie aus.

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Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Gustl B. schrieb:
> Heute würde ich dieses FPGA Board verwenden:
> 
https://shop.trenz-electronic.de/de/27383-Cmod-A7-...
>
> Weil, das hat den UART gleich mit drauf, man braucht also keinen UM232H
> oder so, dann ist das Board klein, hat einen FPGA der aktuellen
> Generation, ist nicht zu teuer und es hat sogar den JTAG Adapter schon
> mit drauf. An deiner Stelle würde ich das kaufen. Ich habe das selber
> nicht aber könnte auch dafür ein Layout machen.


Ok. Ich werde dieses Board kaufen, über das passende Layout von dir 
würde ich mich sehr freuen. Ist das Programm von dir damit auch 
kompatibel oder
muss es dann angepaßt werden?

Gustl B. schrieb:
>Damals hatte ich auch um die 5V TTL nach 3,3V zu reduzieren einfach
>Spannungsteiler verwendet, heute würde ich da extra ICs verwenden wie
>den hier:
>http://www.onsemi.com/pub_link/Collateral/MC74LCX541-D.PDF
>Man lernt eben nie aus.

Wenn das dann auch noch in dein neues Layout reinpast? Das wäre schön:)

Mit welchem Programm layoutest du? Ich habe ein bisschen Erfahrung mit 
Eagle.

Die Schaltpläne kannst du gerne weiterleiten. Ich habe aber alle
von diesem Rem. Ca 200 Seiten das sind ca. 200Mb an PDF´s. DSM 
960(A)passt wahrscheinlich auch zum DSM 960, DSM 950,DSM 940. Es scheint 
alles irgenwie kompatibel zu sein.

Vg Sunny

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Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Sunny S. schrieb:
> Ok. Ich werde dieses Board kaufen, über das passende Layout von dir
> würde ich mich sehr freuen. Ist das Programm von dir damit auch
> kompatibel oder
> muss es dann angepaßt werden?

Also das Python sollte 1:1 funktionieren, das VHDL für das FPGA muss man 
anpassen und neu zu einem Bitstream bauen, da ist ja ein anderes FPGA 
drauf und auch andere IOs und so angeschlossen. Aber das kann ich 
machen.

Aber kauf das Board erstmal noch nicht, noch habe ich ja kein Layout. 
Wird sowieso problematisch wie ich das testen kann ohne Board.

Oder anderer Vorschlag:
Wir nehmen das Bitrecords Board, ich habe ja noch eines rumliegen. Da 
baue ich ein Layout und lasse zwei Platinen fertigen, die eine kommt in 
unser Uni-REM und da teste ich, und die zweite bekommst Du zu einem 
fairen Preis (30€ für FPGA Modul, 20€ für UM232H und dann noch die 
Kosten für die Platine bei PCB-Pool) samt FPGA Modul und UM232H (davon 
hab ich auch noch welche). Das ist zwar nicht optimal, macht für mich 
aber die Testerei einfacher und als Nebeneffekt bekommt auch meine Uni 
eine saubere Platine. Wäre das OK?
Wenn Du aber selbst FPGA basteln möchtest würde ich zu dem neueren Modul 
greifen.

Sunny S. schrieb:
> Wenn das dann auch noch in dein neues Layout reinpast? Das wäre schön:)
>
> Mit welchem Programm layoutest du? Ich habe ein bisschen Erfahrung mit
> Eagle.

Ich kann nur etwas Eagle, mal gucken ob die Gratisversion reicht sonst 
haben wir in der Uni aber auch die Vollversion.

Sunny S. schrieb:
> Die Schaltpläne kannst du gerne weiterleiten. Ich habe aber alle
> von diesem Rem. Ca 200 Seiten das sind ca. 200Mb an PDF´s. DSM
> 960(A)passt wahrscheinlich auch zum DSM 960, DSM 950,DSM 940. Es scheint
> alles irgenwie kompatibel zu sein.

Sehr gut! Aktuell brauche ich die zwar nicht, aber es schadet nie sowas 
zu haben. Hast Du grob eine Abschätzung wieviele solche REMs verkauft 
wurden und noch im Einsatz sind? Vielleicht gibt es noch mehr 
Interessenten an einer Platine oder den Schaltplänen.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Gustl B. schrieb:
>Oder anderer Vorschlag:
>Wir nehmen das Bitrecords Board, ich habe ja noch eines rumliegen. Da
>baue ich ein Layout und lasse zwei Platinen fertigen, die eine kommt in
>unser Uni-REM und da teste ich, und die zweite bekommst Du zu einem
>fairen Preis (30€ für FPGA Modul, 20€ für UM232H und dann noch die
>Kosten für die Platine bei PCB-Pool) samt FPGA Modul und UM232H (davon
>hab ich auch noch welche). Das ist zwar nicht optimal, macht für mich
>aber die Testerei einfacher und als Nebeneffekt bekommt auch meine Uni
>eine saubere Platine. Wäre das OK?
>Wenn Du aber selbst FPGA basteln möchtest würde ich zu dem neueren Modul
>greifen.


Ok so machen wir es.

Ich lass dir das Geld zukommen.

Wie viele von den Rem´s noch arbeiten oder jemals verkauft wurden weis
ich auch nicht. Bestimmt nicht wenige.

In FPGA wollte ich mich eigentlich nicht reinarbeiten, nur das nötigste
um den FPGA Flashen zu können.
Ich komme aus der Automatisierungs-Branche. Siemens Step 7 und TIA 
Portal.


Sendest du mir eine Email mit deinen Bankdaten. Eine Kopie der 
Schaltpläne
auf CD sende ich dir wenn ich deine Adresse habe.

vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Sunny S. schrieb:
> Ich komme aus der Automatisierungs-Branche. Siemens Step 7 und TIA
> Portal.

Davon habe ich keine Ahnung. Wofür verwendest Du dann das REM? Doch 
nicht um etwas zu automatisieren.

Sunny S. schrieb:
> Sendest du mir eine Email mit deinen Bankdaten. Eine Kopie der
> Schaltpläne
> auf CD sende ich dir wenn ich deine Adresse habe.

Das mache ich wenn ich die Platinen habe. Erstmal muss ich wieder ans 
REM können und dann angucken was ich 2015 gebastelt habe ...
Ich vermute bis Ende Januar sollte das alles gemacht sein aber ich muss 
auch noch anderes Zeug tun das weniger Spaß macht.

Autor: Jürgen S. (engineer) Benutzerseite
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Super! Solche Bilder haben mich immer schon fasziniert. Das müsste man 
jetzt noch 3D haben, also eine zweite Aufnahme mit minimal gedrehtem 
Objekt.

Was mich interessiert: Hast Du auch Bildverabrbeitung (mit dem FPGA) 
gemacht?

Wie hast Du das mit USB realisiert?

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Gustl B. schrieb:
> Ich vermute bis Ende Januar sollte das alles gemacht sein aber ich muss
> auch noch anderes Zeug tun das weniger Spaß macht.

Das kenn ich.

Ok Ich warte voller ungeduld. Vielen Dank nochmal.
Schönes Rest-Wochenende noch.
Bis dann.

Vg Sunny

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Jürgen S. schrieb:

> Was mich interessiert: Hast Du auch Bildverabrbeitung (mit dem FPGA)
> gemacht?
>

"Gustl B."
ließt die Pixelinformation (30Bit/Pixel), die im Rem errechnet wurden,
mit dem FPGA aus und errechnet daraus wieder das Digitale Bild und 
stellt
es per USB-Schnittstelle dem PC Digital zur Verfügung.
Natürlich jetzt stark vereinfacht wiedergegeben.


Vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Jürgen S. schrieb:
> Super! Solche Bilder haben mich immer schon fasziniert. Das müsste man
> jetzt noch 3D haben, also eine zweite Aufnahme mit minimal gedrehtem
> Objekt.

Ich bin nur der Techniker/Student aber das ist tatsächlich spannend. 
Kaufe Dir ein REM und los geht die Bastelei! Den Probenhalter kann man 
von aussen manuell drehen, da könnte man also einen Schrittmotor 
anschließen.

Jürgen S. schrieb:
> Was mich interessiert: Hast Du auch Bildverabrbeitung (mit dem FPGA)
> gemacht?

Nein, das FPGA ist sehr klein und ich habe kein extrenes RAM. Ausserdem 
war der Lehrstuhl an den möglichst unverarbeiteten Rohdaten 
interessiert.
Was man machen könnte wäre aber Folgendes:
Irgendwo digitalisiert das REM ja selbst das Signal mit 8 Bits. Das 
könnte man vermutlich umbauen und selber machen um weniger Rauschen zu 
bekommen und einen größeren Dynamikumfang. Sprich es gibt noch einige 
Bereiche für Bastler.

Jürgen S. schrieb:
> Wie hast Du das mit USB realisiert?

Das ist nur UART. Habe ich genommen weil das sehr einfach auf PC Seite 
ist und mit den 8MBaud ist das auch schnell genug um die Daten 
rauszuschieben wenn das REM im schnellsten Photomodus ist.

Sunny S. schrieb:
> Ok Ich warte voller ungeduld. Vielen Dank nochmal.
> Schönes Rest-Wochenende noch.
> Bis dann.

Ich werde mich mit Statusupdates melden. Ebenfalls einen schönen Sonntag 
Abend.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Gustl B. schrieb:
> Nein, das FPGA ist sehr klein und ich habe kein extrenes RAM. Ausserdem
> war der Lehrstuhl an den möglichst unverarbeiteten Rohdaten
> interessiert.
> Was man machen könnte wäre aber Folgendes:
> Irgendwo digitalisiert das REM ja selbst das Signal mit 8 Bits. Das
> könnte man vermutlich umbauen und selber machen um weniger Rauschen zu
> bekommen und einen größeren Dynamikumfang. Sprich es gibt noch einige
> Bereiche für Bastler.


Ich stell mal den Schaltplan von der Leiterplatte für den Bildspeicher 
an.

vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Sehr schön! Vor allem die sehr antiken Speicher. 
http://material.htlwien10.at/FTKLDatenblaetter/RAM...

Also so wie ich das verstanden habe kann das REM ein Frame Store, aber 
dabei wird nur das Bild für den Monitor gespeichert und das sind 512x512 
Pixel. Ein volles Bild mit maximaler Auflösung im Photo Modus hat 
2048x2048 Pixel, bräuchte also 4 MBytes Speicher. Ich glaube nicht, dass 
das intern irgendwo gespeichert ist sondern, dass im Photo Modus die 
Probe nochmal abgescannt wird.

Ein Speicherstein hat 64kBit, also 4MByte/64kBit = 512. Und so viele 
Speichersteine sehe ich nicht im Schaltplan. In der Auflistung der 
Bauteile finden sich aber 32 RAM Bausteine, das passt zu (32*64*1024 
Bit)/(8 Bit je Pixel) = 512*512 Pixel.

Will man also die volle Auflösung geht das nur wenn gescannt wird. Wie 
weiter oben geschrieben könnte man das selber vielleicht noch besser 
machen, also das Signal mit mehr Bits oder schneller sampeln und so 
Rauschen reduzieren.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Gustl B. schrieb:
> Ein Speicherstein hat 64kBit, also 4MByte/64kBit = 512. Und so viele
> Speichersteine sehe ich nicht im Schaltplan. In der Auflistung der
> Bauteile finden sich aber 32 RAM Bausteine, das passt zu (32*64*1024
> Bit)/(8 Bit je Pixel) = 512*512 Pixel.

Genau. Das ist die Bild in Bild Funktion, also man kann das Livebild
mit dem vorherigen Livebild überlagern usw.Da reichte wohl die Auflösung
von 512*512.Viel mehr können die Monitore auch nicht.

Eine neue Bildspeicherfunktion mit höhere Auflösung wäre natürlich 
klasse
und würde so ein altes Hightech-Gerät so richtig aufwerten.

Dann könnte ich anstatt der alten Monitore bessere HD-Monitore benutzen
oder zumindest SVGA.:)

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Das wäre schon ziemlich schick. Heutzutage könnte man auch problemlos 
diese Bildspeicherkarte neu bauen mit mehr Speicher, aber dann muss das 
REM das auch nutzen, sprich man müsste die Software im REM ändern.

Ich vermute in einem Hackerspace oder so würde man sich jetzt an die 
Arbeit machen, aber für mich ist das aus Zeitgründen zu umfangreich.

Wenn man irgendwie an die Ablenkspannungen und das Signal von der Probe 
rankommt dann wäre das auch anders machbar. Man digitalisiert die 
Ablenkspannungen sagen wir mit 10 Bits und das Signal von der Probe mit 
16 Bit, dann kann man ein FPGA nehmen mit 2MBytes RAM und schreibt 
einfach immer live die Pixel in den Speicher. Die beiden 10 Bit Werte 
bilden die Adresse in einem 1024x1024 Bild und da kommen dann die 16 Bit 
als Helligkeit rein. Man könnte dann noch eine Funktion einbauen die auf 
Knopfdruck oder so den Speicher mit Nullen überschreibt. Man könnte das 
Dignal schnell abtasten und so viele Sampels/Pixel bekommen und die 
Werte mitteln, ...
Dazu müsste man nur passiv ins REM eingreifen und keine Software dafür 
schreiben. Man müsste aber mehr Hardware bauen, man ersetzt auch nicht 
einen Monitor vom REM sondern stellt noch einen dazu. Ob man die ganzen 
"Metadaten" vom REM bekommt wie die aktuelle Vergrößerung ist auch 
unklar ...
Für Bastler und Hardwarehacker ist das bestimmt eine Goldgrube.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Schau mal hier.

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Ui schick, also slow scan ist wohl das Photo. Was da aber jetzt wie 
sinnvoll ist weiß ich nicht ... hm, das musst am Ende Du herausfinden. 
Ich werde zwar an der Uni fürs Basteln bezahlt, aber jetzt wo das REM 
dort Bilder über USB liefert ist das eigentlich abgehakt.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Kein Problem, ich will dich nicht nerven.;)
Du hast mir erstmal die Augen geöffnet und finde es gut das du uns mit 
deinem Fachwissen weiter hilfst.Ich komme jetzt viel besser mit dem 
Schaltplan klar und weiß jetzt wo ich ansetzen muß.
Ich habe mich jetzt auch mal mit den FPGA Grundlagen beschäftigt.
Z.B. parallele Datenverarbeitung,unterschiede zwisch MC, RISC, usw. 
SPS-Steuerungen so wie ich sie programmiere, arbeiten Zyklisch. Für Rem 
Anwendungen viel zu langsam.Progammiert wird in FUP,KOP,AWL oder SCL.
Ich freue mich schon auf dein Board.Wenn die Tage jetzt wieder länger 
werden, werde ich mich weiter um die Inbetiebnahme meines Rem´s kümmern.

Vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Ach Du nervst doch nicht. Ich finde das sehr gut, dass Du etwas lernen 
willst, aber sei gewarnt, das Hobby mit den FPGAs hat eine sehr steile 
Lernkurve, ist sehr interessant und macht süchtig.

Das eigentlich geniale daran ist, dass man nicht programmiert wie auf 
CPUs in C oder so, sondern man beschreibt Hardware und denkt eigentlich 
in Logik. Das funktioniert im FPGA dann auch wie richtige Hardware, also 
parallel und so, da kann man sich quasi seine eigenen ICs bauen.

Autor: Harald Wilhelms (wilhelms)
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Jürgen S. schrieb:

> Super! Solche Bilder haben mich immer schon fasziniert. Das müsste man
> jetzt noch 3D haben, also eine zweite Aufnahme mit minimal gedrehtem
> Objekt.

So etwas wurde in unserem Labor gemacht. Ein Kollege von mir
hat damit promoviert.

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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So, auf Grundlage der Bilder und Dinge die ich noch hier daheim habe, 
habe ich mal ein erstes Layout gebastelt. Die Abmaße weiß ich nicht 
sicher, aber ich glaube die Platine ist 10 cm breit.
Weil ich nur die gratis Eagleversion habe, ist die Platine dann aber nur 
8 cm lang. Funktionieren wird sie aber trotzdem.

Wenn ich die Pinbelegung an der funktionierenden Karte überprüft habe 
lasse ich diese neue Platine fertigen.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Gustl

Ich sehe, du bist schon fleißig bei der Arbeit. Sieht schon sehr gut 
aus.
Echt klasse.

Ich bin mal auf die Endversion gespannt.
Meine IBN vom Rem  macht auch Fortschritte.
Ich plane das alles in 2-3 Wochen wieder läuft.
Das Auspumpen des Rem´s, nach so langem Stillstand, wird sicherlich
1 Woche dauern.

Vg Sunny

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Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo

Ich habe heute mal meine Vakuumanlage, die ich für das Rem
brauche getestet.

Das grüne Gerät links im Video ist die 2 Stufige Vorvakuumpume mit einer
Saugleistung von 16m³/h und einem Theoretischen End-druck von 4x10hoch-4 
mbar. Diese Pumpe ist über Schläuche mit der Balzers TPU-240 Turbopumpe
verbunden. Die Turbopumpe hat eine Saugleistung von 240l /s und einen 
Theoretischen End-Druck von 1x10hoch -10 mbar.

Ich messe das Vakuum vor der Turbopumpe und nach der Turbopumpe.

Der Vakuumsensor auf der Turbopumpe ist leider nicht für Ultrahochvakuum
geeignet, aber zum Testen reicht er mir erstmal. Das wirkliche Endvakuum 
ist um mehr als 3 Potenzen höher, ca. 3x10hoch-6 mbar.

vg Sunny

Autor: Andreas Schweigstill (Firma: Schweigstill IT) (schweigstill) Benutzerseite
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Hast Du bei dem Aufbau wirklich ein Blech mit mittigem Loch zwischen die 
Ansaugöffnung der Turbopumpe und das Druckmessgerät gelegt? Dienen nur 
O-Ringe zur Abdichtung?

Dann dürfte es auch kein Wunder sein, warum Du kein besseres Vakuum als 
die dargestellten ca. 1,8 * 10^-3 mbar erhältst. Oder ist diese 
Konstruktion wirklich so dicht, dass sie 10^-6 mbar schafft?

Läuft die Turbopumpe eigentlich komplett hoch oder schaltet sie bei 
dauerhaft so hohem Druck irgendwann (> 1h) ab?

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Bei unserem Gerät an der Uni läuft die Turbopumpe dauerhaft.

Autor: Torstensc (Gast)
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Die Turbopumpe muss immer laufen. Der Druck wird ja nicht wirklich 
höher. Es geht dann nur noch um einzelne Moleküle. Je länger die läuft 
desto besser das Vakuum. Wenn das Gerät lange abgeschaltet war gasen die 
Materialien noch ewig aus. Bei unserem REM hatte mal ein Spezi gedacht 
besonders gründlich die Probenträger mit Ethanol zu reinigen. Wir haben 
dann eine Woche gebraucht, um wieder auf das Vakuum zu kommen.
O-Ringe sind eigentlich bei richtigem Material genügend vakuumfest. Bei 
unserem TEM sind die Schleuse zum Probenträger, Kamera usw. auch nur mit 
O-Ringen gedichtet. Allerdings pumpen wir auch nur bis 10hoch-5, wenn 
alles super ist ohne Proben auch bis 10hoch-6. Wenn man allerdings eine 
LAB6 Kathode nutzt muss man mindestens 10hoch-7 haben. Die Geräte haben 
dann aber alle eine Ionengetterpumpe und meistens noch N2 Kühlung.

Torsten

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Andreas S. schrieb:
> Hast Du bei dem Aufbau wirklich ein Blech mit mittigem Loch zwischen die
> Ansaugöffnung der Turbopumpe und das Druckmessgerät gelegt? Dienen nur
> O-Ringe zur Abdichtung?

Ja. Die Anzeige für das Hochvakuum ist verstellt.
Auf der Rückseite befinden sich Potis zum justieren. Der Sensor muß auch 
noch kalibriert werden.

Tp. bleibt immer an. Wenn am Rem nicht gearbeitet wird, wird die TP. in 
einen StandBy Modus mit verringerter Drehzahl geschaltet.

Die O-Ringe bestehen aus Viton.

Ich benutze jetzt einen Vakuumsensor vom Typ Granville-Phillips Series 
390 Micro-Ion ATM ohne RS232.

Dieser Vakuumsensor deckt den kompetten Druckbereich für mich ab.
Also von 1015.0 mbar bis  1x10 hoch -10 mbar.
Der Sensor gibt eine Spannung zuwischen 0-10v aus.

Nach diesen Formeln kann der Druck berechnet werden.

Ich hatte am Fluke 105 B Series II eine Spannung von 3.300V gemessen

P vacuum Torr = 10[(2 × Vout) – 11]
P vacuum mbar = 1.33 × 10[(2 × Vout) – 11]
P vacuum Pa = 133 × 10[(2 × Vout) – (11)]


Vg Sunny

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Autor: Andreas Schweigstill (Firma: Schweigstill IT) (schweigstill) Benutzerseite
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Dass die Turbopumpe eingeschaltet bleiben soll, ist mir auch klar. 
Einige Pumpen mögen es aber nicht, über zu lange Zeit mit zu hohem Druck 
(eingangsseitig oder ausgangsseitig) beaufschlagt zu werden, weil sie 
sich sonst überhitzen können. Ich kann mich noch sehr genau daran 
erinnern, dies bei einer für die Größe des Vakuumrezipienten völlig 
unterdimensionierten Turbopumpe von Balzers gesehen zu haben.

Der nächste Druckstoß kam dann beim Einschalten der Ionengetterpumpe 
(Perkin Elmer). Dieser war zwar nicht so stark, dass dadurch die 
Turbopumpe abschaltete, aber häufig wurde beim Einschalten so viel Dreck 
in die Kammer abgegeben, dass dann gleich ein Plasma zündete und man 
schleunigst die Pumpe wieder ausschalten musste. Mit ziemlich hoher 
Wahrscheinlichkeit war dann auch wieder der eine oder andere FET in der 
Eingangsstufe eines Vakuummessgeräts (Perkin Elmer) hinüber und musste 
getauscht werden. Zum Glück gab es eine Ersatzelektronik, die dann im 
Wechsel verwendet werden konnte. Die Titansublimationspumpe, auf die 
unser Professor so schwor, war aber eine noch größere Dreckschleuder. 
Deswegen war es recht wichtig, sie schon früh beim Abpumpen der Kammer 
mit geringem Strom vorzuheizen, so dass sie gut ausgasen konnte. Vor dem 
eigentlichen Einsatz, d.h. nur für wenige Sekunden vor einer Messung, 
musste sie aber wieder vollständig abgekühlt sein.

Die Ursache für die ganzen obigen Probleme bestand darin, dass der 
Professor unserer Arbeitsgruppe die ganzen Vakuumkomponenten bei Rudis 
Resterampe (einem schwedischen Elektroschrotthändler, der sich auf die 
Demontage großer Vakuumanlagen spezialisiert hatte) kaufte, d.h. es 
waren ziemlich antiquierte und abgenutzte Geräte, die anderweitig schon 
ausgemustert waren. Der große Vorteil bestand für mich als Diplomand 
darin, dass ich innerhalb kürzester Zeit jedes Gerät von außen *und 
innen* kennenlernte.

Immerhin waren die beiden Turbopumpen (siehe oben) einigermaßen neu, 
d.h. natürlich schon längst aus der Wartung, aber trotzdem noch locker 
zehn bis zwanzig Jahre neuer als der Rest. Die Pumpensteuerungen hatten 
ein kleines thermisches Problem, d.h. es befand sich in der Kassette mit 
dem Wechselrichter auch ein kleiner Printtrafo, der gerade bei 
ausgeschalteter, aber an der Netzspannung angeschlossener Pumpe häufig 
durchbrannte. Ich hatte ziemlich bald Übung darin, die Kassette 
auszubauen, zu zerlegen und den Trafo zu wechseln.

Autor: Andreas Schweigstill (Firma: Schweigstill IT) (schweigstill) Benutzerseite
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Torstensc schrieb:
> O-Ringe sind eigentlich bei richtigem Material genügend vakuumfest.

Ja, Viton ist dafür schon geeignet, zumindest dann, wenn man die damit 
abgedichteten Flansche nicht ausheizen muss. Bei meinen Fragen ging es 
primär auch nicht um die Eignung des Materials, sondern die konkrete 
Umsetzung, d.h. ein vergleichsweise dünnes Blech, welches sich durch den 
von außen wirkenden Luftdruck auch schon ordentlich verziehen könnte. 
Dass ein O-Ring, der in die hierfür passende Nut eingelegt ist und nicht 
zur Seite ausweichen kann, ist schon klar.

Ich habe es aber auch schon erlebt, dass Leute eine Vakuumkammer an 
einem Schwerionenbeschleuniger mit einem Ring aus Knetgummi und einem 
ziemlich dicken Blech verschlossen hatten. Erstaunlicherweise 
funktionierte da sogar einigermaßen, allerdings wurden die Ventile zum 
eigentlichen Schwerionenbeschleuniger auch nicht geöffnet.

Autor: Mar. Wa. (Firma: Dipl.-Ing.) (elektrowagi78) Benutzerseite
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Könnte man damit auch Hybird-Platinen und -Chips untersuchen? ODer 
leiden die im Vakuum?

Autor: Andreas Schweigstill (Firma: Schweigstill IT) (schweigstill) Benutzerseite
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Je nach Wassergehalt der Leiterplatten und Kunstoffgehäuse kann das 
Trocknen schon einige Zeit dauern. Das, was die Funktionsfähigkeit ggf. 
deutlich stärker einschränken könnte, ist die erforderliche 
Goldbedampfung (Sputtern) nicht hinreichend leitfähiger Teile. Das, was 
zeitraubend werden kann, sind Luftblasen, die z.B. beim Verpressen der 
Leiterplatte eingeschlossen werden, und dann ganz langsam ausgasen und 
das Vakuum über längere Zeiträume versauen.

: Bearbeitet durch User
Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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So, Platine wird gerade bei PCB-POOL gefertigt.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Gustl B. schrieb:
> So, Platine wird gerade bei PCB-POOL gefertigt.

Hallo Gustl B.

Das sind ja schöne Neuigkeiten. Wie geht es jetzt weiter?

vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Hallo, nun, wenn die Platine da ist, werde ich die bestücken, im REM 
testen, und wenn alles passt geht die zu Dir. Dann wird eine Zweite 
gefertigt und die kommt bei uns ins REM.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Danke Gustl

ich freue mich schon darauf.

Vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Hallo zusammen,
ich habe jetzt eine Platine bestückt, getestet und ... sie funktioniert 
nicht wie gewünscht.

Dann habe ich hier daheim mal die Pegelwandler einzeln getestet und sehe 
das Problem, kann es mir aber nicht erklären:

Pegelwandler sind diese hier:
http://www.onsemi.com/pub_link/Collateral/MC74LCX541-D.PDF
Schaltplan ist im Anhang.

Problem: Wenn ich an einen Eingang vom Wandler/Buffer ein Signal anlege, 
dann sehe ich das nicht nur auf dem zugehörigen Ausgang, sondern auch 
auf allen anderen Ausgängen dieses ICs. Versorgungsspannung sind 3,3V 
und der Buffer macht auch schön aus einem 5V Sinus am Eingang einen 
Rechteck am Ausgang, aber eben an allen Ausgängen.
Was mache ich falsch?

Vielen Dank!

Autor: Alfons (Gast)
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Gustl B. schrieb:
> Versorgungsspannung sind 3,3V
> und der Buffer macht auch schön aus einem 5V Sinus am Eingang einen
> Rechteck am Ausgang, aber eben an allen Ausgängen.
Hast Du mal an allen Pins nachgemessen?
Liegt GND auch wirklich bei 0V?
Mir fallen eigentlich nur die 10µF als Stütze auf, üblich sind ja eher 
100n...

Autor: Burkhard K. (buks)
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Ist U1 ein Festspannungsregler? Frage nur, weil der mit GND verbundene 
Pin die Bezeichnung "Adj" trägt.

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Ja, ist ein AMS1117 3,3V.

So, also ich weiß nicht ob das der Grund war, aber ich hatte ein krasses 
Rauschen auf der Versorgung. Aus dem Labornetzteil kam das ohne 
rauschen, vor dem LDO (AMS1117) auf der 5V waren das rechteckige Peaks 
nach unten. Gemessen am JP6. So ca. 100 bis 500 mV mit grob 5kHz.
Hinter dem LDO auf den 3,3V war dann ein Sägezahn der gleichen Frequenz. 
Also ein richtig schöner Sägezahn mit rund 100 - 200 mV.

So, was habe ich gemacht? Erstmal echt viel Entlötlitze verbraten, und 
Stück für Stück Teile weggenommen und dann wieder draufgesetzt.
Zunächst habe ich die 2x 47uF weggenommen, Rauschen war noch da, dann 
die 10uF an den Buffern gegen 100nF getauscht. Immer noch da. Dann die 
22uF am Eingang weggenommen. Rauschen ist dann MEISTENS weg. Aber 
manchmal direkt nach dem Einschalten da, verschwindet aber sofort wenn 
ich eine Leiterbahn der Versorgung berühre. Dann wieder einzeln die 47uF 
draufgetan, Rauschen ist dann dauerhaft da. Geholfen hat ein 100uF Elko 
an der Stelle wo vorher ein 47uF Kerko saß und zwar der hinter dem LDO 
(C2).

Für mich war das jetzt ziemliche Magie und eigentlich will ich das 
verstehen. Da hat sich vermutlich irgendeine Resonanz oder so gebildet, 
aber wodurch? Wie kann man das schon beim Platinenlayout oder sogar beim 
Zeichnen vom Schaltplan vermeiden?

Wenn ich morgen wieder ans REM darf werde ich dort erneut testen.

Edit:
Und noch eine Frage:
Oft sieht man ja in Datenblättern die Empfehlung Tantal Kondensatoren zu 
verwenden zusammen mit einem kleinen Keramik Kondensator. Haben Tantal 
Kondensatoren bessere Eigenschaften als gleich große (Kapazität) Keramik 
Kondensatoren?

: Bearbeitet durch User
Autor: Andreas Schweigstill (Firma: Schweigstill IT) (schweigstill) Benutzerseite
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Kapazitive Ausgangslasten stellen ein grundsätzliches Problem aller 
Regler dar, d.h. auch bei Spannungsreglern. Um eine optimale Dämpfung 
einer möglichen Schwingneigung zu realisieren, müssen bei den meisten 
Spannungsreglern die ausgangsseitigen Abblockkondensatoren zwar 
möglichst dicht am Regler angebracht sein, dürfen aber keinen zu 
niedrigen ESR aufweisen. Ich habe zwar nicht ins Datenblatt des AM1117 
geschaut, aber beim äquivalenten TLV1117 steht:

"The TLV1117 is designed to be stable with tantalum and aluminum 
electrolytic output capacitors having an ESR between 0.2 Ω and 10 Ω."

Bei Keramikkondensatoren liegt der ESR aber für hohe Frequenzen deutlich 
darunter. Ggf. kann man einen Serienwiderstand, z.B. mit 0R, vorsehen. 
Von AVX gibt es Tantalkondensatoren mit wohldefiniertem ESR, d.h. z.B. 
100uF/4V in den Abstufungen 200mR, 250mR, 350mR, 500mR.

http://datasheets.avx.com/TPS.pdf

Der Grund für die dichtestmögliche Anbringung der Kondensatoren am 
Ausgang liegt nicht etwa darin, eine möglichst geringe reelle Impedanz 
zu erzielen, sondern die Zuleitunginduktivität zu minimieren und damit 
eine so hohe Resonanzfrequenz des LC-Schwingkreises zu schaffen, dass 
der Spannungsregler da eh nicht mehr verstärkt.

Viele moderne Spannungsregler, wozu der AMS/TLV1117 aber nicht mehr 
gehört, sind aber auch explizit für niederohmige Keramikkondensatoren 
spezifiziert.

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Vielen Dank für die Erklärung! Dann werde ich in Zukunft also lieber 
Tantal auf Platinen bauen statt Keramik. Keramik finde ich ganz nett 
weil die recht klein sind. Wie sieht es dann aus mit einem Tantal und 
mehreren kleinen Keramik parallel? Also für die ESR, das ist ja ein 
Widerstand, wenn ich also mehrere kleine Keramik zusammen mit einem 
großen Tantal/Elko anschließe, dann ist das eine Parallelschaltung und 
am Ende wird das gesamt ESR noch kleiner?! Lieber weniger Kondensatoren, 
dafür nahe ran an die Quelle und auch noch große Kapazität?

Autor: Andreas Schweigstill (Firma: Schweigstill IT) (schweigstill) Benutzerseite
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Man sollte die Kondensatoren in der Nähe der Spannungsregler 
entsprechend der Datenblattempfehlungen auswählen. Wie oben erwähnt, 
gibt es da beträchtliche Unterschiede. Für die Kondensatoren in der Nähe 
der versorgten Komponenten ist ein möglichst geringer ESR essentiell. 
Wenn jedoch bei einem hinreichend gedrängten Aufbau der Spannungsregler 
und die versorgten Komponenten sehr dicht beeinander liegen, muss man 
schon einen geeigneten Kompromiss finden.

Mittlerweile bin ich dazu übergegangen, recht großzügig Ferrite zur 
Entkopplung einzusetzen, d.h. teilweise bis auf Bauteilebene hinunter. 
Dann kann man großzügig mit Keramikkondensatoren arbeiten, ohne die 
Schwingneigung des Spannungsreglers zu erhöhen.

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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OK, nochmals vielen Dank! Ferritperlen sind tatsächlich sehr nützlich 
und auch schön klein. Werde ich in Zukunft auch mehr verbauen.

Wie ist das mit Tantal, ich hörte mal die gehen schnell kaputt wenn man 
die zum Filtern verwendet, mir ist dann auch selber mal einer abgeraucht 
der die Eingangsspannung aus einem Steckernetzteil vor dem LDO glätten 
sollte, das war auch ein Grund wieso ich die gemieden habe. Vor allem 
nach dem Abrauchen war die Verbindung nicht offen sondern Kurzschluss. 
Ist es da sinnvoll einen klassischen Elko-Topf (Alu) zu verwenden?

: Bearbeitet durch User
Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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So, heute wieder getestet und selber Fehler. Ich habe diese Buffer im 
Verdacht.
Wieso sehe ich auf Ausgängen das Eingangssignal eines anderen Eingangs? 
Ich verstehe ja, dass wenn ein Eingang in der Luft hängt, da irgendwas 
ist, aber dann soll am Ausgang auch irgendwas sein und nicht das schöne 
Signal wie am richtigen Ausgang daneben.
Die Eingänge stecken im REM, da habe ich keinen Einfluss auf di Signale, 
ich kann also auch keinen Pullup oder Pulldown einbauen. Was macht man 
da? Gibt es andere Buffer die das Verhalten nicht zeigen? Soll ich doch 
wie schon auf der Lochrasterplatine Pegelwandler aus Spannungsteilern 
bauen?

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Gustl B. schrieb:
> Die Eingänge stecken im REM, da habe ich keinen Einfluss auf di Signale,
> ich kann also auch keinen Pullup oder Pulldown einbauen.

Ich merke gerade, dass Spannungsteiler mit 680Ohm und 1kOhm natürlich 
auch Pulldowns sind. Also in Rev. B werde ich jeden Eingang vor dem 
Buffer mit Pulldown versehen ...

Wie ist das generell bei unbekannten Schaltungen, kann man da 
bedenkenlos einen Pulldown ranhängen? Was ist da eine vernünftige 
Größenordnung? 10kOhm?

Autor: Göran (Gast)
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Gustl B. schrieb:
> Wie ist das generell bei unbekannten Schaltungen, kann man da
> bedenkenlos einen Pulldown ranhängen? Was ist da eine vernünftige
> Größenordnung? 10kOhm?
Generell ist es schwierig bei unbekannten Schaltungen, kann ja sein das 
da jemand 'ne Hochspannungsquelle oder Netzspannung (mit sehr niedrigem 
Innenwiderstand) drauf gibt.

Vom Gefühl her, würde ich eher zu Pullups tendieren, weil 
Open-Collector-Ausgänge doch eine gewisse Verbreitung gefunden haben.

Ansonsten sind 10k schon mal ein guter Startwert.
Wenn man digitale Ausgänge von Chips schützen möchte, helfen auch noch 
200 Ohm in Reihe. Falls doch jemand auf der anderen Seite mit dem 
falschen Pegel dagegentreibt, bleibt der Strom in ungefährlichen 
Regionen.

Letztendlich werden auch gerne noch zwei Dioden verbaut (z.B. BAV199), 
um Überspannung und Unterspannung vom Eingang abzuhalten und auf Vcc 
bzw. GND abzuleiten (dort kann sie ggf. trotzdem Schaden anrichten).

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Vielen Dank! Mit 200Ohm in Reihe und 10kOhm Pulldown brauche ich wieder 
massig Widerstände. Da kann ich gleich die Buffer ICs weglassen und 
Spannungsteiler bestücken. Mal gucken, gestern habe ich Spannungsteiler 
draufgelötet auf die Pads von den ICs was recht fieselig war und wenn es 
so funktioniert bekommt Rev. B Pulldowns und Buffer.

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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So ... also nach doch längerer Fehlersuche bin ich fündig geworden in 
meiner Hardwarebeschreibung. Die Platine funktioniert wunderbar wenn man 
etwas andere Kondensatoren bestückt. Keine Pullup/downs, keine 
Serienwiderstände, nur die Leitungstreiber als Pegelwandler drauf.

Weil ich jetzt doch sehr an den Platinen rumgelötet habe, werde ich die 
Tage neue fertigen lassen.

Aber weil das so krasse Fehler im HDL Design waren frage ich mich jetzt 
doch sehr wieso das jemals überhaupt funktionierte.

Autor: Andreas Schweigstill (Firma: Schweigstill IT) (schweigstill) Benutzerseite
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Gustl B. schrieb:
> OK, nochmals vielen Dank! Ferritperlen sind tatsächlich sehr nützlich
> und auch schön klein. Werde ich in Zukunft auch mehr verbauen.

Robert Feranec hat sich in seinem sehr lesens- und sehenwerten Fedevel 
Welldone Blog kürzlich auch darüber ausgelassen:
http://www.fedevel.com/welldoneblog/2017/02/tip-03...

> Wie ist das mit Tantal, ich hörte mal die gehen schnell kaputt wenn man
> die zum Filtern verwendet, mir ist dann auch selber mal einer abgeraucht
> der die Eingangsspannung aus einem Steckernetzteil vor dem LDO glätten
> sollte, das war auch ein Grund wieso ich die gemieden habe. Vor allem
> nach dem Abrauchen war die Verbindung nicht offen sondern Kurzschluss.
> Ist es da sinnvoll einen klassischen Elko-Topf (Alu) zu verwenden?

Tantalkondensatoren mögen keine hohe thermische Belastung durch hohe 
Stromstöße o.ä.. Daher eignen sie sich nicht als Glättungskondensatoren 
zwischen Gleichrichter und Spannungsregler. Ebenso soll man sie auf 
Grund starken Spannungsabhängigkeit der Kapazität als 
Koppelkondensatoren in Audiosignalwegen o.ä. einsetzen, zumal hier beim 
Einschalten oder Ausschalten des Geräts auch kurzzeitig Verpolungen 
auftreten können, die ein Aluminiumelko locker wegsteckt.

Wie man aber anhand des Datenblatts von AVX sieht, kann man aber 
offenbar Tantalkondensatoren mit sehr wohldefiniertem ESR herstellen, 
denn ansonsten gäbe es nicht ansonsten baugleiche Ausführungen in 
mehrere Abstufungen. (Oder streut der ESR besonders stark und 
anschließend wird deswegen selektiert?) Die Kapazität stellt in 
Serienschaltung mit dem ESR ein Boucherotglied dar und dämpft damit 
unmittelbar auftretende Schwingungen.

Ich habe keine Ahnung, ob die Ausfallwahrscheinlichkeit mit Kurzschluss 
und Abbrennen bei sachgemäßer Verwendung von modernen 
Tantalkondensatoren immer noch so deutlich erhöht ist wie früher. Ggf. 
hat man heute die Materialien auch gut im Griff, so dass es sich bei den 
Erfahrungsberichten teils um uralte Kamellen handelt ("Damals, als 
Faraday, Tesla und ich zusammen beim Kaffeekränzchen saßen und unsere 
allerersten Tantalkondensatoren mit der Nagelfeile aus Coltanbrocken 
feilten.") oder um zeitgenössische Erfahrungen mit Tantalelkos, die 
schon dreißig Jahre in der Bastelschublade lagen oder vor zehn Jahren 
aus einem zwanzig Jahre alten Gerät ausgebaut wurden.

Autor: Techniker (Gast)
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Hallo,

ich würde gern meine Hilfe zu techn. Fragen am REM anbieten,
bin per Zufall auf das Forum gestoßen.
Eine einfache Möglichkeit die hohe Auflösung der Fotoeinheit
auszunutzen ist der Aufsatz einer digitalen Kamera aus welcher man dann
die Bilder per USB ausliest. Der richtige mechan. Adapter ist da 
Voraussetzung, den gab es aber bei Zeiss. Dies wird an einigen Geräten 
so genutzt.
Man kann auch den Bildspeicher direkt anzapfen, aber nur die aktuell
eingestellte Auflösung abgreifen. Dann gibt es einige Firmen, welche ein
externes Bildeinzugssystem anbieten, Voraussetzung dafür ist das 
sogenannte
Externscaninterface, welches aber am REM dran sein sollte, da ein WDX
mit angebaut war oder ist. Aber das Problem ist vielleicht nicht mehr 
relevant, habe nicht das ganze Forum durchgelesen.
Wenn es spezielle Fragen gibt, kann ich versuchen weiter zuhelfen,
möchte mich aber nicht aufträngen, es sind ja auch schon andere 
sachkundige
Ratgeber zu Gange.

viele Grüße  Max

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Hallo Techniker,

meine Lösung ist eine Steckkarte für das REM die die Signale die zur 
Photoeinheit gehen abgreift und zwar vor dem DA-Wandler, also in 
ordentlicher Qualität. Jetzt nachem ich Bugs in der HDL behoben habe 
funktioniert das zuverlässig, die Tage werde ich neue Platinen fertigen 
lassen und bestücken.

Autor: Techniker (Gast)
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Hallo Gustl,

das Bild via Framegrabber zu generieren ist natürlich die elegantere und 
technisch die saubere Lösung, die Übertragung der Bildinformationen zur 
Fotoeinheit erfogt aber in drei Schritten:

1. das reine Bild
2. die Datenzone
3. die Overlays (Beschriftung Vermessung)

Auf Schritt zwei und drei kann oder muss mann dann verzichten und die 
Bilder
eben nachbearbeiten.
Oder  man bringt den Framegrabber dazu drei Bilder nacheinander 
aufzunehmen
und diese überlagert man dann.
Die D/A-Wandlung erfolgt auf dem sogenannten Recordwandler.
Die Eingänge der Fotoeinheit sind  rein analog.
Die Fotoeinheit ist/war von LUCIUS und BAER in Geretsried,
man sicher noch Unterlagen/Schaltpläne auftreiben.

viele Grüße   Max

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Das ist spannend!

2. die Datenzone
3. die Overlays (Beschriftung Vermessung)

Weißt Du wie da das genaue Datenformat an den AD-Wandlern ist? Ich habe 
bisher 2 DA Wandler, einmal Pixelposition horizontal, Pixelposition 
vertikal (beide je 11 Bits) und einmal die Pixelfarbe/Helligkeit selbst 
in 8 Bit.

Und richtig, nach der Ausgabe des Bildes wird noch "wirres Zeug" 
ausgegeben das ich aber nicht wirklich darstellen kann weil ich nicht 
weiß wie es aufgebaut ist. Über Hinweise bin ich sehr Dankbar!

Autor: Techniker (Gast)
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Hallo  Gustl,

da muss ich mal nach dem Schaltbild des Recordwandlers schauen, aber
ob da etwas über das Datenformat abzuleiten ist kann ich noch nicht 
sagen,
ich gehe mal suchen. Bis später.

Autor: Techniker (Gast)
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Hallo Gustl,

schick mir bitte deine PM-Adresse,
dann lasse ich dir ein Schaltbild zukommen.
Es ist aber reine Hardwareinformation.

max725000@googlemail.com
Gruß Max

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Gustl, und alles Mithelfer,


ich bin wieder im Land.(Ich war für mehrere Wochen zur IBN im Ausland)

Elektronik hat schon seine Eigenheiten. Aber ich sehe du bist auf
einem guten Weg.
Wenn ich dir noch irgendwie helfen kann, z.B. mit Schaltplänen oder
ähnliches. Melde dich einfach.

Die IBN vom Zeiss geht auch voran.
Eine neue Zuleitung (3Ph) wurde installiert(Netzversorgung).
Die vorhandene Stromleitung ist nur 1 Phasig und wird über einen 
Wechselrichter von Batterien versorgt.
Die Batterien werden von einer 3kw Solaranlage aufgeladen.
Im Winter ist es immer ein bisschen schwierig, die Batterien mangels 
Sonne
voll zubekommen. Zur Not steht immer ein Dieselgenerator zur Verfügung.
Ein Umlaufkühler wurde angeschafft.(Um Wasser zu Sparen)

Mein Ziel ist es, das Zeiss Ende Februar Anfang März in Betrieb zu 
nehmen.
Wie ist deine Einschätzung mit der Fertigstellung deiner Platine?

Letztes Wochenende habe ich mal den Sputter und meine CPD Anlagen 
getestet.
Mit dem Sputter habe ich eine Petrischale mit Gold beschichtet. Später 
sollen hier mal nicht leitende Materialen(Insekten, Kunststoffe usw.)
mit einer leitenden Goldschicht überzogen werden. Es scheint gut zu 
Funktionieren.
Mit dem CPD habe ich mal CO² in den Kritischen Punkt gebracht.
Macht schon Spaß.


Ansonsten gutes Gelingen und vielen Dank.

Vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Hallo, ja die Platine ist eigentlich fertig, muss ich eben noch fertigen 
lassen. Das werde ich die Tage dann machen und bis spätestens Mitte März 
sollte alles bei mir sein.

Hast Du das Teil bei dir daheim stehen? Ist schon ziemlich cool ...

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Gustl B. schrieb:

Super

> Hast Du das Teil bei dir daheim stehen? Ist schon ziemlich cool ...


Naja fast. Als unsere Tochter geboren wurde musste ich (habe ich)
mein Arbeitszimmer (Hobbyzimmer) zum Kinderzimmer umgebaut.

Durch Zufall wurde ein kleines altes Haus in der Nähe frei.
Dorthin ist jetzt mein Arbeitszimmer (Hobbyzimmer) gewandert.

Dort bastele ich halt. Ich komme auch günstig an die ganze
Technik ran. Gestern habe ich einen Cascade Summit 12000 Wafer Prober
bekommen. Mit Mikroskop Olympus ZS60.
Das ganze steht auf einer 20 cm dicken Granitplatte mit aktiver 
Pneumatik Dämpfung. Wafer werde ich bestimmt nicht Prüfen aber wer weiß, 
für was der
noch zu gebrauchen ist. Zum weckschmeißen einfach zu schade.
Für die ganzen Geräte hätte mein altes Arbeitszimmer sowieso nicht mehr
gereicht. :)

vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Wenn ich groß bin will ich auch ein Haus nur für mein Hobby. Am besten 
am Meer mit Strand.

Platine wurde heute bei PCB Pool bestellt, ist also in zwei Wochen hier 
und bestückt.

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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So, war heute wieder am REM und habe mal eine komplette Foto-Übertragung 
aufgenommen und schön parsbar als Text gespeichert. Das liegt jetzt 
hier:
https://gus.tl/offen/REM_Pixel.txt

Eine Zeile ist ein Pixel. Zuerst kommt die Pixelhelligkeit, dann die 
horizontale Position und dann die vertikale Position. Das Bild fängt 
oben links bei 0,0 an.

Ein Pythonskript https://gus.tl/offen/rem_text_decode.py liest das .txt 
ein, schreibt die Pixel in ein großes Array und speichert das dann als 
unkomprimiertes .png.

https://gus.tl/offen/REM_bild.png

Da sieht man schön mehrere Raster aus schwarzen Punkten. Diese werden 
nach dem eigentlichen Bild noch übertragen. Also nach dem Bild werden 
noch viele Pixel mit Helligkeit Null übertragen. Ich weiß nicht was 
diese Pixel noch bedeuten, sind das die Metadaten wie Vergrößerung und 
so?

Viel Spaß beim rumspielen.

: Bearbeitet durch User
Autor: Max (Gast)
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Die Pixel nach dem eigentlichen Bild müssten die sog. Metadaten 
(µ-Marker, Mag-Faktor, Hochspannung, Arbeitsabstand) sein, sie müssten
allerdings mit der max. Helligkeit ausgegeben werden ?
Vermutlich kann man sie so nicht erfassen und als Schrift darstellen,
bei einem Foto spielt das keine Rolle, es ist zeitlich gesehen
eine zweite Belichtung an anderer Stelle, rechter Seitestreifen des 
Gesamtbildes.
Das REM hat eine RS232 worüber man mit einfachen ASCI-Befehlen
die Anwendungsdaten auslesen und bestimmt per Sofwarelösung dem Bild 
hinzufügen kann.


viel Erfolg !

Autor: Max (Gast)
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Könnte es sich mit den Metadaten so verhalten:
Es handelt sich am Ende um Schrift auf dunklen Hintergrund, da sind die
meisten Pixel dunkel, wenn man davon ausgeht, dass der Scan der 
Bildröhre kontinuierlich durchläuft und nur ein paar wenige Pixel hell, 
welche eben
die Schrift ausmachen.
Das wäre eventuell eine Erklärung für die vielen dunklen Pixel im 
Anschluss
des eigentlichen Bildes.

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Hallo, nein, da kommen am Ende nur dunkle Pixel. Aber die Idee mit der 
seriellen Schnittstelle ist gut, das werde ich mal untersuchen gehn ...

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Gustl

Schön das jetzt alles funktioniert. Tolle Arbeit.
Wie kann ich an eine von deinen Platinen kommen?.

Ich würde mit PayPal bezahlen.

Ich habe in der Zwischenzeit auch nicht geschlafen.
Einen ersten Testlauf meines DSM nach ca. 10 Jahren
ist sehr positiv verlaufen. Das ich nicht auf Anhieb
das richtige Vakuum erreiche war mir schon fast klar.
Ich bekomme noch keine Hochspannungsfreigabe, da
das Vakuum noch im Bereich von 10^-4 Dümpelt.

Darf man die Vakuumkammer vom DSM mit Heizbänder so auf 100°C
heizen, um ein besseres Vakuum zu erreichen?.

Ein kleines Video vom Testlauf hänge ich an.

Vg Sunny

: Bearbeitet durch User
Autor: Max (Gast)
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Guten Abend Sunny,
Wie es im Video aussieht, ist das Vakuumsystem noch auf Lab6 geschaltet,
da liegt die Hochspannungsfreigabe höher als bei 
Wolfram-Kathodenbetrieb.
Ist das Trennventil zum WDX und auch das By-Bassventil zum Kathodenkopf 
offen, das wirkt sonst wie ein gewaltiges Sackloch, Vorsicht beim 
Öffnen,
nur im belüfteten Zustand der Kammer, sonst geht das Fenster der 
Messkammer
im WDX hinüber.

Die Kammer kann man Heizen, ich würde aber nicht höher als max 80°C 
gehen,
wegen Farbe, Plastikteilen, Kabeldurchführungen usw.
Das Kammervakuum sollte spätestens nach 10h Pumpzeit im guten 
5x10-5-Bereich
sein, auch wenn es lange still gestanden hat.
Es könnte auch sein, dass die Penningmessröhre schmutzig ist, und 
dadurch schlechte Werte ausgibt.

Gutes Gelingen

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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In der Tat, das sieht schon recht professionell aus im Video. Wegen dem 
Heizen kann ich mal in der Uni fragen ob es da Meinungen gibt.

Die Platine kommt vermutlich morgen an, wird dann bestückt und natürlich 
getestet. Also so gegen Ende der Woche kann ich die verschicken. Paypal 
habe ich keines, aber meine Eltern vermutlich ... mal gucken.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Leute

Ich habe gestern angefangen oberhalb der Turbopumpe, dicht unter der 
Vakuumkammer zu Heizen. Leider wurde das Vakuum nach mehreren Stunden
nicht besser.

Ich hatte es mir vor meinem DSM gemütlich gemacht
und lass konzentriert die Bedienungsanleitung von meine DSM
als auf einmal Wasser aus der Säule über den Tisch auf den Fußboden
läuft..  Panik, Wasser Strom aaahhhh. Wo ist der Not-Aus??????????????

Alles gut, Keine Panik!!!!!!
Destilliertes Wasser Leitet den Strom sehr schlecht bis gar nicht!!



0. Strom AUS
1. Heizung Aus
2. Kühlwasser-Pumpe Aus
3. Schlüsselschalter DSM Aus
4. Vakuumpumpe Aus
5. Wasser Auffangen
6. Ursache?

Nach dem ich alles aufgewischt hatte suchte ich das Leck.
Als ich angefangen habe die Abschirmung zu demontieren, fand
ich eventuell die Ursache für das Vakuum-Problem.
Eine gebrochene Schelle unter dem Bypass Ventil der ION-Getter-Pumpe.

Nachdem ich fast die komplette Säule demontiert hatte, fand ich
das Kühlwasserleck. 2 Korrodierte sogenannte Push-In Fittings für
die beiden blauen Kühlwasserleitungen der Konzentrator-Spule.
Das werde ich heute auf der Arbeit Reparieren.

Ich habe noch ein Problem mit der Anode, die lässt sich nicht 
abschrauben.
Das Teil das unter dem Wehnelt Zylinder sitzt.
Hat jemand einen Tipp für mich.

Vg Sunny.

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Morgen bin ich wieder an der Uni, da werde ich fragen.

Autor: Max (Gast)
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Hallo Sunny,

die Anode sitzt manchmal recht fest, beim Einschrauben darf man sie nur 
ganz leicht andrehen.
Raus bekommst du sie nur mit einer Wasserpumpenzange mit Plastikwangen 
oder
einfach ein Tuch zwischenlegen, so dass keine Kratzer entstehen.
Ich habe auch schon gehört, dass jemand mit Zweikomponetenkleber einen 
Hebel angeklebt hat, den bekommt man dann wieder mit Wärme oder/und 
Azeton sauber ab.
Das Ausheizen würde sich nur im UHV-Bereich bemerkbar machen, der 
Anzeigebalken des Kammervakuums steht aber auf Rechstanschlag, also
im ganz unteren Bereich, es kann auch an der Umsetzung auf der 
Vakuumsteuerung liegen.
Den Analogwert der Penningmessröhre kann man an Messpunkten auf er 
Vakuumsteuerung abgreifen, da gibt es auf der Bestückungsseite am 
unteren
Rand in der Mitte vier Stecklötösen, zwei davon sind Masse, die anderen 
zwei sind jeweils Kammervakuum (Penning)und Vorvakuum (Pirani).
Vorsicht beim Herangehen, daneben liegen 230Volt am Triac, welcher die 
Pumpen schaltet !!
Vorvakuum sollte weniger als 1Volt und Kammervakuum ich glaube weniger
als 5-6Volt sein. Da kann ich noch mal genau nach schauen.
Bei der Demontage der Säule hast du es hoffentlich nicht zu gut gemeint,
die verschiedenen Ebenen (Kondensor 1 und 2 und Objektiv) sind sehr 
genau
mechanisch zueinander justiert, wird da etwas verschoben, sind die 
Aussichten schlecht jemals wieder einen Strahl ordentlich durch zu 
bekommen.

Viel Erfolg

Autor: Max (Gast)
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Nachtrag:

Ich habe deine Bilder erst jetzt gesehen, du hast die Säule völlig 
zerlegt,
da können wir nur hoffen, dass du es rein zufällig wieder hin bekommst.
Hast du dir eventuell Markierungen angebracht ? Die Säulen wurden damals 
im Werk mit einer komplizierten Prozedur abgeglichen, ansonsten kommt 
entweder gar kein Strahl durch oder es schiebt alles total bei Änderung 
der Spotsize bzw. beim Fokusieren.

Autor: Max (Gast)
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noch ein Nachtrag:

Bei solch einem Wasserleck läft auch das Objektiv von oben voll Wasser,
falls es noch auf der Kammer sitzt muss du es rausschrauben und 
auskippen,
sonst korrodieren die Spulen.

Autor: Torsten Schwalm (torstensc)
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Wenn du schon dabei bist... Tausche alle blauen Schläuche aus. Da wurden 
gern die normalen Festo-Schläuche verwendet. Wenn du jetzt irgendwo dran 
wackelst brechen die an den Fittings oder bekommen Risse. Auf dem Bild 
DSC_0064 sieht man das sehr gut wie der Schlauch angefressen ist. Schaue 
mal nach, ob du wirklich Aqua-Dest verwenden solltest. Bei unserem EM906 
hat das für erhebliche Korrosion an allen Alu-Teilen (Kühlkörper...) 
gesorgt. Ich verwende nur noch normales Leitungswasser. Da es ja 
praktisch nie getauscht wird macht der geringe Kalkanteil nichts aus. 
Zeiss sieht da auch kein Problem drin.
Ausheizen ist an dieser Stelle ziemlich sinnfrei. Wenn du eine 
Wolframkathode verwendest geht das auch mit viel niedrigerem Vakuum. Bei 
LAB6 müsste man evl. ausheizen. Wichtig ist, die Wolframkathode beim 
ersten mal langsam anzuheizen. In Stufen langsam bis zum Endstrom. So 
können alle Reststoffe langsam vom Wolfram abgasen, erhöht die 
Lebensdauer.

Torsten

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Leute

Danke für eure Ratschläge und Tipps.
Die Säule habe ich vor der Demontage markiert.
Ich hoffe das jetzt nicht alles verloren ist.
Hat noch jemand einen Tipp wie ich beim
zusammenbauen am besten vorgehen sollte?


Ganz wollte ich die Säule nicht auseinanderbauen.
Würde es nicht reichen wenn ich den unteren Bereich
der Säule mit Silka trockne?
Ich kann mir gut vorstellen das, wenn ich die Säule
komplett demontiere Garnichts mehr geht.
Und dann noch die Feuchtigkeit, die in die Vakuumkammer eindringen
kann.

Alle blauen Schläuche werde ich vorsorglich austauschen.

Mir bereitet die Anode noch sorgen. Wenn ich die nicht
auseinander geschraubt bekomme, kann ich die Anode nicht
mehr richtig auf die zusammengebaute Säule schieben.

vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Also für das Wehneltdingens gibt es anscheinend ein extra Werkzeug mit 
drei Zacken. Fotos kann ich am Donnerstag liefern.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Gustl B. schrieb:
> Also für das Wehneltdingens gibt es anscheinend ein extra Werkzeug mit
> drei Zacken. Fotos kann ich am Donnerstag liefern.


Danke brauchst du nicht, das Werkzeug habe ich.
Vg Sunny

Autor: Max (Gast)
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Hallo Sunny,

im Objektiv steht bestimmt richtig viel Wasser, das kannst du nur 
ausschütten,
dazu braucht man die Säule oder die Reste davon nur komplett von der 
Kammer
abschrauben und runterheben und umdrehen,dabei wird von der Justage 
nichts verstellt, wenn wirklich etwas Feuchtigkeit in die Kammer kommt, 
ist das vakuumtechnisch nicht schlimm, das ist spätestens beim Abpumpen 
ganz schnell wieder weg.
Die Schläuche werden brüchig, wenn der Kühlkreislauf mal heiss gelaufen 
ist,
dann brechen die wie Salzstangen.
Als Wasser nur normales Leitungswasser verwenden, sonst gibt es 
unangenehme
Erscheinungungen, genau wie es Torsten beschreibt. Es kommt dann immer 
noch so ein blauer Zusatz gegen Algenbildung und zugleich als 
Schmiermittel für die Umwälzpumpe rein.

Das  untere Ende des Strahlenganges (im Objektiv) besteht aus einem 
Glasrohr,
welches innen mit Grafit beschichtet ist, also Vorsicht, auch ein sehr 
neuralgischer Punkt.

Beim Zusammenbau der Säule gehst du einfach rückwärts vor, die Anode 
muss aber erstmal raus, darunter steckt noch der obere Teil des 
Strahlenganges (langes Kupferrohr mit 3 Blenden).
Darunter gibt es dann eine kleine Mutter und einen kleinen O-Ring.

Wenn alles wieder zusammen ist, erstmal die Verkleidung weglassen, so 
dass
du die Spulenebenen noch gegeneinander verschieben kannst, wenn nötig. 
An den Umfängen der einzelnen Ebene (in horizontaler Richtung) befinden 
sich Justierschrauben mit denen man die nötigen Justagen ausführen kann, 
wenn du diese nicht verdreht hast, kannst du hoffen, dass du es wieder 
hin bekommst. Ich schaue mal nach, ob ich irgendwelche Unterlagen dazu 
finde,
komme aber erst am Freitag dazu.

Autor: HsTR-st (Gast)
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Ich habe ein DSM 950 funktionsfähig im Labor stehen. Point Bilderfassung 
und EDX LN2. Steuerung über Rs232.
Das Gerät ist mit geringen Kosten abzugeben. Ich will es nicht 
ausschlachten, da es gut läuft und viele Jahre gutes Geld einbrachte.
Bein Interesse melden.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo HrTR-st

Hast du Fotos von deinem Dsm und was für
Preisvorstellungen hast du.

Joern1911@gmail.com

Vg sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Sagt mal jetzt sind das doch schon mehrere Leute die entweder ein REM 
besitzen oder sich damit extrem gut auskennen, wie weit verbreitet ist 
denn diese Baureihe?

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo

Na hoffentlich ganz viele.
An die Point Bilderfassung und EDX LN2 bin ich sehr stark Interessiert.

Vg

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Was ist denn diese "Point Bilderfassung"? Ist das sowas wie das was ich 
gebaut habe?

Autor: Clemens S. (zoggl)
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wo steht das Mikroskop und wieviel möchtest du haben?

sg & Danke

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Und noch ne Frage:

Irgendwo im REM kommen ja die Analogsignale an, werden digitalisiert und 
dann angezeigt (von mir ausgelesen).
Würde das Sinn machen das selber mit mehr Bits zu digitalisieren? Also 
sind die 8 Bit gut genug für die meisten Aufagen oder wären mehr doch 
sehr wünschenswert?

Autor: Max (Gast)
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Hallo Gustl,

Das WinDiss ist ein Bildeinzug mit einem externen Scangenerator, aus dem 
analogen Videosignal wird über die Syncsignale des externen Scans ein 
Bild generiert.
Das Ganze mit moderner Technik:
http://www.pointelectronic.de/produkte/diss-5/

Ich meine auch mit aktueller Technik wird nicht mit mehr als 8bit 
Graustufen gearbeitet.


@Hallo Sunny,

greife bei dem DSM950 zu, wenn du kannst, es ist fast baugleich mit dem 
960er, hat sicher nur einen ganz einfachen Probenhalter (keinen 
motorisierten Kreuztisch), eine kleine Kammer und keine LaB6-Option.
Die Elektronensäule ist idenditisch.

Gruß Max

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Interessant!

Zitat:
-------------------------------------------------------
12 Bit D/A Wandler für analoge Bildsignale
12 × 16 Bit Zähler für Mapping
Livebild mit 15 Bildern pro Sekunde bei 512 × 512 Pixel
simultane Aufnahme aller Bildsignale
-------------------------------------------------------

Das steht da im Datenblatt, aber welche Bildsignale werden da 
AD-gewandelt? Das was hinten aus dem REM rauskommt?
So wie ich das verstanden habe, wird das Signal vom Detektor im REM 
erstmal mit 8 Bits AD gewandelt. Und alles was dann irgendwo wieder 
ausgegeben wird ist dann ein DA-gewandeltes Signal. Sprich interessant 
wäre es das direkt statt einmal mit 8Bit/Pixel schneller und vielleicht 
mit mehr Bits zu erfassen. Oder zumindest so wie bei meiner Lösung die 
8Bit Pixel verlustfrei vom REM zum PC zu übertragen und nicht nochmal 
über ein analoges Videosignal dazwischen zu gehen.
Oder kommt tatsächlich das originale Signal vom Detektor irgendwo auf 
der Rückseite vom REM raus?

Autor: HsTR-st (Gast)
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Das 960 unterscheidet sich in der Kammer vom 950er. Die Elektronenoptik 
ist identisch. Der Probentisch ist ein Kreuztisch - damals für die 
Chipkontrolle entwickelt, aber mit Handsteuerung.
Point baut auch heute noch ausgefeilte, sehr einfach zu bedienende 
Elektronik  und Bildauswertesysteme. Das REM steht in Birkenfeld (Nahe). 
Es läuft und macht gute Bilder. Die Strahlstabilität ist genial. Beim 
Fluten mit N2 hält die Kathode (W) fast ein Jahr bei täglichem Betrieb. 
(Manchmal auch weniger).
Eingebaut ist auch ein BSE Detektor (Vierquadranten). Damit ist ein 3d 
Darstellung und exaktes Vermessen möglich. (Alicona)

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo HsTR-st

Ich war schon mal in Trier, ich habe mal ein paar Jahre dort
gewohnt. Meine Mutter wohnt in Herforst. Also um die Ecke.
Ich habe schon versucht dich zu erreichen.
Wenn der Preis passt, würde ich sofort zuschlagen.
Die Logistik ist kein großes Problem.
Meine Handynummer habe ich im Sekretariat hinterlegt.

Die Frage wie bekommt man das Rem aus deinem Labor.

Vg Sunny JR

Autor: Max (Gast)
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Hallo Gustl,

beim externen Bildeinzug wird der Scangnerator des DSMs komplett 
abgeschaltet,
es werden nur die Endstufen weiter benutzt. Der externe Scangenerator 
übernimmt den Bildeinzug, das bedeutet für mich, dass dann dafür 
wirklich nur das reine Detektorsignal verwendet werden kann und im DSM 
nichts mehr generiert wird.
Das Detektorsignal kommt dann an der Rückwand raus, aber wahrscheinlich 
nur wenn das sogenannte ExternScaninterface installiert ist.
Bei Sunnys DSM müsste es dran sein, weil sonst das WDX mit seinem 
Bildeinzug nicht arbeiten würde.

Wird normal mit dem DSM gescannt, so müsste an der Rückwand auch ein 
Signal in TV-Norm rauskommen, wo man u.a. z.B. auch einen Videorecorder 
zur Aufnahme anschließen kann. Welche Buchse das ist müsste in der 
Beschreibung stehen.
Ich schaue bei nächster Gelegenheit mal nach ob ich ein Bild von der 
Rückwand
mit den relevanten Buchsen finden kann.

viele Grüße Dieter

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Oh ok, das wusste ich nicht, meine Vermutung war, dass das REM immer nur 
DA-gewendelte Signale ausgibt. Danke!

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Freunde

ich möchte euch mal auf den Aktuellen Stand von meinem Rem bringen.

Bilder von der Ausgebauten Säule. Ganz schön korrodiert :(
Vor dem Ausbau habe ich alles Markiert und Fotografiert.

Anscheinend ist die Reparatur gut verlaufen. Alles Schlauverbindungen
sind wieder dicht. Alles getrocknet und wieder versucht so zusammen
zu bauen wie es war.

Der Testlauf ist für meine Verhältnisse ziemlich gut verlaufen.
Das Vakuum habe ich nach ca.4h erreicht. Freigabe für die
HV bekommen und dann das DSM eingeschaltet.

HV auf 25KV und langsam den Heizstrom für die Kathode auf 3A erhöht.
Dann den Emissionsstrom auf ca. 100µA eingestellt und siehe da ein Bild.

Wer das Objektiv auf den Fotos erkennt bekommt von mir eine Bier 
ausgegeben*

Zur Reparatur: die Fittings habe ich mir 2K 5 min Epoxy eingeklebt
und 2 Tage lang Aushärten lassen. Die alten Festo Schläuche habe ich
gegen neue ausgetauscht.

Ein Problem habe ich noch und zwar die Kühlung. Mein Durchlaufkühler
Schaft nur 300W an Kühlleistung, mein DSM erzeugt aber 1000W Abwärme.

Das bedeutet, wenn mein Kühler eine Rücklauftemperatur von 30-32°C hat
schaltet sich mein DSM Automatisch aus. Ich habe ca. 20-30 min. bis zur 
Abschaltung.

Das Messgerät zeigt die Spannung vom Vakuumsensor für das Vorvakuum.
Das DSM hatte nach 5-6 h Pumpen 2x10^-5. Völlig ausreichend für
die Wolfram Kathode.

Ich werde noch ein paar Wochen zum Testen brauchen und dann das DSM
zusammen bauen und den Raum so fertig stellen das ich dort schön
Spiele ahh Arbeiten ;-) kann.

Vielen Dank an alle, ohne Eure Hilfe wäre ich heute noch nicht soweit.

Wer Lust hat, sich mal ein Elektronenmikroskop aus der Nähe anzuschauen,
kann mich gerne mal besuchen kommen. Schickt einfach eine Mail
in der du (männlich/weiblich) dich kurz vorstellst und dann machen wir 
kurzfristig
ein Besichtigung Termin mit Vorführung des DSM.

Vg Sunny








* Maximal 20 Flaschen Bier:)

Beitrag #4953071 wurde vom Autor gelöscht.
Autor: Max (Gast)
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Hallo Sunny,

Gratulation zum erfolgreichen Zusammenbau und zur Inbetriebnahme,
hätte ich nicht gedacht, da hast eine gute Arbeit geleistet und eine
Menge Talent an den Tag gelegt, Hut ab !

Einen Kühler habe ich noch in der Garage stehen, er ist zwar einige 
Jahre
nicht in Betrieb gewesen, es ist aber anzunehmen, dass er noch geht, den 
würde ich gerne abgeben, er nimmt nur Platz in der Garage weg.
Er ist von der Firma Lauda Typ WK22000.
Ein normaler Kühlanlagenservice kann  diese Kühler reparieren, neu mit 
Kältemittel befüllen oder wenn es sein muss das Kühlaggregat 
austauschen.
Vielleicht ist auch nur der Ventilator, welcher am sogenannten 
Kondensator
sitzt, fest gegangen, da hast du aber bestimmt schon nachgeschaut.

Viele Grüße Max

PS: Das Objektiv ist auf den Bildern 29 und 34 am unteren Ende der Säule 
gut zuerkennen.

Autor: malsehen (Gast)
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Lauda Air ;]

Autor: Max (Gast)
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Hallo Sunny,

sorry, hatte deine Nachricht nicht genau gelesen, dein Kühler ist ein 
Durchlaufkühler und hat vermutlich generell zu wenig Kühlleistung.
Da ist natürlich nichts mit Reparatur rauszuholen.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo max

Danke für die Blumen.  Ich habe einen Umlaufkühler.
 Ich könnte dein Gerät gebrauchen. Der wird doch auch wie meiner, mit 
Wasser befüllt
Und dann zirkuliert das Wasser im Kreis. Von der Arbeit her hätte ich 
jemand der Service an diesem
Gerät vornehmen kann.

Was hast du dir preislich vorgestellt?
Vg Sunny

Autor: Max (Gast)
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Hallo Sunny,

Antwort kommt per PM

Autor: Max (Gast)
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Hallo Sunny,

deine weiter oben einmal angegebene Email-Adresse wird nicht angenommen 
?

Autor: Jan K. (jan_k)
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Meinen absolut vollsten, ehrfürchtigen Respekt. Das ist - wenn auch 
nicht Kernkompetenz des Forums - einer der besten Threads seit langem. 
Herzlichen Glückwunsch zur Inbetriebnahme, habe lange mitgelesen, 
mitgefiebert und gezweifelt (ich hätte rein von den Bildern alleine 
schon nie gedacht, dass du das Teil wieder zusammen gesetzt bekommst. 
Wie hast du das für dich dokumentiert?) ohne auch nur einen Hauch 
beitragen zu können.

Sehr sehr interessant und eine tolle Leistung (von all jenigen, die hier 
war sinnvolles beitragen können)!

Ich hoffe auf weitere Bilder der Münze und anderen Objekten ;-)

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Als kleine Idee falls Jemand auf der Suche nach zu mikroskopierenden 
Objekten ist:

Wie wäre es mit ICs? Also irgendwelche seltenen/spannenden ICs oder 
sonstigen Elektronikbauteilen? Und dann die Bilder irgendwo zugänglich 
für die Allgemeinheit ablegen.

Autor: Andreas Schweigstill (Firma: Schweigstill IT) (schweigstill) Benutzerseite
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Gustl B. schrieb:
> Wie wäre es mit ICs?

Hierbei könnte teilweise aber ein Verstoß gegen das "Gesetz über den 
Schutz der Topographien von mikroelektronischen Halbleitererzeugnissen", 
das amerikanische "Semiconductor Chip Protection Act" oder vergleichbare 
Rechtsvorschriften vorliegen:

https://www.gesetze-im-internet.de/halblschg/index.html

Autor: hc (Gast)
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Hallo,

Wo steht denn das teil überhaupt...
Bier habe ich immer im Auto :-)

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Freunde

Danke für das Lob.Das habe ich heute morgen gleich mal meiner
Frau unter die Nase gehalten:).

Das Teil steht in der nähe von Magdeburg (Sachsen-Anhalt)in einem 
kleinem alten Häuschen. Ich glaube das Haus ist das älteste im Ort. Bj 
ca.1850.

Ein paar Videos gibt es auch noch.Sorry die Videos sind ein bischen 
verwackelt.Das filmen und gleichzeitig das REM einstellen ist nicht so 
einfach.Ich muss mir ein Stativ für mein Handy besorgen.

Zum Video:
Vergoldeter Antennenconector und der passende Abschlußwiderstand auch
vergoldet.


Hallo Max

ist gekauft, Nachricht habe ich dir gesendet.
Sonntag Nachmittag auf halber Strecke?

Emailadresse geht aber.

Joern1911@gmail.com

vg Sunny

Autor: Max (Gast)
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Hallo Sunny,

Sonntag geht, wir vereinbaren noch eine Zeit und könnten uns in Könnern 
oder an der B100 Halle/Pleißen treffen.

viele Grüße Max

Autor: HsTR-st (Gast)
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Auch meine Hochachtung für die erfolgreiche Reparatur! Nun habe ich aber 
immer noch das DSM 950 mit EDX (zur Zeit stillgelegt) und Point Diss mit 
Vierquadranten BSE hier stehen. Gibt es noch Institute oder private, die 
interessiert sind?
Wer will kann gerne eine paar Bilder vom 950 haben.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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HsTR-st schrieb:
> Auch meine Hochachtung für die erfolgreiche Reparatur! Nun habe ich aber
> immer noch das DSM 950 mit EDX (zur Zeit stillgelegt) und Point Diss mit
> Vierquadranten BSE hier stehen. Gibt es noch Institute oder private, die
> interessiert sind?
> Wer will kann gerne eine paar Bilder vom 950 haben.

Ja ich. Immernoch.
Sende mir eine PM.
Also ich benötige hauptsächlich durch Point Diss
,den Vierquadranten BSE.
Den Rest würde aber auch nehmen. Dann bleibt alles zusammen.

Vg Sunny

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Gustl Buheitel

wie sieht es mit der Platine aus.
Kannst du mir eine Verkaufen?
Sende mir einfache eine PM.

Hier mal ein paar Bilder von meiner Hummel.
Probenvorbereitung+Sputtern mit Gold
Zur Info: Die Hummel wurde von meinen Kindern
Tot aufgefunden!

Auf den Bildern sieht man einen Fühler, ein Teil vom Flügel, Pollen und
ein Fuß auf einem stück Wafer.

Besonderen Dank an Max. Der Kühler ist Top.

Vg Sunny

: Bearbeitet durch User
Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Ach etwas habe ich noch.

2 kleine Videos auf Youtube von mir. Nicht sehr schön,aber mal ein
Anfang.

Zeiss DSM 960 Glühwendel Fahradlampe Rasterelektronenmikroskop SEM

https://www.youtube.com/watch?v=J3VY1W4PHqM

Vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Schick und Respekt! Anfangs hatte ich doch zweifel dass es je wieder 
funktioniert.

Autor: Felix Domke (tmbinc)
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Ich habe aus einer Insolvenz ein DSM 950 gekauft. Der Transport 
gestaltete sich - wie erwartet :) - natürlich kompliziert, und wir 
mussten die Säule vom Tisch trennen, d.h. auch die Kabel für die 
Detektoren durchschneiden, da man diese wohl leider nicht anders trennen 
kann (die Kabel gehen bis zur Konsole und sind dort fest auf Stecker 
gelötet, die man nicht durch die Öffnungen im Tisch bekommt).

Das Gerät war wohl noch so bis ca. 2015 im Einsatz, und wurde seit der 
Anschaffung (~1988) nicht bewegt. Es sind ein paar Wasserschäden zu 
sehen (leichte Korrosion am unteren Ende der Säule über dem Probenraum), 
aber diese scheinen wohl mal vor längerer Zeit (mehr oder weniger 
professionell) repariert worden zu sein. Wir haben beim Auseinander- und 
Zusammenbau keine anderen Defekte gesehen, auch wenn der Grünmonitor 
beim ersten Anschalten seinen Geist aufgegeben hat, vermutlich durch ein 
paar defekte Elkos. Der Farbmonitor allerdings funktioniert, und der 
Video-Output auch.

Die Wasserkühlung war an mehreren Stellen sehr wackelig und undicht, so 
dass wir die meisten Schläuche und insbesondere die - wohl nachträglich 
mal eingebauten, s.o. - 90°-Winkel an der Säule ersetzt haben. Ein 
Druckluft-Versuch mit 2 bar ergab dann endlich Dichtheit, und mit Wasser 
hat es dann auch gut geklappt.

Das Vakuum funktionierte erstaunlich gut, obwohl wir zum Transport 
natürlich die Turbopumpe und die Elektronenkanone abmontiert hatten. 
Nach dem ersten Einschalten gab es ein paar mal Probleme mit dem 
Erreichen des Vorvakuumschaltpunktes (Error 2, Vorvakuum-Umschaltpunk 
nicht nach 80s erreicht), aber als wir anfingen, der Sache auf den Grund 
zu gehen und den Pirani-Messwert gemessen haben (danke, Max!),  klappte 
es auf einmal, und seitdem ist der Fehler nicht wieder aufgetreten. 
Dafür, dass das Gerät min. 2 Jahre offen rumstand, vermutlich garnicht 
so übel.

Hochvakuum erreicht nach ein paar Minuten die nötigen <4x10^-5 hPa, 
nicht sehr toll, aber es reicht für die Hochspannungsfreigabe ("OFF"-LED 
für HV an der Console fängt an zu leuchten). Das hat mich erstmal sehr 
glücklich gemacht; Rotations- und Turbopumpe sowie die Vakuumsensoren 
scheinen in Ordnung zu sein, ebenso die Dichtungen.

Allerdings mussten wir für den Transport auch die Hochspannungszuleitung 
für das SE-Gitter trennen, und daher haben wir den 
Hochspannungsgenerator (in der grauen Box unter der Turbopumpe) erstmal 
deaktiviert (+24V unterbrochen). Die Idee war, erstmal den BSE-Detektor 
zu nutzen, und dann die Gitterspannungzuleitung hochspannungssicher zu 
reparieren.

Nun haben wir allerdings das Problem, dass beim Anschalten der 
Hochspannung zwar "ON" leuchtet, aber nichts passiert; es fließt kein 
Strahlstrom (0 uA), und beim Einschalten der Heizung fließt auch kein 
Heizstrom, und "FAIL" leuchtet. Eine Messung am Hochspannungsnetzteil 
(auf der AC-Seite :)) zeigte, dass es nicht mit Strom versorgt wird. Wir 
haben mal angefangen, die Schaltung zu verfolgen, es scheinen mehrere 
Relais in Reihe zu sein, vermutlich müssen mehrere Bedingungen erfüllt 
sein, damit die Hochspannung einschaltet, und irgendwas fehlt wohl...

Sunny - hast du von der Hochspannungssteuerung auch den Schaltplan?

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Felix

Ja habe ich.  Bin gerade mit meinen Kindern Baden.
Ich stelle den Schaltplan nachher online.

Den Fail Fehler hatte ich auch. Es lag den optischen Leiter der im 
Hochspannungstank links im Säulengehäuse steckt. Da funktioniert das 
Istwertsignal  vom Emissionsstrom nicht.

Vg Sunny

Autor: Felix Domke (tmbinc)
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Perfekt :) Danke!

Ich glaube allerdings, mein Fehler ist noch früher, schließlich wird das 
Hochspannungsnetzteil garnicht angeschaltet.

Wie wird eigentlich der Soll-Wert für den Heizstrom eingestellt? Ist das 
der Übertrager an dem Hochspannungstank?

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Felix,

bin wieder zurück vom Baden.

Schön dass du dir auch ein REM gekauft hast. Wenn ich fragen
darf, was möchtest du damit machen?


Die Taste Emission drücken dann das Poti darüber runterdrücken
und nach rechts drehen.
Die Kathode ist in Ordnung? Wenn die durch ist sieht man auch
keinen Strom in der Anzeige.

Auf den Bilder sieh man schön den defekten und runtergerutschten
Istwert-Sender vom Heizstrom. Durchgebrannt ist er auch.

Hier erstmal ein Link mit der Gebrauchsanweisung in Deutsch

Das ist zwar die für das DSM960A aber die unterscheiden sich nicht
viel voneinander.

Download link



https://wetransfer.com/downloads/d35b0978795dc67a8...

Den Schaltplan für den HV-Teil stelle ich auch rein.

Vg Sunny

: Bearbeitet durch User
Autor: Felix Domke (tmbinc)
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Erstmal tausend Dank! Das hilft mir sehr weiter, insbesondere 8.3.

Ich mache morgen mal Fotos, das sieht bei mir ein bisschen anders aus. 
Insbesondere gibt es keine "Heizungs-Rückführung". Ich muss mir den 
Schaltplan noch einmal genau ansehen, damit ich hier keinen Blödsinn 
erzähle :), aber die "Grid Box" auf (PDF-)Seite 45 in 8.2 kommt meinem 
Gerät sehr viel näher. Dort sind nur zwei optische Übertrager, und der 
Ferrit-Kern.

Autor: Max (Gast)
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Hallo Felix,

beim 950er ist am Hochspannungstank doch noch Einiges anders als
bei den späteren Geräten.

Grundsätzlich muss die Kathode natürlich ganz sein, der Kopfschalter
muss geschlosssen sein, die Vakuumschwelle erreicht sein.
Mit der Taste  muss man einschalten können und dann wie Sunny
schon geschrieben hat mit dem Poti den Heizstrom hoch drehen.
Wenn das so nicht funktioniert, dann zuerst die beiden Sicherungen
an der Rückseite der Säuleneinheit kontrollieren (in der Nähe der 
Steckdose
der Vorpumpe).


Die Säuleneinheit lässt sich komplett von der Konsole per Stecker
trennen, die kleine Rückwand wo die drei Plastikschläuche an der Konsole
reinkommen schraubt man dazu mit ab(für einen eventuellen nochmaligen 
Umzug).


Viele Grüße  Max

Autor: Max (Gast)
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Nachtrag,

die Versorgung der Hochspannungsquelle spielt für den Heizstrom
erstmal keine Rolle, der muss trotzdem gehen.

Autor: Felix Domke (tmbinc)
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Im Endeffekt war es ganz simpel (hinterher ist man immer schlauer...), 
der Gun-Switch (also der Mikroschalter beim Schließen der 
Elektronenkanone) war nicht geschaltet, weil wir das Scharnier nicht an 
der richtigen Stelle (es hat ein wenig Spiel zur Justage) festgeschraubt 
haben. Dadurch wurde die HV nicht freigeschaltet und dann ging wohl auch 
die Heizspannung nicht.

Wir haben also alles wieder verkabelt, und auch die HV für das SE-Gitter 
repariert, und einen neuen Versuch gestartet, und - siehe da, es hat 
geklappt  - Heizstrom hat bei ~3.3A führte bei ~20kV zur Sättigung bei 
~100uA Strahlstrom (nur ungefähre Werte). Klingt das einigermaßen in 
Ordnung?

Da uns noch der Grünmonitor fehlt, mussten wir uns mit dem 
Digital-Farbmonitor begnügen, und .. nun ja, siehe Bild. Es ist etwas zu 
sehen, was sich bewegt, wenn man den Sample-Träger bewegt, aber viel 
mehr konnte man nicht erkennen. Die "Gun Alignment"-Prozedur z.B. war 
garnicht zu machen, und auch die Feineinstellung der Blende mit "Focus 
Wobble" war kompliziert...

Autor: Torstensc (Gast)
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100my Strahlstrom ist schon ganz schön viel. Da brätst du deine Proben. 
3,3A Filamentstrom klingt ganz ok. Fürs Gun Alignment müsste die Kathode 
eigentlich unterheizt werden wenn ich mich recht erinnere. Beim 
Kathodenstrom müsste es noch irgendwo unter 3A einen Peak geben.

Autor: Felix Domke (tmbinc)
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Habe mal den BAS-Ausgang angebaut, einfach nur ein Cinch-Kabel oberhalb 
der Verbindung zum Grünmonitor. Und siehe da, mit Graustufen (statt der 
8 Farben) macht doch alles gleich viel mehr Spaß :)

Bis ca. 5000x funktioniert alles sehr gut, darüber wird es fummelig, 
rauschig und unscharf, aber vermutlich muss ich einfach noch ein 
bisschen mit den verschiedenen Parametern üben.

Was mir aufgefallen ist: Bei niedriger Vergrößerung (12x, WD 9mm) sieht 
man ein Stück von der Röhre (oder so?), allerdings nicht gleich viel auf 
beiden Seiten. Gehört das so, oder ist da etwas dejustiert? Bei größeren 
Vergrößerungen tritt das Problem so nicht auf (aber vielleicht sieht man 
es da ja nur nicht).

Weiterhin springt das Bild deutlich zur Seite beim Umschalten von 100x 
auf 200x (da klicken auch einige Relais).

Autor: Sapperlot W. (jetztnicht)
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@ Autor: Felix Domke (tmbinc)

Ich wuerde der Turbo vielleicht einen Service goennen, bevor sie 
aussteigt. Man sollte sie nach 32k Stunden servicen, meint der 
Hersteller.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Forum
Hallo Max
Hallo Gustl
Hallo Felix

Vielen Dank nochmal an Gustl und Max für eure Hilfe.
Gustl deine Platine funktioniert super.
Nachdem ich die Bilder Digital auf dem PC hatte,
waren sie ein bisschen blas. Das habe ich aber sehr gut mit PS
korrigieren können. Ich habe mal ein paar Bilder angehängt.
Extreme Tiefenschärfe, super geil.

An Felix,
Sieht doch schon ganz gut aus. Glückwunsch. Ab 5000x werden die Bilder
bei meinem REM auch unscharf und das Fokussieren wird
schwieriger. Das liegt bei mir aber noch größten teils
an meinem Aufbau.

Die Vorvakuumpumpe und die Umlaufkühlung laufen auf Solarstrom bzw.
bekommen ihren Strom von einem Westech 4kW Wechselrichter der
von Akkus versorgt wird.

Das Rem bekommt seinen Strom vom Netz.

2 Möglichkeiten zum verbessern des Fokus wäre, alles auf ein Potenzial
bringen z.B. über Netzstrom (aber auf Dauer zu teuer) oder
die Solarleistung soweit zu erhöhen das ich alles auf Solarstrom
laufen lassen kann.

Das nächste wäre die Räumliche Trennung von Vorvakuumpumpe und
Elektronensäule, um die Schwingungen die von der Pumpe kommen
zu unterbinden.
Dann noch die Säule selbst besser Schwingungsdämpfen und vom Fußboden
entkoppeln.
Danach noch Elektromagnetische Felder abschirmen z.B. durch eine Große 
Helmholzspule
die durch den ganzen Raum geht. ( Da weiß ich aber noch nicht wie ich 
das machen muss).Für Ideen ( Helmholzspule) wäre ich sehr dankbar.


Vg Sunny

Autor: Marc Horby (marchorby)
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Hi,

wie hast du die Proben präpariert? Einfach so ins REM oder vorher 
metalisiert?

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Wow, das sieht extrem gut aus, auch gut nachbearbeitet! Mich freut es 
riesig, dass so alte Hardware tatsächlich noch weiterverwendet und auch 
repariert wird.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Danke,

Ich habe nur die Spinne, Wespe, Wafer und das Nylonmehlsieb mit Gold 
besprüht die Glühlampe
ist ja schon aus Metall.

Zum Spottern benutzte ich den Edwards S150b.
Der kann beides. Gold oder Kohlenstoff.

Vg Sunny

: Bearbeitet durch User
Autor: Felix Domke (tmbinc)
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Sunny, super Bilder!

Wir haben noch ein Balzers MED010 (mit Gold- und Kohlenstoffarm) und ein 
CPD020, aber beides noch nicht angeschlossen. In die Thematik muss ich 
mich auch erstmal einarbeiten.

Charakteristisch bei unserem SEM ist wohl, dass man dauernd (d.h. nach 
jeder Aenderung von Spannung oder Vergroesserung) die Blende neu 
feinjustieren muss, um bei "Focus Wobble" die Bewegung zu minimieren 
(und selbst dann bleibt immer ein wenig uebrig), was wohl auf einen 
nicht mittigen Beam hindeutet.

Ausserdem funktioniert "Image Shift" nur in Y, aber nicht in X-Achse; 
und halt das erwaehnte Problem, dass beim "Beam Alignment" bei niedrigen 
Spannungen das Bild nicht mittig ist, und bei niedrigen Vergroesserungen 
das Bild ebenfalls - subjektik - nicht mittig ist (siehe Bild1.jpg in 
meinem letzten Post).

Ob diese Probleme nun miteinander zu tun haben (und ueberhaupt abnormal 
sind), vermag ich nicht zu sagen.

Viele Gruesse,
Felix

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Gustl B. schrieb:
> Gucke mal was ich gefunden habe:
> 
https://www.vebeg.de/web/de/verkauf/browse.htm?DO_...


Hallo Gustl


danke für den Hinweis. Das ist ein TEM,da ist die Probenvorbereitung
extrem aufwendig.

Vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Das stimmt, aber vielleicht kann man es auch als REM betreiben, also 
nicht angucken was durch die Probe geht sondern was an deren Oberfläche 
gestreut wird. Aber keine Ahnung, mein Vater hat das beim Stöbern auf 
der Seite gefunden.

Autor: Andreas Schweigstill (Firma: Schweigstill IT) (schweigstill) Benutzerseite
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Gustl B. schrieb:
> Das stimmt, aber vielleicht kann man es auch als REM betreiben, also
> nicht angucken was durch die Probe geht sondern was an deren Oberfläche
> gestreut wird.

Das wird schwierig, denn bei einem konventionellen TEM ist die 
Elektronenoptik vor der Probe als reiner Kondensor ausgelegt, so dass 
sie einen möglichst parallelen, breiten Elektronenstrahl erzeugt. Hinter 
der Probe befinden sich dann das elektronenoptische Objektiv und 
Projektiv, in denen die eigentliche Bildvergrößerung stattfindet.

Bei einem STEM (Rastertransmissionselektronenmikroskop) entspricht die 
quellenseitige Elektronenoptik der eines REM; nur die Anbringung der 
Detektoren erfolgt eben in Längsrichtung statt in Reflektionsrichtung. 
Der Umbau eines TEM zum REM oder STEM dürfte um Größenordnungen 
schwieriger sein als umgekehrt.

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Ich kenn mich da zu wenig aus.

Autor: Felix Domke (tmbinc)
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So, das Problem, dass "Image Shift" in X-Richtung nicht ordentlich 
funktioniert konnten wir beheben, indem wir den einen TL081 im 
"Abschwächer" (dort wird ein Summensignal vom Image-Shift-Poti und dem 
"Shift Komp"(ensation)-Signal gebildet) getauscht haben. Seitdem 
funktioniert das Image-Shift-Poti in X- und Y-Richtung, und das Bild 
verspringt nicht mehr beim Wechsel zwischen den 3 Vergrößerungsstufen.

Was sich leider nicht wirklich verbessert hat ist die Auflösung. Ich 
habe mal zwei Bilder von einem Chip angehängt (ja, mit Erlaubnis), wo 
man eine Struktur sieht, die eigentlich besser aufgelöst werden sollte. 
Zu sehen ist irgendein Metal-Layer, es ist ein 28nm-Chip (aber die 
M-Layer haben natürlich eine größere Strukturgröße).

Resolution habe ich auf "High" erhöht, Emissionsstrom ist niedrig, HV 
auf 20kV (aber auch bei 30kV verbessert es nicht merklich). Blende ist 
justiert ("Wobble"-Prozedur), Blende ist auf 4. Langsameres Scannen 
bringt nichts, da es ja kein Rauschen, sondern Unschärfe ist. Fokus 
verändern verschlechtert das Bild nur.  Emission Mode Strahlbild ist 
gefüllt, nicht hohl.

Geschätzt würde ich sagen, dass die Auflösung bei ~50..100nm liegt. 
Eigentlich sollte es runter bis ~10nm gehen.

Hat jemand eine Ahnung, wie ich eingrenzen kann, woran das liegt? Mir 
ist klar, dass die Bedingungen optimal sein müssen, um entsprechend 
höhere Auflösungen zu erzielen, aber ich weiss nicht, welche Bedingungen 
ich noch optimieren kann.

Kann ich z.B. systematisch die verschiedenen Strahl/Abbildungsfehler 
charakterisieren?

Was mir noch aufgefallen ist:
 - Ich muss die Blende bei Veränderungen von irgendwelchen Parametern 
eigentlich ständig (minimal) nachstellen, könnte das auf einen 
nicht-zentrierten Strahl hindeuten, oder ist das normal?
 - Je nach Beschleunigungsspannung muss ich die "Gun Alignment"-Regler 
teilweise bis zum Anschlag drehen, aber bei höheren Spannungen ist es 
schon relativ mittig ideal (per Helligkeitstest: Auto Brightness aus, 
und dann regeln bis das Bild am hellsten wird; korrespondiert auch 
ungefähr mit der Mitte beim Emission Image)
 - Das Referenz-Image ist mit einem Gold-Target erstellt. Blöde Frage: 
sollte ich eine ähnliche "Kugelstruktur" auch bei einem "normalen" 
Goldstück (Münze, Barren) erkennen können? Da sehe ich nämlich nur ein 
verschmiertes etwas, aber die Strukturen sind vermutlich auch unter 
meiner aktuellen Auflösungrenze.
 - Gefühlt hat das Putzrohr eine minimale Krümmung/Schieflage. Wird das 
Putzrohr noch durch die Säule in "Form gebracht", oder könnte das schon 
mein Problem sein?
 - Wenn ich den "Emission Current" an den linken Anschlag drehe, sehe 
ich immernoch so ca. ~30uA Emissionsstrom. Die Anleitung beschreibt 
dieses Verhalten für den Fall, dass der Kathodenraum bzw. die Anode 
verschmutzt ist. Wie reinige ich den am besten? Es ist "nichts zu sehen" 
und das Vakuum ist ja auch gut (genug). Um was für eine Verschmutzung 
geht es hier?

viele Grüße!
Felix

Beitrag #5106823 wurde vom Autor gelöscht.
Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Wenn ihr das Video nicht im Browser abspielen könnt, müßt ihr das Video
vorher downloaden und mit einem anderen Player (z.B. VLC) abspielen.

Hallo Felix,

sieht doch schon ganz gut aus.

Ich habe in der Zwischenzeit meine alte Konsole (DSM960) gegen
eine DSM962 Konsole mit Bivas getauscht. Die Elektronensäule ist meine 
alte vom DSM 960er geblieben. Vielen Dank nochmal an Max für deine
große Hilfe bei der Inbetriebnahme.

Dank eines Eichstandards (Zinnkugeln auf Kohle oder Gold) konnte ich mal 
meine Auflösung testen.

Ich schaffe mit dieser Zinnprobe und meinem Bastelaufbau der Säule
eine gute Auflösung bis 200nm (110000x) (siehe Video kurz vor dem Ende 
des Filmes).
Dafür muss aber alles gut Zentriert (Kathode) und Justiert (Blende) 
sein.

Ich arbeite mit Blende 3, 20Kv, ca. 80µA Emission Strom und sehr kleinem
Spot-Size (bei deiner Konsole heißt das Resolution erhöhen), WD ist 8-6 
mm mit sehr langer Scan Zeit. Durch den kleinen Spot-Size ist das 
Bildrauschen größer deshalb längere Scanzeit.

Meine Konsole muss noch auf die Säule eingestellt und abgeglichen 
werden.
Dafür benötigt man aber ein Oszilloskop und eine bestimmte Probe im
10µm Bereich und mit Quadratischen Objekten darauf. Die Prozedur ist 
nicht so leicht.

Die Blenden und das Putzrohr werden mit 800er Schleifpapier und 
Polierpaste gereinigt. Danach in ein Ultraschallbad mit einer Lösung aus 
Spiritus und Acton (80/20) für 10min. dann unter einem Föhn Trocknen. 
Wenn verfügbar alles mit 100% Alkohol spülen und wieder unter einem Föhn 
trocknen.
Die Säule sollte vibrationsarm aufgestellt und das Stromnetz sollte gut 
geerdet sein. Netzbrummen
und Erdschleifen. Alle Aggregate sollten auf der gleichen Phase sein. 
All diese Maßnahmen verbessern die Auflösung.

Vg Sunny

: Bearbeitet durch User
Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Moin Felix, wie hast Du diese Bilder aufgenommen? Meine Hardware kann 
nur Bilder ohne Legende aufnehmen, das würde ich also auch gerne können.

Autor: Felix Domke (tmbinc)
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Sunny - danke fuer das Video! Deine Auflösung ist schon ordentlich 
besser als bei mir. Ist so ein Zinn-Standard irgendwo günstig zu 
bekommen? Dann könnte ich mal Vergleichsbilder machen.

Ich habe das SEM einphasig angeschlossen.

Gustl - ich habe ganz langweilig das BAS-Signal mit einem Laptop und 
einem biligen USB-Adapter gecaptured. Wenn man S-Video nimmt, ist die 
Luminanzauflösung okay, aber man ist natürlich auf 512x512 (im 
Slow-Scan) beschränkt.

Der Vorteil ist, dass man auch im TV-Scan-Mode alle Daten bekommt, und 
man z.B. zeitlich filtern kann. Mein größerer Plan ist, da nochmal mit 
moderner Bildaufbereitung ranzugehen. Z.B. könnte man im TV-Modus 
zeitlich filtern (so wie aktuelle SEMs das wohl machen), oder mittels 
FFT die Justierung von Blende/Focus/Stigmatism teil-automatisieren.

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Ah ok. Kannst Dir ja oben mal meine Hardware angucken, da sind zumindest 
keine analogen Übertragungsverluste dabei, man bekommt wirklich ein 
2048x2048 Bild, dafür fehlt die Legende.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Felix D. schrieb:
> Ist so ein Zinn-Standard irgendwo günstig zu
> bekommen? Dann könnte ich mal Vergleichsbilder machen.

Günstig ist so eine Sache, als Privatperson ist es fast unmöglich,
Standards zu bekommen. Dieser Standard aus dem Video gehört mir leider
nicht, ich habe ihn mir auch nur ausgeliehen. Kann ja mal nachfragen ob 
ich ihn dir auch ausleihen darf. Mich würde es auch mal interresieren, 
wie bei dir die Zinnkugeln aussehen.

Gustl günstige Bilder Digitalisierungs-Lösung kann ich auch empfehlen.

Die Bilder weiter oben von mir, habe ich mit seiner Lösung erstellt.
Siehe Spinne und Mehlsieb.

In meinem Bivas am Rem werden die Bilder Digital auf Festplatte 
gespeichert und können über Netzwerk auf jeden angeschlossen Rechner 
kopiert und weiter verarbeitet werden, natürich mit Legende.

Als zweite Digitalisierungslösung habe ich noch ein altes gebrauchtes 
ADDA II SIS SoftImaging Bildeinzugssystem  bekommen.Das läuft auf einem 
W2k oderd XP - Rechner. Das ADDA übernimmt dabei die Steuerung vom Rem 
und Digitalisiert das Ausgangssignal vom Rem mit bis zu 16bit pro Pixel.
Über eine Remote RS232-Verbindung wird nach dem Bildeinzug noch die 
Vergrößerung aus dem Rem gelesen und als Balken in das Bild eingebunden.
Damit sind Auflösungen von bis zu 4096*4096 möglich.

Ich hänge mal ein paar Bilder an. Es sind Teile aus einer kaputten 
Armbanduhr. Dann noch ein paar Aufnahmen von einem Stück Wafer.
Aber noch ohne Legende und mit verschiedenen Auflösungen sowie für den
Upload noch Komprimiert.

Vg Sunny

Autor: Felix Domke (tmbinc)
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Gustl - deine Hardware werde ich mir auf jeden Fall anschauen! Die 
Bildqualität ist ja beeindruckend.

Sunny - Interessant mit dem ADDA; gibt es eine Übersicht über die 
RS232-Befehle? Ich konnte sie bisher nirgendswo finden. Dann könnte man 
ja die Legende selbst erzeugen.

Wegen dem Putzrohr muss ich jetzt nochmal blöd nachfragen: Was genau 
muss man dort reinigen? Die Verschmutzungen auf den Blendenscheiben? Das 
Putzrohr selbst - von innen?! (Da wüsste ich jetzt garnicht, wie ich da 
ordentlich rankomme)

Gibt es Möglichkeiten, mal konkret und systematisch die Funktion bzw. 
Kalibrierung von den einzelnen EO-Elementen (Gun Alignment, 
Kondernsorlinsen, Obektivlinse, Stigmatismuskorrektur, Ablenkspulen) zu 
überprüfen? Darüber habe ich leider nur sehr wenig in den Unterlagen 
gefunden. Die Prozeduren die in der normalen Anleitung beschrieben sind 
(Gun Alignment, Stigmatismus, Fokus, Endblenden-Ausrichtung) sind klar, 
aber das ist bei mir nicht ausreichend bzw. führt nicht zur erwünschten 
Auflösung.

Und wie gesagt, ich habe das Gefühl, dass mein Putzrohr zumindest im 
ausgebauten Zustand eine leichte Krümmung hat.

: Bearbeitet durch User
Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Felix D. schrieb:
> Sunny - Interessant mit dem ADDA; gibt es eine Übersicht über die
> RS232-Befehle? Ich konnte sie bisher nirgendswo finden. Dann könnte man
> ja die Legende selbst erzeugen.

Das würde mich auch interessieren.

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Guten Morgen,

das ADDA hat eine DLL-Datei in der die einzelnen Rem´s aufgelistet 
sind(nicht nur Zeiss).Die DLL für Zeiss heißt "LEODSM950".

Die DLL selber kann man zwar öffnen aber nicht so einfach verstehen,
da die Befehle verschlüsselt sind.

Ich habe aber irgendwo eine Liste mit allen RS232 Befehlen die man zum
steuern und zum Statusauslesen des Rem´s benötigt.

Außerdem suche auch noch einen Programmierer der z.B. in VB ein schönes 
Programm zum Steueren des Rem´s schreiben könnte.

Die Belegung des RS232-Stecker habe ich auch.
So wie es in der RS232 Beschreibung steht, lassen sich fast alle
Schalter und Poties über die RS232-Schnittstelle ansprechen.
Fast volle Remote-Funktion über Ext. Rechner:).

Alles was nicht über die RS232-Schnittstelle angesprochen werden kann,
könnte man über eine kleines selbstgebautes Steuerpult bedienen und die
kabel vom Orginalpult abgreifen. Wie die moderneren Rem´s das so machen.

Ich bin schon am überlegen, ob ich meine alte 960er Konsole 
auseinanderbaue und mir alle Poties und Schalter in ein kleines 
bewegliches Pult
einbaue.

Meine Frage lautet "Wer traut sich das zu, da was zu Programmieren?"

Noch was wichtiges, die RS232-Befehle arbeiten wohl erst ab einer 
bestimmten Softwareversion vom Rem. Ich habe am 960 die Version 2.11.

Eventuell kann ich das Eprom (D27128A INTEL EPROM) auslesen und in einen 
neuen Chip Brennen den ihr dann nur gegen den alten auf der CPU-Platiene 
austauschen müsst.

Ich suche erstmal alles raus. Bis später.

Vg Sunny

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Guten Abend,

ich habe mal alles, was ich über die RS232 Schnittstelle vom
REM DSM habe eingescant.

Ich hoffe es wird Euch weiter helfen.

Felix, leider kann ich dir die Zinnprobe nicht zukommen lassen.
Es ist seine Beste. Es gibt aber für dich die möglichkeit
mit einer Bestellnummer von Plano

https://www.plano-em.de/katalog/eichstandards-und-...

direkt bei CZJ als Privatperson zu bestellen. Schreibe mir einfach
was du Bestellen würdest(bei Plano) und ich suche dir die Passende 
Bestellnummer bei CZJ raus.

Vg Sunny

Autor: Gustl Buheitel (-gb-)
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Sieht gut aus, vielen Dank!

Autor: Felix Domke (tmbinc)
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Sunny - Perfekt, da steht ja alles drin! Ich habe das PDF mal 
durchsuchbar gemacht (ich hoffe das war okay, sonst entferne ich es hier 
wieder).

Ich werde das Interface mal ausprobieren, mal sehen ob es funktioniert. 
Die serielle Schnittstelle ist auf jeden Fall da und verkabelt, aber ob 
die Software passt, werde ich dann ja sehen.

Wegen der Zinnprobe  - ich braeuchte vermutlich S1937? Oder S1967?

Autor: Sunny Sunny (sunny_s)
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Hallo Forum,

Felix, ist ok. Ich hoffe irgend jemand kann was passendes Programmieren.


Zittat:"Wegen der Zinnprobe  - ich braeuchte vermutlich S1937? Oder 
S1967?

Zittat:"Ich denke aber, dass das S168Z das Richtige wäre, das S1969 ist 
sehr fein, hat sehr flache Partikel und hat dadurch wenig Kontrast,
da bekommst du nur Wischiwaschi-Bilder."

Bestellnummer kommt.


Vg Sunny

: Bearbeitet durch User
Autor: Felix Domke (tmbinc)
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Ich habe den Seriellen Port bei meinem DSM950 mal ausprobiert. Nach 
Konfiguration (Ctrl+S, "SERIAL") hat es auch "ein bisschen" funktioniert 
- ich habe hin- und wieder auf "Q00\x17" (\x17 = ETB) eine Antwort 
bekommen. Das ist schonmal gut - die Funktionalität scheint also 
vorhanden.

Warum es nicht stabil funktionierte, weiss ich nicht - ich schätze das 
Problem lag daran, dass mein USB-auf-RS232-Wandler nur +/-6V-Pegel 
macht, nicht +/-12V.

CTRL+S ist überhaupt interessant... "LOGO" und "SERIAL" sind ja 
dokumentiert, aber es gibt wohl auch diverse Service-Modi, die darüber 
zu erreichen sind. "DSM950MOD" z.B. führt zu einer Abfrage von 3 
Hex(?)-Werten um spezielle Service-Funktionen zu erreichen. Leider habe 
ich keine Ahnung, welche das sind, und Zeiss selbst sagt (mir 
zumindest), dass sie ausser den Schaltplänen keine weiteren Unterlagen 
(mehr) haben...

Ich habe weiterhin das Problem mit der (relativ) schlechten Auflösung 
von ~100nm. Ich werde mal alle Blenden reinigen, das Putzrohr richten. 
Die Kathode habe ich neu kalibriert und nun ist das Emission Image 
wenigstens mittig, aber wirklich was verändert hat das auch nicht.

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